I processer som produktionen af 5 nm-chips og 2,5D/3D-pakning er ekstremt lav temperaturregulering afgørende for produktkvalitet og udbytte. Ekstremt lavtemperatur-køleanlæg til halvledere er grundlæggende udstyrsdele, der sikrer og opretholder den nødvendige termiske stabilitet og kontrol, hvilket igen påvirker kontinuiteten og effektiviteten i produktionen. Med over 12 års erfaring er LIAT ekspert i fremstilling af ekstremt lavtemperatur-køleanlæg til halvledere samt andre teknologier til temperaturregulering. Med kunder i USA, Rusland, Australien og andre lande kombinerer LIATs halvleder-køleanlæg til ekstremt lav temperatur teknologi og kvalitetskontrol for at levere pålidelighed og fastholdt ydelse. Denne artikel fokuserer på de faktorer, der hjælper LIATs køleanlæg med at levere en sådan ydelse.
Fremstilling af halvledere er en lang, kontinuerlig proces. Ultra lavtemperatur-køleanlæg til halvledere skal forblive stabile, da de ellers kan forårsage termiske ustabiliteter. Der kan opstå porøsitetsskader, og allerede ved 5 nm-noder kan en temperaturændring på blot ±1 °C resultere i et udbyttefald på 40 %. Ud over det høje niveau af produktionsfejl i halvlederproduktionen er produktionsstop også betydeligt dyrt. På grund af stabilitetens store betydning indbygger LIAT stabilitet i designet af alle sine ultra lavtemperatur-køleanlæg til halvledere for at opfylde halvlederindustriens høje krav.
Den ekstraordinære systemstabilitet af LIAT's halvleder ultra lavtemperatur-køleanlæg opnås ved brug af styringsteknologi af industriel sofistikering. For at imødekomme halvlederindustriens krav til temperaturregulering med en præcision på ±0,1 °C, leveres denne præcision over hele temperaturområdet fra -100 °C til +200 °C. PLC-styringssystem forbedrer køleanlæggenes driftsstabilitet og sikrer samtidig fremragende EMI-egenskaber i det pågældende miljø. Energibesparende inverterteknologi garanterer, at systemet fungerer ved den ønskede kølekapacitet, mens det opretholder stabil drift, selv ved varierende belastning. Driftsstabiliteten for ultra lavtemperatur-køleanlæg vil blive integreret i systemer med øget produktionskompleksitet.
Pålideligheden af køleenheder med halvlederteknologi skyldes kombinationen af højkvalitetsdele og ekstraordinære produktionsstandarder. LIAT's halvleder ultra lavtemperatur-køleanlæg består for eksempel af helt metalpaneler, hvilket sikrer, at det ikke bukker, og øger dets samlede stabilitet. Store komponenter såsom kompressorer og varmevekslere stammer fra pålidelige leverandører; virksomheden sikrer, at disse dele undersøges omhyggeligt, inden de integreres i enhederne. Produktionen foregår i en renhedsanlæg uden forurening og et Class 100 rengøringsrum for at fjerne urenheder, som kunne forårsage ydelsesproblemer. LIAT kompromitterer ikke med kvalitet. Hvert ultra lavtemperatur-køleanlæg gennemgår batch-test, hvor ydelse og temperaturvariationer måles, og stabilitet sikres.
Der er over 40 teknikere i LIAT's R&D-hold, som står for sammenhængen mellem de ultra lavtempererede køleanlæg til halvledere. Nye chiller-prototyper gennemgår gentagne test for at undersøge deres fulde effektivitet i temperaturregulering samt deres driftsstabilitet over længere tidsperioder. Disse test har til formål at understøtte designoptimeringer for at sikre, at køleanlæggene fungerer som ønsket i ekstreme miljøer. Testene vil også sikre, at komponenter fungerer korrekt med 2,5D- og 3D-integrationer samt med andet halvleder-OEM-udstyr. Al denne test danner grundlaget for pålidelighed i LIAT's ultra lavtempererede køleanlæg til halvledere.
En af grundene til, at ultra-lavtemperatur-køleanlæg har så god stabilitet, er evnen til at opfylde kravene fra processerne. LIAT leverer skræddersyede løsninger såsom variable kommunikationsporte og cirkulationspumper for at imødekomme specifikke behov i halvlederproduktion. Dobbeltmodellen giver pladsbesparende integration med dobbelt strømningssti, som er designet til avancerede ætsningsapplikationer, hvor stabil kontrol med ultra-lav temperatur er afgørende. Uanset om det er i halvlederfremstillingslinjer eller test af komponenter til ny energi, kan ultra-lavtemperatur-køleanlæggene modificeres for at reducere risikoen for driftsproblemer, samtidig med at pålideligheden opretholdes.
Stabilitet og servicesupport er også en del af designfilosofien. Det landsdækkende servicenettværk dækker syv servicepunkter i Kina og yder service og support for at opfylde kravene til servicenettet. For internationale kunder tilbyder LIAT eftersalesupport samt hurtig levering af reservedele og/eller on-site service og support for at løse eventuelle problemer. LIAT har etableret stabile partnerskaber med førende halvlederfabrikker og optimeret designet af de ultra-lave temperatur-køleanlæg baseret på feedback for at skabe et problemfrit supportsystem, så køleanlæggene kan fungere fejlfrit gennem hele deres driftslevetid.
EN
Seneste nyt