Všetky kategórie

Ako zabezpečujú stabilitu polovodičové ultra nízko-teplotné chladiče?

Dec 25, 2025

Pri procesoch, ako je výroba 5 nm čipov a 2,5D/3D balenia, je mimoriadne nízke riadenie teploty rozhodujúce pre kvalitu výrobku a výťažnosť. Chladiče s mimoriadne nízkou teplotou pre polovodiče sú základným vybavením, ktoré zabezpečuje a udržiava požadovanú tepelnú stabilitu a kontrolu, čo zase ovplyvňuje kontinuitu a efektivitu výroby. So viac ako 12-ročnou skúsenosťou je LIAT odborníkom vo výrobe chladičov s mimoriadne nízkou teplotou pre polovodiče a iné technológie riadenia teploty. S klientmi v Spojených štátoch, Rusku, Austrálii a ďalších krajinách chladiče LIAT pre polovodiče s mimoriadne nízkou teplotou kombinujú technológiu a kontrolu kvality, aby zabezpečili spoľahlivosť a udržateľný výkon. Tento článok sa zameriava na faktory, ktoré pomáhajú chladičom LIAT dosiahnuť takýto výkon.

Potreba stability pre chladiče s mimoriadne nízkou teplotou pre polovodiče

Výroba polovodičov je dlhý, nepretržitý proces. Chladiče s ultra nízkou teplotou pre polovodiče musia zostať stabilné, inak môžu spôsobiť tepelné nestability. Môžu vzniknúť pórovité chyby a u uzlov 5 nm môže dokonca jediná teplotná odchýlka ± 1 °C spôsobiť stratu výťažku až o 40 %. Okrem vysokých strát spôsobených výrobnými chybami polovodičov sú straty z dôvodu výpadkov výroby tiež výrazne nákladné. Vzhľadom na veľký význam stability, LIAT zabudováva stabilitu do konštrukcie každého jednotlivého chladiča s ultra nízkou teplotou pre polovodiče, aby spĺňal vysoké štandardy polovodičového priemyslu.

New energy low-temperature chiller

Technológia kontroly teploty

Vynikajúca stabilita systému chladičov polovodičov s extrémne nízkou teplotou od LIAT sa dosahuje využitím riadiacej technológie priemyselnej sofistikovanosti. Na spĺňanie požiadaviek na reguláciu teploty v polovodičovom priemysle je poskytovaná presnosť ± 0,1 °C v celom rozsahu teplôt od -100 °C do +200 °C. Riadiaci systém PLC zvyšuje prevádzkovú stabilitu chladičov a zároveň zabezpečuje vynikajúcu EMI cieľového prostredia systému. Technológia úsporných invertorov zaručuje, že systém bude pracovať požadovanou chladiacou kapacitou pri zachovaní ustáleného stavu aj pri premenlivom zaťažení. Stabilita prevádzky chladičov s extrémne nízkou teplotou bude integrovaná do systémov s vyššou výrobnou komplexitosťou.

Najkvalitnejšie komponenty a výrobný proces

Spoľahlivosť chladiacich jednotiek s polovodičovým zariadením vyplýva z kombinácie dielov vysokéj kvality a vynikajúcich výrobných noriem. Polovodičový ultra nízko-teplotný chladič LIAT napríklad pozostáva z plne kovových panelov, čo zabraňuje ich deformácii a zvyšuje celkovú stabilitu. Hlavné komponenty, ako sú kompresory a výmenníky tepla, pochádzajú od spoľahlivých dodávateľov; spoločnosť zabezpečuje, že tieto diely sú pred zabudovaním do jednotiek starostlivo preskúmané. Výroba prebieha v bezkontaminantnom zariadení a v čistom priestore triedy 100, aby sa eliminovali nečistoty, ktoré by mohli spôsobiť problémy s výkonom. LIAT nekompromituje kvalitu. Každý ultra nízko-teplotný chladič prechádza skúšaním vo várkach, pri ktorom sa meria výkon a kolísanie teploty a zabezpečuje sa stabilita.

Dôkladné výskumné a vývojové testovanie a schvaľovanie

Výskumnému a vývojovému tímu LIAT, ktorý stojí za polovodičovými chladičmi s extrémne nízkou teplotou, pomáha viac ako 40 odborníkov na technológiu. Nové prototypy chladičov prechádzajú opakovaným testovaním, aby bolo možné preskúmať plný rozsah ich účinnosti v regulácii teploty, ako aj prevádzkovú stabilitu počas dlhších časových období. Tieto testy majú podporiť optimalizáciu konštrukcie, aby sa zabezpečilo, že chladiče budú správne fungovať aj v extrémnych podmienkach. Testy tiež zabezpečia, že komponenty budú správne fungovať pri 2,5D a 3D integráciách, rovnako ako s iným výrobným vybavením od výrobcov polovodičov (OEM). Všetky tieto testy vytvárajú základ spoľahlivosti polovodičových chladičov s extrémne nízkou teplotou od LIAT.

Single Channel Chillers

Prispôsobené riešenia pre špecifické potreby vo výrobe polovodičov

Jedným z dôvodov, prečo majú chladiče ultra nízkych teplôt takú dobrú stabilitu, je ich schopnosť spĺňať požiadavky procesov. LIAT poskytuje špecializované riešenia, ako napríklad premenné komunikačné porty a obežné čerpadlá, prispôsobené špecifickým potrebám pri výrobe polovodičov. Dvojité modely ponúkajú priestorovo úspornú dvojcestnú integráciu, ktorá je navrhnutá pre pokročilé aplikácie leptania, kde je nevyhnutná stabilná regulácia ultra nízkej teploty. Až ide o výrobné linky pre výrobu polovodičov alebo testovanie komponentov pre nové energetické technológie, chladiče ultra nízkych teplôt je možné upraviť tak, aby sa znížilo riziko prevádzkových problémov a zároveň sa zachovala spoľahlivosť.

Globálna servisná podpora a pomoc pre zaručenú stabilitu

Stabilita a servisná podpora sú tiež súčasťou dizajnového prístupu. Celonárodná servisná sieť zabezpečuje pokrytie siedmich servisných miest v Číne a ponúka služby a podporu na spĺňanie požiadaviek servisnej siete. Pre medzinárodných zákazníkov LIAT poskytuje popredajnú podporu, rýchlu dodávku náhradných dielov a/alebo servis na mieste za účelom vyriešenia problémov. LIAT vytvorila stabilné partnerstvá s poprednými polovodičovými fabrikami a na základe spätnej väzby optimalizovala dizajn ultra-nízkoteplotných chladičov, čím vznikol bezproblémový systém podpory, ktorý umožňuje ultra-nízkoteplotným chladičom pracovať bez prerušenia po celú dobu prevádzky.