En procesos como la fabricación de chips de 5 nm y el empaquetado 2.5D/3D, el control ultra bajo de temperatura es fundamental para la calidad del producto y el rendimiento. Los enfriadores ultra bajos de temperatura para semiconductores son equipos esenciales que proporcionan y mantienen la estabilidad térmica y el control necesarios, lo que a su vez afecta la continuidad y eficiencia de la producción. Con más de 12 años de experiencia, LIAT es un experto en la fabricación de enfriadores ultra bajos de temperatura para semiconductores y otras tecnologías de control térmico. Con clientes en Estados Unidos, Rusia, Australia y otros países, los enfriadores ultra bajos de temperatura para semiconductores de LIAT combinan tecnología y control de calidad para ofrecer fiabilidad y mantener el rendimiento. Este artículo se centra en los factores que ayudan a los enfriadores de LIAT a ofrecer tal rendimiento.
Fabricar semiconductores es una operación larga y continua. Los enfriadores de ultra baja temperatura para semiconductores deben mantenerse estables, ya que de lo contrario pueden inducir inestabilidades térmicas. Pueden ocurrir defectos de porosidad y, en nodos de 5 nm, incluso un cambio de temperatura de ±1°C puede resultar en una pérdida del 40% en rendimiento. Además de los altos niveles de pérdidas por defectos en la fabricación de semiconductores, los tiempos de inactividad en la producción también son significativamente costosos. Debido a la gran importancia de la estabilidad, LIAT incorpora la estabilidad en el diseño de cada uno de sus enfriadores de ultra baja temperatura para semiconductores, cumpliendo así con los altos estándares de la industria semiconductor.
La excepcional estabilidad del sistema de los enfriadores ultra bajos en temperatura de semiconductores de LIAT se logra mediante la tecnología de control de última generación industrial. Para satisfacer las exigencias de la industria de semiconductores, se proporciona un control preciso de temperatura de ±0,1 °C en todo el rango térmico de -100 °C a +200 °C. El sistema de control PLC mejora la estabilidad operativa del enfriador y ofrece además una excelente inmunidad electromagnética (EMI) en el entorno objetivo del sistema. La tecnología de inversor ahorradora de energía garantiza que el sistema funcione con la capacidad de refrigeración deseada manteniendo un régimen de operación estable, incluso con cargas variables. La estabilidad de funcionamiento de los enfriadores ultra bajos en temperatura se integrará en sistemas con mayor complejidad de fabricación.
La fiabilidad de las unidades frigoríficas que utilizan maquinaria semiconductor proviene de la combinación de piezas de alta calidad y estándares excepcionales de fabricación. El enfriador ultra bajo temperatura semiconductor de LIAT, por ejemplo, está fabricado con paneles totalmente metálicos, lo que garantiza que no se deforme y aumenta su estabilidad general. Los componentes principales, como compresores e intercambiadores de calor, provienen de proveedores confiables; la empresa asegura que estas piezas sean cuidadosamente inspeccionadas antes de su integración en las unidades. La fabricación se lleva a cabo en una instalación libre de contaminación y en una sala limpia Clase 100 para eliminar impurezas que podrían causar problemas de rendimiento. LIAT no transige con la calidad. Cada enfriador ultra bajo temperatura pasa por pruebas por lotes, midiendo el rendimiento y las variaciones de temperatura y asegurando así la estabilidad.
Hay más de 40 miembros técnicos en el equipo de I+D de LIAT que trabajan conjuntamente en los enfriadores ultrabajos en temperatura para semiconductores. Los nuevos prototipos de enfriadores pasan por pruebas iterativas para explorar completamente su eficiencia en el control de temperatura, así como su estabilidad operativa durante largos períodos de tiempo. Estas pruebas tienen como objetivo respaldar las optimizaciones de diseño para garantizar que los enfriadores funcionen según sea necesario en entornos extremos. Asimismo, estas pruebas asegurarán que los componentes funcionen correctamente con integraciones 2.5D y 3D, así como con otros equipos OEM de semiconductores. Todas estas pruebas crean las bases para la fiabilidad de los enfriadores ultrabajos en temperatura para semiconductores de LIAT.
Una de las razones por las que los enfriadores de ultra baja temperatura tienen una estabilidad tan buena es su capacidad para cumplir con los requisitos de los procesos. LIAT ofrece soluciones personalizadas, como puertos de comunicación variables y circuladores, adaptados a necesidades específicas en la fabricación de semiconductores. El modelo dual proporciona una integración de doble vía eficiente en espacio, diseñada para aplicaciones avanzadas de grabado donde el control estable de temperaturas ultra bajas es esencial. Ya sea en líneas de fabricación de semiconductores o en pruebas de componentes de nueva energía, los enfriadores de baja temperatura pueden modificarse para reducir el riesgo de problemas operativos manteniendo la fiabilidad.
La estabilidad y el soporte de servicio también forman parte de la filosofía de diseño. La red de servicios a nivel nacional ofrece cobertura en siete puntos de servicio en China y brinda atención y soporte para cumplir con los requisitos de la red de servicios. Para clientes internacionales, LIAT proporciona soporte posventa, entrega rápida de repuestos y/o servicio y soporte in situ para resolver problemas. LIAT ha establecido asociaciones estables con las principales fábricas de semiconductores y optimizado el diseño de los enfriadores de ultra baja temperatura para semiconductores basándose en los comentarios recibidos, creando así un sistema de soporte continuo que permite que los enfriadores de ultra baja temperatura funcionen sin interrupciones durante toda su vida operativa.
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