Vo mikroskopickom svete polovodičových fabrík môže kolísanie teploty len o 0,1 °C spustiť „efekt motýľích krídel“, čo má za následok vyraďovanie miliónov čipov. Prečo je regulácia teploty taká kritická?
1、 „Kotva“ litografie
Moderné litografické stroje sú ako presné optické hodinky. Ich vnútorné lasery, šošovky a pracovné stoly generujú teplo počas vysokorýchlostného prevádzkovania. Úlohou chladiča (presného vodného chladiča) je poskytnúť týmto kľúčovým komponentom ultra-stabilné teplotné prostredie ±0,01 °C, čím zabezpečí, že sa optická dráha nevychýli na úrovni mikrometrov, a tým zaručí konečnú presnosť a presnosť prekrytia litografie.
2. „Vodič rytmu“ pri depozícii tenkých vrstiev
Pri procesoch CVD (chemická depozícia z plynného stavu) a PVD (fyzikálna depozícia z plynného stavu) priamo určuje reakčná teplota hrúbku, rovnomernosť a zloženie tenkej vrstvy. Presnou kontrolou teploty reakčnej komory chladič zabezpečuje, že sa každá vrstva tenkej fólie ukladá rovnomerne, ako keby sa hrala hudba podľa notovej osnovy. To je rozhodujúce pre vytvorenie základu štruktúr vysokovýkonných čipov.
3. Záver:
Chladič prekročil rámec pomocného zariadenia; je kľúčovým prvkom pre presnosť, stabilitu a výnos v výrobe polovodičov. Neviditeľný, no všadeprítomný, zabezpečuje dokonalú transformáciu zrnka piesku na čip. 
EN
