В процессах, таких как производство 5 нм чипов и 2.5D/3D упаковки, сверхнизкий контроль температуры имеет первостепенное значение для качества продукции и выхода годных изделий. Сверхнизкотемпературные чиллеры для полупроводников являются основополагающим оборудованием, обеспечивающим и поддерживающим требуемую тепловую стабильность и контроль, что, в свою очередь, влияет на непрерывность и эффективность производства. Имея более чем 12-летний опыт, LIAT является экспертом в производстве сверхнизкотемпературных чиллеров для полупроводников и других технологий терморегулирования. Работая с клиентами из США, России, Австралии и других стран, LIAT сочетает технологии и контроль качества, обеспечивая надёжность и стабильную производительность своих чиллеров для полупроводниковой промышленности. В данной статье рассматриваются факторы, способствующие высокой эффективности чиллеров LIAT.
Изготовление полупроводников — это длительный и непрерывный процесс. Ультранизкотемпературные чиллеры для полупроводников должны оставаться стабильными, поскольку любые отклонения могут вызвать тепловую нестабильность. Возможны дефекты пористости, а на уровне 5 нм даже одиночное изменение температуры на ±1 °C может привести к снижению выхода продукции на 40%. Помимо высокого уровня брака при производстве полупроводников, простои производства также обходятся очень дорого. Ввиду исключительной важности стабильности, компания LIAT закладывает стабильность в конструкцию каждого ультранизкотемпературного чиллера для полупроводников, чтобы соответствовать высоким стандартам полупроводниковой промышленности.
Выдающаяся стабильность системы холодильных установок LIAT с ультранизкой температурой достигается за счёт использования передовых технологий управления промышленного уровня. Для удовлетворения требований полупроводниковой отрасли обеспечивается точное регулирование температуры с точностью ±0,1 °C в диапазоне от -100 °C до +200 °C. Система управления на базе ПЛК повышает эксплуатационную стабильность холодильных установок, а также обеспечивает отличную ЭМС целевой среды системы. Инверторная технология с энергосбережением гарантирует работу системы с требуемой холодопроизводительностью и поддержание стационарного режима даже при изменяющейся нагрузке. Стабильность работы холодильных установок с ультранизкой температурой будет интегрирована в системы с повышенной сложностью производства.
Надежность охлаждающих установок, использующих полупроводниковое оборудование, обеспечивается за счет сочетания высококачественных компонентов и исключительных стандартов производства. Например, сверхнизкотемпературный полупроводниковый чиллер LIAT изготавливается из панелей полностью из металла, что предотвращает их деформацию и повышает общую устойчивость. Основные компоненты, такие как компрессоры и теплообменники, поставляются от проверенных поставщиков; компания гарантирует тщательную проверку этих деталей перед их установкой в устройства. Производство осуществляется в помещении, свободном от загрязнений, а также в чистой комнате класса 100, чтобы исключить примеси, которые могут вызвать проблемы с производительностью. LIAT не идет на компромиссы в вопросах качества. Каждый сверхнизкотемпературный чиллер проходит испытания серийных образцов, измеряются показатели производительности и температурные колебания, обеспечивая стабильность.
В исследовательской и опытно-конструкторской команде LIAT работает более 40 технических специалистов, обеспечивающих создание ультранизкотемпературных чиллеров для полупроводников. Новые прототипы чиллеров проходят многократное тестирование с целью изучения всего диапазона их эффективности в регулировании температуры, а также стабильности работы в течение длительных периодов времени. Эти испытания призваны поддержать оптимизацию конструкции, чтобы гарантировать функционирование чиллеров в экстремальных условиях. Испытания также обеспечивают правильную работу компонентов в составе 2.5D и 3D интеграций, а также совместно с другим оборудованием производителей полупроводникового оборудования (OEM). Все эти испытания закладывают основу надёжности ультранизкотемпературных чиллеров LIAT для полупроводниковой промышленности.
Одной из причин того, что ультранизкотемпературные чиллеры обладают высокой стабильностью, является их способность соответствовать требованиям технологических процессов. LIAT предоставляет индивидуальные решения, такие как порты переменной связи и циркуляционные насосы, для удовлетворения конкретных потребностей в производстве полупроводников. Двухконтурная модель обеспечивает компактную интеграцию с двумя потоками, предназначенную для передовых процессов травления, где особенно важен стабильный контроль ультранизкой температуры. Будь то линии изготовления полупроводников или испытания компонентов новых источников энергии, ультранизкотемпературные чиллеры могут быть модифицированы для снижения риска эксплуатационных проблем при сохранении надежности.
Стабильность и сервисная поддержка также являются частью философии проектирования. Общенациональная сервисная сеть охватывает семь сервисных точек в Китае и обеспечивает обслуживание и поддержку, отвечающие требованиям сервисной сети. Для международных клиентов LIAT предоставляет послепродажное обслуживание, быструю доставку запасных частей и/или выезд специалиста на место для устранения возникающих проблем. LIAT наладила стабильные партнерские отношения с ведущими полупроводниковыми фабриками и оптимизировала конструкцию сверхнизкотемпературных чиллеров на основе полученной обратной связи, создав бесперебойную систему поддержки, обеспечивающую безотказную работу сверхнизкотемпературных чиллеров на протяжении всего срока их эксплуатации.
EN
Горячие новости