Bij processen zoals de fabricage van 5 nm-chips en 2,5D/3D-verpakkingen is uiterst lage temperatuurregeling van cruciaal belang voor productkwaliteit en opbrengst. Ultra-lage temperatuurkoelunits voor halfgeleiders zijn fundamentele apparaten die de vereiste thermische stabiliteit en regeling leveren en onderhouden, wat op zijn beurt de continuïteit en efficiëntie van de productie beïnvloedt. Met meer dan 12 jaar ervaring is LIAT een expert in de productie van ultra-lage temperatuurkoelunits voor halfgeleiders en andere technologieën voor temperatuurregeling. Met klanten in de Verenigde Staten, Rusland, Australië en andere landen combineren de halfgeleider koelunits van LIAT technologie en kwaliteitscontrole om betrouwbaarheid en prestatiebehoud te garanderen. In dit artikel komen de factoren aan bod die bijdragen aan de uitstekende prestaties van de koelunits van LIAT.
Het fabriceren van halfgeleiders is een tijdrokende, continue operatie. Ultra lage temperatuurkoelunits voor halfgeleiders moeten stabiel blijven, anders kunnen ze thermische onstabiliteit veroorzaken. Porositeitsfouten kunnen optreden en bij 5nm nodes kan zelfs een temperatuurschommeling van ± 1 °C resulteren in een productieverlies van 40%. Naast de hoge defectverliezen in de halfgeleiderproductie zijn stilstandtijden ook aanzienlijk kostbaar. Gezien het grote belang van stabiliteit, integreert LIAT stabiliteit in het ontwerp van elke individuele ultra lage temperatuurkoelunit om te voldoen aan de hoge eisen van de halfgeleiderindustrie.
De uitzonderlijke systeemstabiliteit van de semi-conducter ultra lage temperatuur koelunits van LIAT wordt bereikt met behulp van geavanceerde regeltechnologie uit de industrie. Om te voldoen aan de eisen van de semi-conducterindustrie wordt temperatuurregeling met een precisie van ± 0,1 °C geboden over het gehele temperatuurbereik van -100 °C tot +200 °C. Het PLC-regelsysteem verbetert de operationele stabiliteit van de koelunits en zorgt tegelijkertijd voor een uitstekende EMI-prestaties in de doelomgeving van het systeem. Energibesparende omvormertechnologie garandeert dat het systeem werkt bij de gewenste koelcapaciteit terwijl een stationaire werking wordt behouden, zelfs bij wisselende belasting. De operationele stabiliteit van de ultra lage temperatuur koelunits zal worden geïntegreerd in systemen met toenemende productiecomplexiteit.
De betrouwbaarheid van gekoelde units met behulp van halfgeleidermachines komt voort uit de combinatie van hoogwaardige onderdelen en uitzonderlijke productiestandaarden. De halfgeleider ultra-lage temperatuurkoeler van LIAT is bijvoorbeeld vervaardigd uit volledig metalen panelen, wat vervorming voorkomt en de algehele stabiliteit verhoogt. Belangrijke componenten zoals compressoren en warmtewisselaars komen van betrouwbare leveranciers; het bedrijf zorgt ervoor dat deze onderdelen zorgvuldig worden gecontroleerd voordat ze in de units worden geïntegreerd. De productie vindt plaats in een contaminatievrije omgeving en een cleanroom van klasse 100 om onzuiverheden te elimineren die prestatieproblemen zouden kunnen veroorzaken. LIAT compromitteert niet op kwaliteit. Elke ultra-lage temperatuurkoeler wordt blokgewijs getest, waarbij prestaties en temperatuurschommelingen worden gemeten en stabiliteit wordt gewaarborgd.
Er zijn meer dan 40 technici in het R&D-team van LIAT die de ultrasnelle koelunits voor halfgeleiders ondersteunen. Nieuwe chiller-prototypen worden herhaaldelijk getest om de volledige reikwijdte van hun efficiëntie in temperatuurregeling te onderzoeken, evenals hun operationele stabiliteit over langere tijd. Deze tests moeten de ontwerpoptimalisaties ondersteunen om ervoor te zorgen dat de units correct functioneren in extreme omgevingen. De tests garanderen ook dat componenten goed functioneren bij 2.5D- en 3D-integraties, evenals in combinatie met andere halfgeleider-OEM-apparatuur. Al deze testactiviteiten vormen de basis voor betrouwbaarheid in de ultrasnelle koelunits van LIAT voor halfgeleiders.
Een van de redenen waarom de ultra-laagtemperatuurkoelmachines zo'n goede stabiliteit hebben, is hun vermogen om te voldoen aan de eisen van de processen. LIAT biedt op maat gemaakte oplossingen zoals variabele communicatiepoorten en circulatiepompen voor specifieke behoeften in de halfgeleiderproductie. Het dubbele model biedt een ruimtebesparende integratie met twee kanalen, ontworpen voor geavanceerde etsapplicaties waarbij stabiele ultra-laagtemperatuurregeling essentieel is. Of het nu gaat om halfgeleiderproductielijnen of het testen van componenten voor nieuwe energie, de ultra-laagtemperatuurkoelmachines kunnen worden aangepast om het risico op bedrijfsproblemen te verlagen terwijl de betrouwbaarheid wordt gehandhaafd.
Stabiliteit en servicesupport maken ook deel uit van de ontwerpfilosofie. Het landelijke servicenetwerk zorgt voor dekking van zeven servicepunten in China en biedt service en ondersteuning om aan de eisen van het servicenetwerk te voldoen. Voor internationale klanten biedt LIAT after-salesondersteuning en snelle levering van vervangingsonderdelen en/of on-site service en ondersteuning om problemen op te lossen. LIAT heeft stabiele partnerschappen opgebouwd met toonaangevende halfgeleiderfabrieken en het ontwerp van de ultra-lage temperatuur koelunits voor halfgeleiders geoptimaliseerd op basis van feedback, waardoor een naadloos ondersteuningssysteem is gerealiseerd, zodat de ultra-lage temperatuur koelunits probleemloos functioneren gedurende hun hele levensduur.