W procesach takich jak produkcja chipów 5 nm oraz pakowanie 2.5D/3D kluczowe znaczenie ma kontrola ultra niskich temperatur dla jakości produktu i wydajności. Chillery do ultra niskich temperatur przeznaczone do przemysłu półprzewodnikowego to podstawowe urządzenia zapewniające i utrzymujące wymaganą stabilność cieplną oraz kontrolę, które z kolei wpływają na ciągłość i efektywność produkcji. Posiadając ponad 12 lat doświadczenia, LIAT jest ekspertem w zakresie produkcji chillerów do ultra niskich temperatur dla przemysłu półprzewodnikowego oraz innych technologii sterowania temperaturą. Dostarczając swoje rozwiązania do klientów z USA, Rosji, Australii i innych krajów, chillery firmy LIAT dla przemysłu półprzewodnikowego łączą zaawansowaną technologię i kontrolę jakości, aby zapewnić niezawodność i utrzymać wysoką wydajność. Artykuł ten koncentruje się na czynnikach, które pozwalają chillerom LIAT osiągać taką wydajność.
Wytwarzanie półprzewodników to długotrwały, ciągły proces. Chillery ultra niskotemperaturowe do półprzewodników muszą zachować stabilność, w przeciwnym razie mogą powodować niestabilność termiczną. Mogą wystąpić wady porowatości, a przy węzłach 5 nm nawet pojedyncza zmiana temperatury o ±1°C może skutkować 40-procentową utratą wydajności. Oprócz wysokich poziomów strat spowodowanych wadami w produkcji półprzewodników, przestoje produkcyjne są również znacznie kosztowne. Ze względu na duże znaczenie stabilności, LIAT wbudowuje stabilność w projekt każdego pojedynczego chillerowego ultra niskotemperaturowego do półprzewodników, aby spełnić wysokie standardy przemysłu półprzewodnikowego.
Wyjątkowa stabilność systemu chłodniczych urządzeń półprzewodnikowych o bardzo niskiej temperaturze LIAT osiągana jest dzięki zastosowaniu zaawansowanej technologii sterowania. Aby spełnić wymagania przemysłu półprzewodnikowego, dokładność regulacji temperatury na poziomie ±0,1°C zapewniona jest w całym zakresie temperatur od -100°C do +200°C. System sterowania PLC zwiększa stabilność pracy chłodnic, jednocześnie zapewniając doskonałą odporność na zakłócenia elektromagnetyczne (EMI) w docelowym środowisku systemowym. Energooszczędna technologia inwerterowa gwarantuje pracę systemu z wymaganą wydajnością chłodzenia przy jednoczesnym utrzymaniu stałego stanu pracy, nawet przy zmiennym obciążeniu. Stabilność działania chłodnic o bardzo niskiej temperaturze zostanie zintegrowana z systemami o zwiększonym stopniu skomplikowania produkcyjnego.
Niezawodność jednostek chłodniczych wykorzystujących technologię półprzewodnikową wynika z połączenia wysokiej jakości części i wyjątkowych standardów produkcji. Półprzewodnikowy ultra niskotemperaturowy chłodnica LIAT, na przykład, wykonana jest z paneli całkowicie metalowych, co zapobiega odkształceniom i zwiększa ogólną stabilność. Główne komponenty, takie jak sprężarki i wymienniki ciepła, pochodzą od godnych zaufania dostawców; firma zapewnia, że te części są starannie sprawdzane przed ich montażem w urządzeniach. Produkcja odbywa się w obiekcie wolnym od zanieczyszczeń oraz w czystej sali klasy 100, eliminując tym samym nieczystości, które mogłyby powodować problemy z wydajnością. LIAT nie idzie na żadne kompromisy w kwestii jakości. Każda ultra niskotemperaturowa chłodnica przechodzi testowanie partii, mierząc wydajność i wahania temperatury oraz zapewniając stabilność.
W zespole badawczo-rozwojowym LIAT pracuje ponad 40 specjalistów technicznych, którzy odpowiadają za chłodnictwo półprzewodnikowe o bardzo niskich temperaturach. Nowe prototypy chłodnic są poddawane wielokrotnym testom mającym na celu dokładne przebadanie zakresu ich efektywności w kontroli temperatury oraz stabilności działania przez dłuższe okresy czasu. Testy te mają na celu wspieranie optymalizacji projektowych, aby zagwarantować prawidłowe działanie chłodnic w ekstremalnych warunkach środowiskowych. Zapewniają one również, że komponenty będą poprawnie funkcjonować w połączeniu z integracjami 2.5D i 3D, jak również z innym sprzętem OEM produkowanym dla przemysłu półprzewodnikowego. Wszystkie te testy tworzą podstawę niezawodności chłodnic półprzewodnikowych o bardzo niskich temperaturach firmy LIAT.
Jednym z powodów, dla których chłodnice o bardzo niskich temperaturach charakteryzują się tak dobrą stabilnością, jest ich zdolność do spełniania wymagań procesowych. LIAT oferuje rozwiązania niestandardowe, takie jak zmienne porty komunikacyjne i cyrkulacyjne, dostosowane do konkretnych potrzeb w produkcji półprzewodników. Model podwójny zapewnia oszczędzające miejsce połączenie podwójnej ścieżki, zaprojektowane do zaawansowanych aplikacji trawienia, gdzie stabilna kontrola bardzo niskiej temperatury jest niezbędna. Niezależnie od tego, czy chodzi o linie produkcyjne półprzewodników, czy testowanie komponentów nowych źródeł energii, chłodnice o bardzo niskiej temperaturze mogą być modyfikowane w celu zmniejszenia ryzyka problemów eksploatacyjnych przy jednoczesnym zachowaniu niezawodności.
Stabilność i wsparcie serwisowe są również częścią filozofii projektowania. Krajowa sieć serwisowa obejmuje siedem punktów serwisowych w Chinach i oferuje usługi oraz wsparcie spełniające wymagania tej sieci. Dla klientów międzynarodowych LIAT zapewnia wsparcie posprzedażowe, szybką dostawę części zamiennych oraz/lub serwis i wsparcie na miejscu w celu rozwiązywania problemów. LIAT nawiązała trwałe partnerstwa z wiodącymi wytwórzniami półprzewodników i zoptymalizowała projekt chłodnic ultra-niskotemperaturowych na podstawie otrzymanej informacji zwrotnej, tworząc tym samym bezproblemowy system wsparcia, umożliwiający chłodnicom ultra-niskotemperaturowym pracę bez zakłóceń przez cały okres ich użytkowania.
Gorące wiadomości
EN
