В микроскопския свят на полупроводниковите фабрики, колебания в температурата от едва 0,1°C могат да предизвикат „ефекта пеперуда“, довеждащи до захвърлянето на милиони чипове. Защо контролът на температурата е толкова критичен?
1、 „Котвата“ на литографията
Съвременните литографски машини са като прецизни оптични часовници. Вътрешните им лазери, лещи и работни маси генерират топлина по време на високоскоростна работа. Ролята на охладителя (прецизен воден охладител) е да осигури на тези основни компоненти изключително стабилна температурна среда от ±0,01 °C, като гарантира, че оптичният път няма да отклонява на микронно ниво, осигурявайки крайната прецизност и точност при наслагването при литографията.
2、 „Музикалният диригент“ на отлагането на тънки филми
В процесите CVD (химично отлагане от пари) и PVD (физическо отлагане от пари) реакционната температура директно определя дебелината, равномерността и състава на тънкия филм. Като прецизно контролира температурата на реакционната камера, охладителят гарантира всеки слой тънък филм да се отлага равномерно, както музикално парче, изсвирено по ноти. Това е от решаващо значение за изграждането на основата на високоефективни чипови структури.
3、 Заключение:
Чилърът премина отвъд границите на спомагателното оборудване; той е основата на прецизността, стабилността и добива в производството на полупроводници. Невидим, но навсякъде присъстващ, той осигурява безпроблемната трансформация от зрънце пясък до чип. 