EN
CO2 rashladni uređaji
Temperaturna stabilnost : ±0,1 ℃
Temperaturni raspon : -20˚C～+80˚C
Kapacitet hlađenja : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Osiguravanje precizne termalne kontrole putem kompaktnih klima uređaja s kompresorima za :
Izradu i testiranje poluvodičkih pločica
Nova energetska baterija/e-pogon validacija
Precizna oprema hlađenje
Specifične testne aplikacije zračnog hlađenja
- Pregled
- Preporučeni proizvodi
Tehnički opis:
Lingheng CO₂ ultračisti rashladni uređaj
Korištenje prirodni rashladni sredstvo (GWP=1, ODP=0) da dostavimo precizno termalno upravljanje ±0,1 ℃ za napredne poluvodičke procese. Omogućuje -40℃ do +100℃ rad u širokom rasponu putem tehnologije transkritičnog ciklusa, kompatibilno s aplikacijama ključnim za misiju:
Fotolitografija
Grafitura
Depozicija atomskog sloja (ALD)
Potpuno zaptiveni protok ispunjava standarde čiste prostorije klase 100, dok Konstrukcija bez F-gasa smanjuje izloženost porezu na ugljik — postižući izvrsnost u procesima i sukladnost s ESG smjernicama.
Ključne prednosti:
Okolišna održivost:
GWP=1 - Potpuno usklađen s globalnim klimatskim ciljevima, smanjuje izloženost porezu na CO2
Prirodni rashladni sredstva - Uklanja potrebu za oporabom/odlaganjem fluoriranih plinova
Nulti ODP - U skladu s međunarodnim propisima (npr. Amandman Kigali)
±0,1℃ precizna kontrola - Omogućuje napredne čvorove (TSMC 5nm, u skladu s faznim izbacivanjem fluoriranih rashladnih sredstava)
Rad bez kontaminacije - CO₂ ostatak <1 ppb, certificiran za čiste prostorije klase 1000
30% viši COP - Tehnologija invertera s transkritičnim ciklusom (potvrđeno u usporedbi s bazom LIAT 1.0)
Sigurnosne performanse:
Bezopasan i nezapaljiv - Uklanja rizik curenja fluoriranih rashladnih sredstava
Smanjenje fabričkog rizika - 68% niži indeks ekološke opasnosti (prema SEMI S10)
Ključne komponente i rad:
Komponenta |
TEHNOLOGIJA |
Kompresor |
Hermetički kompresor s tekućim hlađenjem i zaštitom od tekućeg udara (upravljanje ±0,5 ℃) |
Kondenzator |
Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline |
Isparivač |
Titanijeva ploča, 35% veća učinkovitost, buka ≤55dB |
Grejanje |
Izravno grijanje uronjenog tipa, jednolikost ±0,3℃ |
Svaka vrsta |
Elektronički ventil s upravljanjem pregrijavanja ±1℃ |
Pumpa |
Magnetni pumpa (verzija s fluoriranim medijem), <2% oscilacija protoka |
Načelo hlađenja:
1. Komprimiranje → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2. Kondenzacija → Odvođenje topline i tekuća faza
3. EEV prigušenje → Stvaranje mlaza pri niskom tlaku
4. Isparanje → Precizno upijanje topline s opreme
5. Upravljanje protokom invertora → Održava ±0. 1℃ stabilnost
| GVS010 Parametri proizvoda | |
| Model proizvoda | GVS010-W-32F |
| Način hlađenja | Hlađenje vodom |
| Način kontroliranja | PID upravljanje |
| Opseg kontrole temperature | -20℃~+80℃ |
| Preciznost | ±0.1℃ |
| Kapacitet hlađenja |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Snaga | 3KW |
| Tank | 20L |
| Protok cirkulirajuće tekućine | 20L/min (0,75 Mpa) |
| PCW promet | 15 L/min @ 15~25 °C |
| Temperaturni raspon | 5~35℃ |
| Vrste cirkulirajuće tekućine | Mješavina etilen glikola, Čista voda,Fluorirana otopina |
| Rashladno sredstvo | R744 (CO2) |
| Priključak cirkulirajuće tekućine | Rc3/4” |
| PCW sučelje | Rc1/2” |
| Vanjske dimenzije (mm) | 380W*900D*1250H |
| Ulazna napajanja | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Snaga stroja | 8KW |
| neto težina | 200KG |
| Standardi dizajna | Semi |
