В процеси като производството на 5 нм чипове и 2,5D/3D опаковане, ултра-ниската температурна контрола е от първостепенно значение за качеството и добива на продукта. Ултра-нискотемпературни охладители за полупроводници са основни компоненти на оборудването, които осигуряват и поддържат необходимата топлинна стабилност и контрол, което от своя страна влияе върху непрекъснатостта и ефективността на производството. С повече от 12 години опит, LIAT е експерт в производството на ултра-нискотемпературни охладители за полупроводници и други технологии за термичен контрол. С клиенти в Съединените щати, Русия, Австралия и други страни, охладителите на LIAT за полупроводници комбинират технологии и контрол на качеството, за да осигурят надеждност и поддържане на производителността. Тази статия се фокусира върху факторите, които помагат на охладителите на LIAT да постигнат такава производителност.
Производството на полупроводници е дълга, непрекъсната операция. Ултра нискотемпературните чилъри за полупроводници трябва да остават стабилни, тъй като в противен случай могат да предизвикат топлинна нестабилност. Могат да възникнат дефекти от порестост и на 5нм нива дори едно температурно отклонение ±1°C може да доведе до 40% загуба в добива. Освен високите нива на производствени дефекти при полупроводниците, прекъсванията в производството също са значително скъпи. Поради високото значение на стабилността, LIAT вгражда стабилност в конструкцията на всеки един ултра нискотемпературен чилър за полупроводници, за да отговаря на високите стандарти на полупроводниковата индустрия.
Изключителната стабилност на системата на полупроводниковите ултра ниско температурни чилъри на LIAT се постига чрез използването на контролна технология от високо индустриално ниво. За да отговарят на изискванията на полупроводниковата индустрия, чилърите осигуряват прецизно регулиране на температурата с точност ±0,1°C в целия температурен диапазон от -100°C до +200°C. Системата за управление с PLC подобрява експлоатационната стабилност на чилърите, като същевременно осигурява отлична ЕМС (електромагнитна съвместимост) в целевата работна среда. Инверторната технология с икономия на енергия гарантира, че системата ще работи с желаната охлаждаща мощност и ще поддържа стационарен режим на работа дори при променяща се натовареност. Стабилността в работата на ултра нискотемпературните чилъри ще бъде интегрирана в системи с повишена производствена сложност.
Надеждността на охлаждащите уреди, използващи полупроводникови машини, идва от комбинацията от висококачествени части и изключителни производствени стандарти. Полупроводниковият ултра ниско температурен охладител на LIAT например е с панели от цял метал, което гарантира, че няма да се деформира и увеличава общата му стабилност. Основните компоненти като компресори и топлообменници идват от проверени доставчици; компанията осигурява тези части да бъдат внимателно проверени преди вграждането им в уредите. Производството се извършва в обстановка, свободна от замърсяване, и в чиста стая клас 100, за да се елиминират примесите, които биха могли да причинят проблеми с производителността. LIAT не прави компромиси по отношение на качеството. Всеки ултра ниско температурен охладител преминава през сериен тест, измерващ производителността и температурните колебания и гарантиращ стабилност.
В екипа за НИОКР на LIAT има над 40 техници, които разработват ултра нискотемпературните охладители за полупроводници. Новите прототипи на охладители преминават многократно тестване, за да бъде изследван напълно обхватът на тяхната ефективност в контрола на температурата, както и тяхната експлоатационна стабилност в продължителни периоди от време. Тези тестове имат за цел да подпомогнат оптимизациите в дизайна, за да се гарантира правилното функциониране на охладителите при екстремни условия. Тестовете ще осигурят и правилното функциониране на компонентите в комбинация с 2,5D и 3D интеграции, както и с друго оборудване от производители на оригинални компоненти за полупроводници. Цялото това тестване създава основата за надеждността на ултра нискотемпературните охладители за полупроводници на LIAT.
Една от причините ултра-нискотемпературните чилъри да имат толкова добра стабилност е тяхната способност да отговарят на изискванията на процесите. LIAT осигурява персонализирани решения като променливи комуникационни портове и циркулатори, за да отговарят на специфичните нужди в производството на полупроводници. Двойният модел осигурява икономисващо пространство двойно пътно интегриране, което е проектирано за напреднали приложения за траверене, където стабилното управление при ултра-ниски температури е от съществено значение. Независимо дали става въпрос за производствени линии за полупроводници или за тестване на компоненти за нова енергия, ултра-нискотемпературните чилъри могат да бъдат модифицирани, за да се намали риска от операционни проблеми, като същевременно се запази надеждността.
Стабилността и поддръжката също са част от философията на дизайна. Националната мрежа за обслужване осигурява покритие на седем сервизни точки в Китай и предлага услуги и поддръжка, за да отговаря на изискванията на мрежата за обслужване. За международните клиенти LIAT осигурява следпродажбена поддръжка и бързо доставяне на резервни части и/или обслужване и поддръжка на място, за да се решават възникналите проблеми. LIAT е изградила стабилни партньорства с водещи полупроводникови фабрики и оптимизирала дизайна на ултра-нискотемпературните охладители за полупроводници въз основа на получените отзиви, като по този начин създаде безпроблемна система за поддръжка, която позволява на ултра-нискотемпературните охладители да работят без прекъсвания през целия им експлоатационен живот.
EN
Горчиви новини