In processi come la produzione di chip a 5 nm e il confezionamento 2.5D/3D, il controllo ultra-basso della temperatura è fondamentale per la qualità del prodotto e il rendimento. Gli scambiatori di calore a temperatura ultra-bassa per semiconduttori sono apparecchiature fondamentali che forniscono e mantengono la stabilità termica richiesta e il controllo, influenzando così la continuità e l'efficienza della produzione. Con oltre 12 anni di esperienza, LIAT è un esperto nella produzione di scambiatori di calore a temperatura ultra-bassa per semiconduttori e altre tecnologie di controllo termico. Con clienti negli Stati Uniti, in Russia, in Australia e in altri paesi, gli scambiatori di calore per semiconduttori a temperatura ultra-bassa di LIAT combinano tecnologia e controllo qualità per garantire affidabilità e mantenere le prestazioni. Questo articolo si concentra sui fattori che consentono agli scambiatori di calore LIAT di offrire tali prestazioni.
La fabbricazione di semiconduttori è un'operazione lunga e continua. I refrigeratori a temperatura ultra bassa per semiconduttori devono rimanere stabili, altrimenti possono indurre instabilità termiche. Possono verificarsi difetti di porosità e, a nodi di 5 nm, anche una variazione di temperatura di ± 1 °C può causare una perdita del 40% nel rendimento. Oltre ai livelli elevati di difetti nella produzione di semiconduttori, anche i tempi di fermo produttivo sono estremamente costosi. Data l'elevata importanza della stabilità, LIAT incorpora la stabilità nella progettazione di ogni singolo refrigeratore a temperatura ultra bassa per semiconduttori, al fine di soddisfare gli elevati standard del settore dei semiconduttori.
L'eccezionale stabilità del sistema dei refrigeratori ultra low temp a semiconduttore LIAT è ottenuta utilizzando una tecnologia di controllo di elevata sofisticazione industriale. Per soddisfare le esigenze del settore dei semiconduttori, viene garantito un controllo preciso della temperatura con tolleranza di ± 0,1 °C sull'intero intervallo termico da -100 °C a +200 °C. Il sistema di controllo PLC migliora la stabilità operativa dei refrigeratori, fornendo al contempo un'eccellente compatibilità elettromagnetica (EMI) nell'ambiente target del sistema. La tecnologia inverter risparmio energetico assicura che il sistema funzioni alla capacità di raffreddamento desiderata mantenendo un funzionamento in regime stazionario, anche con carichi variabili. La stabilità operativa dei refrigeratori ultra low temp sarà integrata in sistemi con complessità produttiva crescente.
L'affidabilità dei gruppi refrigerati che utilizzano macchinari a semiconduttore deriva dalla combinazione di componenti di alta qualità e standard produttivi eccezionali. Il refrigeratore ultra bassa temperatura a semiconduttore LIAT, ad esempio, è realizzato con pannelli interamente metallici, garantendo che non si deformi e aumentandone la stabilità complessiva. I componenti principali, come compressori e scambiatori di calore, provengono da fornitori affidabili; l'azienda si assicura che questi elementi siano attentamente verificati prima dell'assemblaggio nei dispositivi. La produzione avviene in un impianto privo di contaminazioni e in una camera bianca di Classe 100, per eliminare impurità che potrebbero causare problemi di prestazioni. LIAT non fa compromessi sulla qualità. Ogni refrigeratore ultra bassa temperatura viene sottoposto a test per lotto, misurando le prestazioni e le variazioni di temperatura e garantendo stabilità.
Nel team di Ricerca e Sviluppo di LIAT ci sono oltre 40 tecnici che si occupano di tenere insieme i refrigeratori ultrafreddi per semiconduttori. I nuovi prototipi di refrigeratori vengono sottoposti a test ripetuti per esplorare appieno la loro efficienza nel controllo della temperatura e la stabilità operativa nel tempo. Questi test hanno lo scopo di supportare le ottimizzazioni progettuali per garantire il corretto funzionamento dei refrigeratori in ambienti estremi. Tali test assicureranno inoltre che i componenti funzionino correttamente con integrazioni 2.5D e 3D, nonché con altri equipaggiamenti OEM per semiconduttori. Tutti questi test costituiscono la base per l'affidabilità dei refrigeratori ultrafreddi per semiconduttori di LIAT.
Uno dei motivi per cui i refrigeratori a temperatura ultra-bassa offrono un'elevata stabilità è la capacità di soddisfare i requisiti dei processi. LIAT fornisce soluzioni personalizzate come porte di comunicazione variabili e circolatori adatti alle esigenze specifiche della produzione di semiconduttori. Il modello doppio offre un'integrazione a doppio percorso efficiente in termini di spazio, progettata per applicazioni avanzate di incisione in cui un controllo stabile della temperatura ultra-bassa è essenziale. Che si tratti di linee di fabbricazione di semiconduttori o di test di componenti per le nuove energie, i refrigeratori a bassa temperatura possono essere modificati per ridurre il rischio di problemi operativi mantenendo l'affidabilità.
La stabilità e il supporto post-vendita fanno parte della filosofia progettuale. La rete di assistenza su scala nazionale garantisce una copertura di sette punti servizio in Cina, offrendo servizi e supporto adeguati ai requisiti della rete assistenziale. Per i clienti internazionali, LIAT fornisce supporto post-vendita, consegna rapida di ricambi e/o interventi tecnici in loco per risolvere tempestivamente ogni problema. LIAT ha instaurato partnership stabili con i principali produttori di semiconduttori, ottimizzando la progettazione dei refrigeratori a bassissima temperatura per semiconduttori sulla base dei feedback ricevuti, creando così un sistema di supporto continuo che permette ai refrigeratori a bassissima temperatura di funzionare senza intoppi per tutta la durata operativa.
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