Mikroskopiniame puslaidininkų gamyklose pasaulyje net 0,1 °C temperatūros svyravimai gali sukelti „drugelio efektą“, dėl kurio tenka išmesti milijonus mikroschemų. Kodėl temperatūros valdymas yra toks svarbus?
1、 „Ankro“ litografijos
Šiuolaikinės litografijos mašinos yra panašios į tikslumo optinius laikrodžius. Jų vidiniai lazeriai, objektyvai ir darbo stalai veikdami dideliu greičiu generuoja šilumą. Aušintuvo (tikslios vandens aušinimo sistemos) funkcija – užtikrinti šiems pagrindiniams komponentams itin stabilią temperatūros aplinką ±0,01 °C, kad optinis kelias nenukryptų net iki mikrono lygio, taip garantuojant litografijos galutinį tikslumą ir sluoksnių tikslią sutapinamumą.
2. Plonųjų sluoksnių depositavimo „ritmo meistras“
CVD (cheminio garų depositavimo) ir PVD (fizinio garų depositavimo) procesuose reakcijos temperatūra tiesiogiai lemia plonojo sluoksnio storį, vientisumą ir sudėtį. Tikslingai kontroliuodamas reakcinės kameros temperatūrą, aušintuvas užtikrina, kad kiekvienas plonojo sluoksnio sluoksnis būtų nusodintas tolygiai, tarsi muzikos kūrinys būtų atliekamas pagal partitūrą. Tai labai svarbu aukštos našumo mikroschemų struktūroms kurti.
3. Išvada:
Chilleris išėjo už pagalbinių prietaisų ribų; jis yra tikslumo, stabilumo ir našumo pagrindas puslaidininkių gamyboje. Nematomas, bet visur esantis, jis saugo tobulą transformaciją – nuo smilties grūdelio iki mikroschemos. 
EN
