Екі жолақты суытқыш

Техникалық сипаттама:

Lingheng екі контурлы салқындатқыштар бір құрылғыда екі тәуелсіз температураны басқару мүмкіндігін ұсынады.
Табиғатта ±0,1℃ әр контур үшін тұрақтылық , бұл жүйелер мыналар үшін құрылған:

PVD/CVD камераларының синхронды салқындатуы

Тесу құралдарындағы көнеден қызмет көрсету жүйесі
Кішігірім жабдықтармен (AMAT/LAM/TEL) 40% аз кеңістік алады және өндірісте дәлелденген үйлесімділік, дәл орналасу және салқындату дәлдігін қайта анықтайды.

Негізгі плюслері:

Екі қызметті бір жабдықта біріктіру
» Тәуелсіз контурлары бар екі салқындатқыштың орнына қолданылады
→ Таза бөлме кеңістігін 40% ұтымды пайдалану + 30% капиталды шығындарды азайту

Дәл екі контуры бар басқару
» Әрбір контур бойынша ±0,1℃ тұрақтылық (ΔT<0. 2℃)
→ CVD/PVD процесінде жұқа пленка қабатының ауытқуы <3% болып сақталады

Фабрикалық дайын интеграция
» Алдын ала жүктелген AMAT/LAM/TEL протоколдары
→ 90% 300 мм аспаптың үйлесімділігі, 65% аз уақыт өткізу

Energy TwinDrive™
» Әдеттегі жұптармен салыстырғанда 35% аз энергия
→ SEMI S23 сертификаттандырылған, 18 000 доллардан астам жылдық үнемдеу

Қосымша ластану болмауы
» Ағын жолдарын баптау мүмкіндігі  + лазерлік пісірілген біріктірулер
→ UPW/фторлау/EGW-мен үйлесімді

Негізгі компоненттер мен жұмыс істеу:

Компонент	Технология
Сірөгі	Сұйық гидрозақымдан қорғалған герметикалық инверторлық компрессор (±0. 1℃ бақылау)
Құмсақтаушы	Нержавейка болат, <5% термиялық шығын
Жылықтырушы	Пластиналық конструкция, 35% жоғары әсер ету дәлдігі, ≤55дБ дыбыс
СЫҒЫСҚАРУШЫ	Тікелей қыздыру, ±0,3℃ біркелкілік
Кеңейту клапаны	±1℃ суперхолодтау бақылауы бар электрондық клапан
Құбыр	Магниттік жетекті сорғы (фторлауыш сұйықтық нұсқасы), ағын тербелісі <2%

Салқындату принципі:

Бейімделетін PID салқындату циклі :
1️⃣ Сығу → Салқындатқыштың қысымын көтеру
2️⃣ Конденсация → Жылуды шашу және сұйылту
3️⃣ EEV тежеуі → Төмен қысым жасау
4️⃣ Булану → Жабдықтан дәл жылу сіңіру
5️⃣ Инверторлы ағын бақылауы → ±0. Сақтайды 1℃ тұрақтылығы