I processer som tillverkning av 5 nm-chip och 2,5D/3D-förpackning är kontroll vid ultralåga temperaturer avgörande för produktkvalitet och utbyte. Ultralågtemperaturkylningsaggregat för halvledare är grundläggande utrustning som tillhandahåller och upprätthåller nödvändig termisk stabilitet och kontroll, vilket i sin tur påverkar produktionens kontinuitet och effektivitet. Med över 12 års erfarenhet är LIAT experter på tillverkning av ultralågtemperaturkylningsaggregat för halvledare och andra tekniker för temperaturreglering. Med kunder i USA, Ryssland, Australien och andra länder kombinerar LIAT:s kylningsaggregat för halvledare teknik och kvalitetskontroll för att säkerställa tillförlitlighet och bibehållen prestanda. Denna artikel fokuserar på de faktorer som hjälper LIAT:s kylningsaggregat att leverera en sådan prestanda.
Tillverkning av halvledare är en långdragen, kontinuerlig process. Ultra lågtemperaturkylningsaggregat för halvledare måste vara stabila, eftersom instabilitet kan orsaka termiska ojämnheter. Porositetsfel kan uppstå, och redan en temperaturvariation på ±1 °C vid 5 nm-noder kan leda till en förlust i avkastning på upp till 40 %. Förutom de redan höga halvledartillverkningsförlusterna är produktionsstillestånd också mycket kostsamma. På grund av den stora betydelsen av stabilitet har LIAT integrerat stabilitet i designen av vartenda ultra lågtemperaturkylningsaggregat för att uppfylla halvledarindustrins höga krav.
Exceptionell systemstabilitet hos LIAT:s halvledarultralågtemperaturkylare uppnås med hjälp av kontrollteknik av industriell sofistikerad nivå. För att möta kraven inom halvledarindustrin på temperaturreglering med en precision på ± 0,1 °C, säkerställs denna noggrannhet över hela temperaturområdet från -100 °C till +200 °C. PLC-styrning förbättrar kylarnas driftstabilitet samtidigt som den ger utmärkt EMC-anpassning till systems målmiljö. Energisparende omvandlarteknik garanterar att systemet kommer att fungera vid önskad kylytta samtidigt som stationär drift upprätthålls, även vid varierande belastning. Driftstabiliteten hos ultralågtemperaturkylare integreras i system med ökad tillverkningskomplexitet.
Pålitligheten hos kylenheter med halvledarmaskiner beror på kombinationen av högkvalitativa delar och exceptionella tillverkningsstandarder. LIAT:s halvledarbaserade ultra lågtemperaturkyler består till exempel av helt metallpaneler, vilket säkerställer att de inte vridna sig och ökar den totala stabiliteten. Viktiga komponenter som kompressorer och värmeväxlare kommer från pålitliga leverantörer; företaget ser till att dessa delar noggrant undersöks innan de integreras i enheterna. Tillverkningen sker i en kontaminationsfri anläggning och i ett renrum av klass 100 för att eliminera föroreningar som kan orsaka prestandaproblem. LIAT gör inga kompromisser när det gäller kvalitet. Varje ultra lågtemperaturkyler genomgår partitestning där prestanda och temperaturvariationer mäts för att säkerställa stabilitet.
Det finns över 40 tekniker i LIAT:s utvecklingsteam som håller ihop de halvledarbaserade ultra lågtemperaturkylarna. Nya prototyper av kylare genomgår upprepade tester för att utforska hela omfattningen av deras effektivitet vad gäller temperaturreglering samt driftstabilitet under längre tidsperioder. Dessa tester syftar till att stödja designoptimeringar för att säkerställa att kylenheterna fungerar som de ska i extrema miljöer. Testerna kommer också att säkerställa att komponenter fungerar korrekt med 2,5D- och 3D-integrationer samt med annan halvledar-OEM-utrustning. All denna testning skapar grunden för tillförlitlighet i LIAT:s halvledarbaserade ultra lågtemperaturkylare.
En av anledningarna till att kylaggregaten för ultralåga temperaturer har så bra stabilitet är deras förmåga att uppfylla processernas krav. LIAT erbjuder skräddarsydda lösningar, såsom variabla kommunikationsportar och cirkulationspumpar, för att passa specifika behov inom halvledartillverkning. Dubbelmodellen erbjuder platsbesparande integrering med dubbla flödesvägar, utformad för avancerade ätsningsapplikationer där stabil kontroll vid ultralåg temperatur är avgörande. Oavsett om det gäller halvledarfabrikationslinjer eller testning av komponenter för ny energi kan kylaggregaten för ultralåg temperatur modifieras för att minska risken för driftstörningar samtidigt som pålitlighet bibehålls.
Stabilitet och servicestöd är också en del av designfilosofin. Det riksvida serviceutbudet omfattar sju servicepunkter i Kina och erbjuder service och stöd för att möta kraven från serviceutbudet. För internationella kunder tillhandahåller LIAT eftersäljningsstöd samt snabb leverans av reservdelar och/eller på plats utfört service- och stödinsatser för att lösa problem. LIAT har byggt stabila partnerskap med ledande halvledarfabriker och optimerat designen av de ultralåga temperaturkylaggregaten baserat på feedback, vilket skapat ett sömlöst stödsystem som gör att kylaggregaten kan fungera felfritt under hela sin livslängd.
EN
Senaste Nytt