Yarı iletken fabrikalarının mikroskobik dünyasında, 0,1°C kadar küçük sıcaklık dalgalanmaları milyonlarca çipin hurdaya çıkarılmasına neden olan bir "kelebek etkisi" tetikleyebilir. Sıcaklık kontrolü neden bu kadar kritik?
1、 Litografinin "Demiri"
Modern litografi makineleri hassas optik saatler gibidir. İçlerindeki lazerler, lensler ve çalışma masaları yüksek hızlı işlem sırasında ısı üretir. Bir soğutucunun (hassas su soğutucusu) görevi, bu temel bileşenlere ±0,01°C'lik son derece kararlı bir sıcaklık ortamı sağlamaktır ve böylece optik yol mikron seviyede sapmadan korunarak litografinin nihai doğruluğu ve bindirme hassasiyeti garanti altına alınır.
2、 İnce Film Biriktirmede "Ritim Ustası"
CVD (kimyasal buhar biriktirme) ve PVD (fiziksel buhar biriktirme) süreçlerinde, reaksiyon sıcaklığı ince filmin kalınlığını, düzgün dağılımını ve kompozisyonunu doğrudan belirler. Soğutucu, reaksiyon odasının sıcaklığını hassas şekilde kontrol ederek her ince film katmanının müzik notasına uygun çalınmış bir müzik parçası gibi eşit şekilde birikmesini sağlar. Bu, yüksek performanslı çip yapılarının temelini oluşturmak açısından hayati öneme sahiptir.
3、 Sonuç:
Chiller, yardımcı ekipmanlar alanını geride bırakmıştır; yarı iletken üretiminde hassasiyetin, stabilitenin ve verimin temel taşıdır. Görünmez ama her yerde olan chiller, kum tanesinden çipe dönüşümün mükemmel olmasını sağlar. 
EN
