Үш каналды чиллер

Температура стабилитеті : ±0,1℃

Температура диапазоны : -40˚C～+80˚C

Соғыс қабілеті : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Өндірістік компрессорлы чиллер жоғары сапалы брендті компрессорлары бар ең жақсы тұрақтылық. Жеткізеді ±0,1℃ шығыс температурасының тұрақтылығы маңызды қолданулар үшін қоса алғанда:

Фотолитография/әріп жасау құрылғыларын суыту

ПХД/ХТҚ аспаптарының жылу реттеуі

Химиялық және фармацевтикалық реактордың температура реттеуі

GMP-сәйкес фармацевтикалық процесстерді суыту

Шолу
Ұсынылатын өнімдер

Техникалық сипаттама:

Лингхенг үш контурлы чиллерлері бір ғана құрылғыда дәлдікпен салқындату (±0,1℃). Тұрақты орта үшін шығыстарды баптау мүмкіндігін ұсынады:
✅ Ақылды басқару : Уақытылы жұмыс істеу, автоматты түзету, өзін-өзі тексеру
✅ Үш еселенген қауіпсіздік : Қайта қыздыру/қайта жүктеу/су жетіспеуі туралы хабарлау
✅ Өнеркәсіптік байланыс : Енгізу/шығару, RS232/RS485, Ethernet/IP
Полупроводникті кластерлік құралдар мен ФВ өндіріс желілері үшін жасалған және 30% электр энергиясын үнемдейді.

原理图5-英.png

Негізгі плюслері:

TripleSync™ интеграциясы
» Жалғыз шассида 3 тәуелсіз электр тізбегі
→ Таза бөлме ауданын 55% азайтады

Кластерлік дәлдік
» ±0,1℃ тұрақтылық және <±0,03℃ аралық градиент
→ Көп камералы процесстерді синхрондау мүмкіндігін береді

Динамикалық жүйелерді теңдеу
» Ақылды салқындату бөлігі (жалпы қуаты 30 кВт)
→ Айнымалы жүктемелерде 28% энергия үнемдеу

Көп құралдармен үйлесімділік
» ASML/AMAT/TEL кластерлік құрылғыларымен қосып пайдалану
→ 300 мм фабрикалар мен ПV ТОРCon жолдарын қолдайды

Ультратаза титан экожүйесі
» Модульді тығыздаумен бапталатын ағын жолдары
→ Сұйық қалдық <0,1 ппb (10-шы сыныпқа сәйкес келеді)

结构图.png

Негізгі компоненттер мен жұмыс істеу:

Компонент	Технология
Сірөгі	Сұйық гидрозақымдан қорғалған герметикалық инверторлық компрессор (±0. 1℃ бақылау)
Құмсақтаушы	Нержавейка болат, <5% термиялық шығын
Жылықтырушы	Пластиналық конструкция, 35% жоғары әсер ету дәлдігі, ≤55дБ дыбыс
СЫҒЫСҚАРУШЫ	Тікелей қыздыру, ±0,3℃ біркелкілік
Кеңейту клапаны	±1℃ суперхолодтау бақылауы бар электрондық клапан
Құбыр	Магниттік жетекті сорғы (фторлауыш сұйықтық нұсқасы), ағын тербелісі <2%

Салқындату принципі:

Бейімделетін PID салқындату циклі :
1️⃣ Сығу → Салқындатқыштың қысымын көтеру
2️⃣ Конденсация → Жылуды шашу және сұйылту
3️⃣ EEV тежеуі → Төмен қысым жасау
4️⃣ Булану → Жабдықтан дәл жылу сіңіру
5️⃣ Инверторлы ағын бақылауы → ±0. Сақтайды 1℃ тұрақтылығы

VT410 Өнім параметрлері
Өнімнің атауы	Салқындатқыш
Қызметкер моделі	VT410-W-33
Жылықтыру әдісі	Сумен салқындату
Басқару режимі	PID басқару
Температураны бақылау диапазоны	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Дәлдік	±0.1℃
Соғыс қабілеті	CH1:6KW@-40˚C

	CH2:30 кВт@+30℃

	CH3:28 кВт@+20℃
Күш	CH1:4 кВт

	CH2:14 кВт

	CH3:4 кВт
Танк	CH1 / CH2 ортақ кеңейту ыдысы 30 л + ыстық су ыдысы 25 л
Айналдыру сұйығының ағыны	CH1:17 л/мин @ 0,9 МПа

	CH2:17 л/мин @ 0,9 МПа

	CH3:25 л/мин @ 0,76 МПа
PCW Қозғалыс	CH1: 50 л/мин@15~25℃@0,3МПа

	CH2: 20 л/мин@15~25℃@0,3МПа

	CH3: 50 л/мин@15~25℃@0,3МПа
Температура диапазоны	5~35 ℃
Қайта шеңберленетін сұйықтық түрі	FC3283
Циркуляциялық сұйық интерфейсі	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW интерфейсі	CH1/CH2/CH3: Rc1"
Шаршы өлшемдері (мм)	600W1370D2000H
Кіріс қуат көзі	3Ph,380-400V,50Hz
Барлық машина күші	41,1 кВт
Таза салмақ	600 кг
Дизайн стандарттары	Жартылай