5 नैनोमीटर चिप्स और 2.5D/3D पैकेजिंग जैसी प्रक्रियाओं में, उत्पाद की गुणवत्ता और उपज के लिए अति निम्न तापमान नियंत्रण अत्यंत महत्वपूर्ण है। सेमीकंडक्टर के लिए अति निम्न तापमान चिलर मूलभूत उपकरण हैं जो आवश्यक तापीय स्थिरता और नियंत्रण प्रदान करते और बनाए रखते हैं, जो बदले में उत्पादन की निरंतरता और दक्षता को प्रभावित करते हैं। 12 वर्षों से अधिक के अनुभव के साथ, LIAT सेमीकंडक्टर और अन्य तापीय नियंत्रण प्रौद्योगिकियों के लिए अति निम्न तापमान चिलर के निर्माण में एक विशेषज्ञ है। संयुक्त राज्य अमेरिका, रूस, ऑस्ट्रेलिया और अन्य देशों में ग्राहकों के साथ, LIAT के सेमीकंडक्टर अति निम्न तापमान चिलर तकनीक और गुणवत्ता नियंत्रण को एकीकृत करते हैं ताकि विश्वसनीयता और निरंतर प्रदर्शन प्रदान किया जा सके। इस लेख में LIAT के चिलर के ऐसे प्रदर्शन को देने में सहायता करने वाले कारकों पर ध्यान केंद्रित किया गया है।
अर्धचालकों का निर्माण एक लंबी, निरंतर प्रक्रिया है। अर्धचालकों के लिए अति निम्न तापमान चिलर स्थिर रहने चाहिए, अन्यथा वे थर्मल अस्थिरता का कारण बन सकते हैं। छिद्रता दोष हो सकते हैं, और 5nm नोड्स पर, ± 1°C का भी एकल तापमान परिवर्तन उपज में 40% की क्षति का कारण बन सकता है। उच्च अर्धचालक निर्माण दोष क्षति के स्तर के अलावा, उत्पादन बंदी की लागत भी काफी अधिक होती है। स्थिरता के उच्च महत्व के कारण, LIAT अर्धचालक उद्योग के उच्च मानकों को पूरा करने के लिए प्रत्येक अर्धचालक अति निम्न तापमान चिलर के डिज़ाइन में स्थिरता को अंतर्निहित करता है।
LIAT के अर्धचालक अति निम्न ताप चिलर्स की असाधारण प्रणाली स्थिरता उद्योग-स्तरीय नियंत्रण तकनीक के उपयोग से प्राप्त की जाती है। अर्धचालक उद्योग की चिलर तापमान नियंत्रण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए -100°C से +200°C की पूरी तापमान सीमा में ± 0.1°C की सटीकता प्रदान की जाती है। PLC नियंत्रण प्रणाली चिलर की संचालन स्थिरता में वृद्धि करती है और साथ ही प्रणाली के लक्षित वातावरण में उत्कृष्ट ईएमआई (EMI) प्रदान करती है। ऊर्जा-बचत इन्वर्टर तकनीक यह सुनिश्चित करती है कि प्रणाली चाहे भार में कोई भी भिन्नता हो, वांछित शीतलन क्षमता पर स्थिर-अवस्था संचालन बनाए रखते हुए काम करे। अति निम्न ताप चिलर्स की संचालन स्थिरता उच्च निर्माण जटिलता वाली प्रणालियों में एकीकृत की जाएगी।
अर्धचालक मशीनरी का उपयोग करके ठंडा इकाइयों की विश्वसनीयता उच्च-गुणवत्ता वाले भागों और असाधारण निर्माण मानकों के संयोजन से आती है। उदाहरण के लिए, LIAT का अर्धचालक अल्ट्रा लो टेम्प चिलर सभी धातु पैनलों से बना है, जिससे यह विकृत नहीं होता और इसकी समग्र स्थिरता बढ़ जाती है। संपीड़क और ऊष्मा विनिमयक जैसे प्रमुख घटक विश्वसनीय आपूर्तिकर्ताओं से आते हैं; कंपनी यह सुनिश्चित करती है कि इकाइयों में एकीकरण से