Puolijohdevalmistusten mikroskooppisessa maailmassa lämpötilan vaihtelut, jotka ovat vain 0,1 °C:n suuruiset, voivat laukaista "pernaneva"-efektin, joka johtaa miljoonien piirien hylkäämiseen. Miksi lämpötilan säätö on niin kriittistä?
1、 Litografian "Ankkuri"
Modernit litografialaitteet ovat kuin tarkkuutta edellyttävät optiset kellot. Niiden sisäiset laserit, linssit ja työpöydät tuottavat lämpöä nopean käytön aikana. Jäähdyttimen (tarkkuusvesijäähdytin) tehtävänä on tarjota näille keskeisille komponenteille erittäin stabiili lämpötilaympäristö ±0,01 °C:n tarkkuudella, jotta optinen polku ei poikkea mikrometrin tarkkuudella, ja näin taataan litografian viimekertainen tarkkuus ja peittävyystarkkuus.
2. Ohutkalvon depositoinnin "rytminhaltija"
CVD- (kemiallinen haihtumisdepositio) ja PVD- (fysikaalinen haihtumisdepositio) prosesseissa reaktiolämpötila määrittää suoraan ohutkalvon paksuuden, tasaisuuden ja koostumuksen. Jäähdyttimen tehtävänä on säätää reaktiokammion lämpötilaa tarkasti, jotta jokainen ohutkalvokerros depositoituu yhtenäisesti, ikään kuin musiikkisävellystä soittaisiin. Tämä on ratkaisevan tärkeää suorituskykyisten piirien rakenteen perustan luomisessa.
3. Yhteenveto:
Jäähdytin on noussut aputarpeista yli; se on tarkan, vakaimman ja tuottavan puolijohdetuotannon kulmakivi. Näkymätön mutta kaikkialla läsnä oleva, se varmistaa täydellisen muodonmuutoksen hiekkarannasta piiriksi. 
EN
