Қыздырулық құрылғы жүйесі

Техникалық сипаттама:

Қыздыру қаптамасының қолданылуы :

1. Газ тарату желілері

Қауіпті технологиялық газдар :
Бор үшхлориді (BCl₃), Хлор үшфториді (ClF₃), Тетраэтил ортосиликат (TEOS)
Дихлорсилан (DCS/SiH₂Cl₂), Вольфрам гексафториді (WF₆)
Процесті растау : Конденсациядан сақтау және нүкте бақылау үшін газ желілерін қыздыру

2. CVD-процестері

Төмен қысымды химиялық булану шөгіндісі (LPCVD)
Плазмамен күшейтілген CVD (PECVD)
Қызметі: Шағын бу температурасының тұрақтылығы (±1℃)

3. Металды әріптерді жасау

Плазмалық әріптер жүйесі :
Алюминийді әріптер (Cl₂/BCl₃ химиясы)
Вольфрамды әріптер (SF₆/WF₆ қоспалары)
Қызметі: Газ реакциялық қабілетінің үндестігін сақтау

Қыздыру қаптамасының артықшылықтары:

Артықшылықтар санаты	Техникалық қасиеттер
Дәлдік басқаруы	±0.5℃ дәлдікпен PID реттеуіштері арқылы (ISO 15805 сертификатымен расталған)
Қауіпсіздікті қамтамасыз ету	Екі қауіпсіздік блоктауы: • KSD30 термостат • Жылулық қорғағыш (IEC 60691 сәйкес келетін)
Эко-Изоляция	PFAS-сыз изоляциялық қабат: • Жылу шығыны <5% (ISO 8301) • Стандартты болаттан жасалған жұқа корпус
Өзгертуі тиімді	Нақты уақыттағы токты бақылау: • Аймақ бойынша ток көрсеткіштері → HMI/SCADA • MODBUS-TCP архивті деректер

ПИД температура реттегіштері

Қыздыру қаптамасының жүйесі әрбір контроллер жеке желілік мекенжай көрсетілген RS485 жолағында жұмыс істейтін дәл жылу реттеуіштерін пайдаланады. Бұл PID құрылғылары жеке басқару модульдері ретінде де және таратылған желілік архитектурадағы түйіндер ретінде де қызмет етеді. RS485 интерфейстері арқылы Modbus RTU протоколын пайдаланып, барлық контроллерлер орталық HMI басқару шкафымен екі жақты байланыс жасап, орталық PLC қажетсіз көп аймақты температура басқаруы мен нақты уақыттағы деректерді біріктіру мүмкіндігін береді.

HMI Басқару панелі

Вакуумды немесе газ құбырларындағы жабындық жылыту құрылғылары мен PID температура реттегіштерін орнату салыстырмалы түрде орталықтандырылмаған, сондықтан барлық жылыту құрылғыларының нақты уақыт режиміндегі температуралары мен жұмыс күйін бір уақытта тиімді бақылау мүмкін емес. Барлық жылыту құрылғыларының жағдайын нақты уақыт режимінде бақылау үшін біз барлық жылыту құрылғыларын бір платформаға біріктіріп, орталықтандырылған басқару мен байланыс басқаруын іске асыратын HMI басқару панелін енгіздік.

Орталықтандырылған бақылау жүйесі

Бақылау экрандары, нақты уақыт режиміндегі хабардар ету экраны, тарихи хабардар ету журналы, оқиға тарихы, тенденцияларды талдау диаграммалары мен есеп құжаттарын қоса алғанда, барлық интерфейстерді жылыту құрылғысы жүйесін кешенді бақылау үшін негізгі жүйеде (InTouch немесе iFix сияқты SCADA платформаларын пайдалана отырып) баптауға болады.