पहले इन भागों की सावधानीपूर्वक जांच की जाए। निर्माण एक संदूषण-मुक्त सुविधा और कक्षा 100 क्लीनरूम में होता है ताकि ऐसे अशुद्धियां समाप्त हो सकें जो प्रदर्शन संबंधी समस्याएं पैदा कर सकती हैं। LIAT गुणवत्ता पर समझौता नहीं करता है। प्रत्येक अल्ट्रा लो टेम्प चिलर बैच परीक्षण से गुजरता है, जिसमें प्रदर्शन और तापमान में उतार-चढ़ाव को मापा जाता है और स्थिरता सुनिश्चित की जाती है।
LIAT की अर्धचालक अति निम्न ताप चिलर को एक साथ बनाए रखने में R&D टीम में 40 से अधिक तकनीकी सदस्य हैं। तापमान नियंत्रण में उनकी दक्षता की पूर्ण सीमा के साथ-साथ लंबे समय तक उनकी संचालन स्थिरता की जांच करने के लिए चिलर के नए प्रोटोटाइप का बार-बार परीक्षण किया जाता है। चरम परिस्थितियों में चिलर के आवश्यकतानुसार कार्य करना सुनिश्चित करने के लिए डिज़ाइन अनुकूलन का समर्थन करने के उद्देश्य से इन परीक्षणों को किया जाता है। इन परीक्षणों से यह भी सुनिश्चित होगा कि घटक 2.5D और 3D एकीकरण के साथ-साथ अन्य अर्धचालक OEM उपकरणों के साथ ठीक से कार्य करेंगे। इस सभी परीक्षण के माध्यम से LIAT के अर्धचालक अति निम्न ताप चिलर में विश्वसनीयता के लिए आधार तैयार किया जाता है।
अल्ट्रा-लो-टेम्परेचर चिलर्स के पास इतनी अच्छी स्थिरता होने के कारणों में से एक यह है कि वे प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा करने की क्षमता रखते हैं। LIAT अर्धचालक निर्माण में विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुरूप चर संचार पोर्ट और सर्कुलेटर जैसे अनुकूलित समाधान प्रदान करता है। ड्यूल मॉडल स्थान-कुशल ड्यूल-पाथ एकीकरण प्रदान करता है जो उन उन्नत एचिंग अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है जहाँ स्थिर अल्ट्रा-लो तापमान नियंत्रण आवश्यक होता है। चाहे अर्धचालक निर्माण लाइनों में हो या नई ऊर्जा घटकों के परीक्षण में, परिचालन समस्याओं के जोखिम को कम करते हुए विश्वसनीयता बनाए रखते हुए अल्ट्रा-लो तापमान चिलर्स में संशोधन किया जा सकता है।
स्थिरता और सेवा समर्थन डिज़ाइन दर्शन का भी हिस्सा है। देशव्यापी सेवा नेटवर्क चीन में सात सेवा बिंदुओं को कवर करता है और सेवा नेटवर्क की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सेवा और समर्थन प्रदान करता है। अंतरराष्ट्रीय ग्राहकों के लिए, LIAT विनिर्माण समस्याओं को हल करने के लिए बिक्री के बाद समर्थन और त्वरित प्रतिक्रिया वाले स्पेयर पार्ट्स डिलीवरी और/या स्थानीय सेवा और समर्थन प्रदान करता है। LIAT ने अग्रणी अर्धचालक फैब्स के साथ स्थिर साझेदारी स्थापित की है और फीडबैक के आधार पर अर्धचालक अति-निम्न तापमान चिलर के डिज़ाइन को अनुकूलित किया है, जिससे एक निर्बाध समर्थन प्रणाली बन गई है, जो उपकरण के संचालन जीवन के दौरान अति-निम्न तापमान चिलर को बिना किसी खामी के काम करने में सक्षम बनाती है।