Dalam proses seperti pembuatan chip 5 nm dan pengemasan 2.5D/3D, kontrol suhu ultra rendah sangat penting untuk kualitas produk dan tingkat hasil produksi. Chiller suhu ultra rendah untuk semikonduktor merupakan peralatan dasar yang menyediakan dan menjaga kestabilan termal serta kontrol yang dibutuhkan, yang pada gilirannya memengaruhi kelangsungan dan efisiensi produksi. Dengan pengalaman lebih dari 12 tahun, LIAT merupakan ahli dalam pembuatan chiller suhu ultra rendah untuk semikonduktor dan teknologi kontrol termal lainnya. Dengan pelanggan di Amerika Serikat, Rusia, Australia, dan negara-negara lain, chiller suhu ultra rendah LIAT untuk semikonduktor menggabungkan teknologi dan kontrol kualitas untuk memberikan keandalan serta menjaga kinerja. Artikel ini membahas faktor-faktor yang membuat chiller LIAT mampu memberikan kinerja tersebut.
Memproduksi semikonduktor merupakan operasi yang panjang dan berkelanjutan. Pendingin suhu sangat rendah untuk semikonduktor harus tetap stabil, atau dapat menyebabkan ketidakstabilan termal. Kekurangan porositas dapat terjadi, dan pada node 5nm, bahkan pergeseran suhu ± 1°C saja dapat mengakibatkan penurunan hasil produksi sebesar 40%. Selain tingginya tingkat kerugian cacat produksi semikonduktor, waktu henti produksi juga sangat mahal. Mengingat pentingnya stabilitas, LIAT menanamkan stabilitas dalam desain setiap pendingin suhu sangat rendah untuk semikonduktor guna memenuhi standar tinggi industri semikonduktor.
Stabilitas sistem luar biasa dari chiller suhu ultra rendah semikonduktor LIAT dicapai menggunakan teknologi kontrol tingkat industri. Untuk memenuhi kebutuhan industri semikonduktor, kontrol suhu chiller dengan ketelitian ±0,1°C disediakan pada seluruh jangkauan suhu dari -100°C hingga +200°C. Sistem kontrol PLC meningkatkan stabilitas operasional chiller sekaligus memberikan perlindungan EMI yang sangat baik terhadap lingkungan target sistem. Teknologi inverter hemat energi menjamin bahwa sistem akan beroperasi pada kapasitas pendinginan yang diinginkan sambil mempertahankan kondisi operasi stabil, bahkan dengan beban yang bervariasi. Stabilitas operasi chiller suhu ultra rendah akan terintegrasi ke dalam sistem dengan kompleksitas manufaktur yang meningkat.
Keandalan unit pendingin yang menggunakan peralatan semikonduktor berasal dari kombinasi komponen berkualitas tinggi dan standar manufaktur yang luar biasa. Chiller suhu ultra rendah semikonduktor LIAT, sebagai contoh, terbuat dari panel seluruhnya logam, memastikan tidak melengkung dan meningkatkan stabilitas keseluruhan. Komponen utama seperti kompresor dan penukar panas berasal dari vendor tepercaya; perusahaan memastikan komponen-komponen ini diperiksa secara cermat sebelum dipasang ke dalam unit. Proses manufaktur dilakukan di fasilitas bebas kontaminasi dan ruang bersih Kelas 100 untuk menghilangkan kotoran yang dapat menyebabkan masalah kinerja. LIAT tidak mengorbankan kualitas. Setiap chiller suhu ultra rendah menjalani pengujian per batch, mengukur kinerja dan variasi suhu serta memastikan stabilitas.
Terdapat lebih dari 40 anggota tim R&D LIAT yang mengembangkan pendingin suhu ultra rendah untuk semikonduktor. Prototipe baru pendingin menjalani serangkaian pengujian berulang untuk mengeksplorasi sepenuhnya kemampuan mereka dalam pengendalian suhu serta stabilitas operasional dalam jangka waktu lama. Pengujian ini dimaksudkan untuk mendukung optimasi desain agar memastikan pendingin berfungsi sebagaimana dibutuhkan di lingkungan ekstrem. Pengujian ini juga akan memastikan komponen berfungsi dengan baik dalam integrasi 2.5D dan 3D, serta dengan peralatan OEM semikonduktor lainnya. Seluruh pengujian ini menciptakan dasar bagi keandalan pada pendingin suhu ultra rendah untuk semikonduktor buatan LIAT.
Salah satu alasan chiller suhu ultra rendah memiliki stabilitas yang sangat baik adalah kemampuannya dalam memenuhi persyaratan proses. LIAT menyediakan solusi khusus seperti port komunikasi variabel dan sirkulator untuk memenuhi kebutuhan spesifik dalam pembuatan semikonduktor. Model ganda menyediakan integrasi dua jalur yang hemat ruang, dirancang untuk aplikasi etching canggih di mana kontrol suhu ultra rendah yang stabil sangat penting. Baik dalam jalur fabrikasi semikonduktor maupun pengujian komponen energi baru, chiller suhu ultra rendah dapat dimodifikasi untuk mengurangi risiko masalah operasional sambil tetap menjaga keandalan.
Stabilitas dan dukungan layanan juga merupakan bagian dari filosofi desain. Jaringan layanan nasional memberikan cakupan hingga tujuh titik layanan di Tiongkok serta menawarkan layanan dan dukungan untuk memenuhi kebutuhan jaringan layanan tersebut. Bagi pelanggan internasional, LIAT menyediakan dukungan purna jual serta pengiriman suku cadang cepat dan/atau layanan dan dukungan di lokasi untuk menyelesaikan permasalahan yang muncul. LIAT telah membangun kemitraan stabil dengan pabrik semikonduktor terkemuka dan mengoptimalkan desain chiller suhu ultra rendah untuk semikonduktor berdasarkan umpan balik guna menciptakan sistem pendukung yang mulus, sehingga chiller suhu ultra rendah dapat beroperasi tanpa gangguan sepanjang masa pakainya.
EN
Berita Terkini