EN
CO2 суытқыштары
Температура стабилитеті : ±0,1℃
Температура диапазоны : -20˚C～+80˚C
Соғыс қабілеті : -20℃@2 кВт/20℃@10 кВт
Компактты компрессорлы суытқыштар арқылы дәл жылу реттеу жеткізу :
Жартылай өткізгіш пластинкаларды дайындау мен сынақтан өткізу
Жаңа энергия аккумуляторы/е-дөңгелек жүйесін тексеру
Дәл құрылғыларды суыту
Ауамен суытуға арналған нақты қолданулар
- Шолу
- Ұсынылатын өнімдер
Техникалық сипаттама:
Lingheng CO₂ өте таза салқындатқыш
Пайдалану табиғи салқындатқыш зат (GWP=1, ODP=0) беру үшін ±0,1℃ дәл термиялық басқару күрделі жартылай өткізгіш процесстер үшін. Мүмкіндік береді -40℃-тан +100℃-қа дейінгі кең диапазонды жұмыс істеу транскритикалық цикл технологиясы арқылы, міндеттік түрде қажетті қолданбалармен үйлесімді:
Фотолитография
Әріп қазу
Атомдық қабатты босату (ALD)
Толық герметикалық ағын жолы class 100 таза бөлме стандарттарына сәйкес келеді, сонымен қатар F-газсыз конструкция көміртегі салықтарының әсерін азайтады — процесстердің үздік болуы мен ESG-ге сәйкестігін қамтамасыз етеді.
Негізгі артықшылықтар：
Еңбек және қоршаған орта:
GWP=1 - Жалпыға бірдей климаттық мақсаттарға толық сәйкес келеді, көміртегі салығынан қорғаныс шараларын қысқартады
Табиғи салқындатқыш - Фторландырылған газды жинау/жою талаптарын болдырмау
Нөлдік ODP - Халықаралық нормаларға сәйкес келеді (мысалы, Кигали түзетуі)
±0,1℃ дәлдікпен басқару - Күрделі түйіндерді іске асыруға мүмкіндік береді (TSMC 5нм фторландырылған салқындатқыштың жойылуына сәйкес)
Ластанбауымен жұмыс істеу - CO₂ қалдығы <1ppb, Class 1000 таза бөлмелер үшін сертификатталған
30% жоғары COP - Транскритикалық цикл инверторлық технологиясы (LIAT 1.0 негізімен салыстырғанда тексерілген)
Қауіпсіздік өнімдері:
Улы емес және жанбайтын - Фторлы суытқыштардың құбырларынан тұратын қауіптерді жояды
Фабрикалық қауіптерді азайту - 68% төмен экологиялық қауіп индексі (SEMI S10 бойынша)
Негізгі компоненттер мен жұмыс істеу:
Компонент |
Технология |
Сірөгі |
Сұйықтың құбырларынан қорғайтын герметикалық инверторлы компрессор (±0,5℃ басқару) |
Құмсақтаушы |
Нержавейка болат, <5% термиялық шығын |
Жылықтырушы |
Титан пластинкалы, 35% жоғары әсер ету, ≤55дБ дыбыс |
СЫҒЫСҚАРУШЫ |
Тікелей қыздыру, ±0,3℃ біркелкілік |
Кеңейту клапаны |
±1℃ суперхолодтау бақылауы бар электрондық клапан |
Құбыр |
Магниттік жетекті сорғы (фторлауыш сұйықтық нұсқасы), ағын тербелісі <2% |
Салқындату принципі:
1. Компрессия → Соңғы қысым көбейтілуі
2. Конденсация → Жылуды шашу және сұйықтандыру
3. EEV тежеуіш → Төмен қысымды буландыру
4. Булану → Жабдықтан дәл жылу сіңіру
5. Инверторлық ағынды бақылау → ±0 тең тұрақтандырады 1℃ тұрақтылығы
| GVS010 Өнім параметрлері | GVS405 өнімінің параметрлері | ||
| Қызметкер моделі | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Жылықтыру әдісі |
Сумен салқындату түрі |
||
| Басқару режимі |
PID басқару |
||
| Температураны бақылау диапазоны | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ ден +90℃ дейін |
| Дәлдік |
±0.1℃ |
||
| Тоңазыту қуаты |
-20℃@2 кВт -10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт |
-40℃@4KW |
4 кВт @ -10℃ 10 кВт @ +20℃ |
| Күш | 3 кВт | 3 кВт | |
| Танк | 20 л | 20 л | |
| Сұйық айналымының шығыны | 20 л/мин (0,75 МПа) | 20 л/мин (0,5 МПа) | 20 л/мин (0,7 МПа) |
| PCW Қозғалыс | 15 л/мин@15~25℃ | 15 л/мин @ 15–25 ℃, 0,3–0,4 МПа | |
| Температура диапазоны | 5~35℃ | ||
| Циркуляциялық сұйық түрлері | Этиленгликоль қоспасы, Таза су,Фторлау ерітіндісі | ||
| Салқындатқыш | R744（CO2） | ||
| Циркуляциялық сұйық интерфейсі |
Rc3/4” |
||
| PCW интерфейсі | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Сыртқы өлшемдер（мм） | 380W*900D*1250H | 500 Вт*1160 Т*1650 Б |
600W*900D*1300H (мм) |
| Кіріс қуат көзі | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 фазалы, 208–220 В, 50/60 Гц | |
| Машина Күші | 8КВ | 15,4 кВт | |
| таза салмақ | 200кг | ||
| Дизайн стандарттары | Жартылай | Жартылай | SEMI S2, F47 |
