EN
Жалғыз каналды чиллерлер
Температура стабилитеті : ±0,1℃
Температура диапазоны : -40˚C～+80˚C
Соғыс қабілеті : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Табиғатта инверторлы температура бақылауы , бұл жүйе энергияны үнемдеуді арттырып, электр тұтынуды азайтады. Береді ±0,1℃ тұрақтылығы дәлдікті қажет ететін қолданыстар үшін, мысалы:
Жартылай өткізгішті эшелектеу құралдары мен CMP (химиялық-механикалық полировка)
Зертханалық аспаптар мен жоғары дәлдікті сынақ жабдықтары
Эстетикалық медициналық құрылғылар мен қатты денегі лазерлер
Көріп тұрғыш температура бақылау жүйелері
- Шолу
- Ұсынылатын өнімдер
Техникалық сипаттама:
Lingheng бір каналды суытқыштар интеграцияланған компактты дизайнмен дәл мақсатты жылу басқаруын қамтамасыз етеді.
Инженерлік тәсілмен құрылған жеке тұрған жабдықтардың дәл суытуы , біздің қондырғыларымыз ±0,1℃ PID басқаруымен және
еріксіз қолданбалар үшін инверторлық компрессор технологиясы мыналарды қоса алғанда:
Жартылай өткізгіш метрологиялық құралдары
Лазерлік өңдеу жүйелері
Медициналық анализаторлар
Сынақ стендінің орнатылуы
Бөлінген сұйықтық контуры араласуды болдырмаиды, ал PCW-сіз конструкция орнату шығындарын 30%-ға азайтады.
Негізгі плюслері:
Криогендік үстемдік : -40℃ температурада <3 минуттық температура ауысуымен жұмыс істейді
Жоғалтпайтын циркуляция : <0,1% жылдық сұйықтық шығынымен лазерлік пісірілген құбырлар
Инвертордың тиімділігі : 35% энергия үнемдеу (SEMI S23 сертификаты бар)
Динамикалық көтерілу өнімділігі : ±5℃/мин температура өзгеру жылдамдығын қамтамасыз етеді
Көп протоколды интеграция : ASML/TEL/LAM құрылғыларын интеграциялау үшін SECS/GEM & OPC-UA дайын 
Негізгі компоненттер мен жұмыс істеу
Компонент |
Технология |
Сірөгі |
Сұйық гидрозақымдан қорғалған герметикалық инверторлық компрессор (±0. 1℃ бақылау) |
Құмсақтаушы |
Нержавейка болат, <5% термиялық шығын |
Жылықтырушы |
Пластиналық конструкция, 35% жоғары әсер ету дәлдігі, ≤55дБ дыбыс |
СЫҒЫСҚАРУШЫ |
Тікелей қыздыру, ±0,3℃ біркелкілік |
Кеңейту клапаны |
±1℃ суперхолодтау бақылауы бар электрондық клапан |
Құбыр |
Магниттік жетекті сорғы (фторлауыш сұйықтық нұсқасы), ағын тербелісі <2% |
Салқындату принципі
Бейімделетін PID салқындату циклі :
1️⃣ Сығу → Салқындатқыштың қысымын көтеру
2️⃣ Конденсация → Жылуды шашу және сұйылту
3️⃣ EEV тежеуі → Төмен қысым жасау
4️⃣ Булану → Жабдықтан дәл жылу сіңіру
5️⃣ Инверторлы ағын бақылауы → ±0. Сақтайды 1℃ тұрақтылығы
| VS100/407/020 Өнім параметрлері | |||
| Қызметкер моделі | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Жылықтыру әдісі | Сумен салқындату | ||
| Басқару режимі | PID басқару | ||
| Температураны бақылау диапазоны | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Дәлдік | ±0.1℃ | ||
| Тоңазыту қуаты |
-20℃@2 кВт -10℃@4 кВт 0℃@6 кВт 20℃@10 кВт 80℃@10 кВт |
-20℃@5 кВт -10℃@10 кВт 0℃@15 кВт 20℃@25 кВт 40℃@25 кВт |
-40℃@6 KW -20℃@12 кВт 0℃@25 кВт 20℃@25 кВт 40℃ @25 кВт |
| Күш | 3 кВт | ||
| Танк | 20 л | 25л | |
| Сұйық айналымының шығыны | 20 л/мин (0,75 МПа) | 20 л/мин (0,7 МПа) | |
| PCW Қозғалыс | 15 л/мин@15~25℃ | 30 л/мин@15~25℃ | 50 л/мин@15~25℃ |
| Температура диапазоны | 5~35℃ | ||
| Циркуляциялық сұйық түрлері | Этиленгликоль қоспасы, таза су, фторлау сұйық | Таза су, этиленгликоль қоспасы, таза су, фторлау ерітіндісі | Этиленгликоль қоспасы, фторлау сұйықтығы |
| Салқындатқыш | R410a | / | / |
| Циркуляциялық сұйық интерфейсі | Rc3/4“ | ||
| PCW интерфейсі | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Сыртқы өлшемдер（мм） | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Кіріс қуат көзі | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Машина Күші | 8КВ | 9,7 кВт | 14KW |
| таза салмақ | 200кг | 210КГ | 360KG |
| Дизайн стандарттары | Жартылай | ||
