Em processos como a fabricação de chips de 5 nm e embalagens 2,5D/3D, o controle ultra-baixa temperatura é fundamental para a qualidade do produto e o rendimento. Os chillers de ultra-baixa temperatura para semicondutores são equipamentos essenciais que fornecem e mantêm a estabilidade térmica e o controle necessários, os quais, por sua vez, afetam a continuidade e a eficiência da produção. Com mais de 12 anos de experiência, a LIAT é especialista na fabricação de chillers de ultra-baixa temperatura para semicondutores e outras tecnologias de controle térmico. Com clientes nos Estados Unidos, Rússia, Austrália e outros países, os chillers de ultra-baixa temperatura para semicondutores da LIAT combinam tecnologia e controle de qualidade para oferecer confiabilidade e manter o desempenho. Este artigo destaca os fatores que ajudam os chillers da LIAT a entregar tal desempenho.
A fabricação de semicondutores é uma operação longa e contínua. Os chillers de ultra baixa temperatura para semicondutores devem permanecer estáveis, caso contrário podem induzir instabilidades térmicas. Podem ocorrer defeitos de porosidade e, em nós de 5 nm, mesmo uma variação de temperatura de ± 1 °C pode resultar em uma perda de 40% na produtividade. Além dos altos níveis de perda por defeitos na fabricação de semicondutores, as paralisações na produção também são significativamente onerosas. Devido à grande importância da estabilidade, a LIAT incorpora estabilidade no projeto de cada chiller de ultra baixa temperatura para semicondutores, a fim de atender aos elevados padrões da indústria de semicondutores.
A estabilidade excepcional dos chillers ultra baixa temperatura semicondutores da LIAT é alcançada utilizando a tecnologia de controle da indústria sofisticada. Para satisfazer a indústria de semicondutores, o controle de temperatura dos chillers com precisão de ± 0,1 °C é fornecido em toda a faixa de temperatura de -100 °C a +200 °C. O sistema de controle PLC melhora a estabilidade operacional dos chillers, além de proporcionar excelente EMI do ambiente-alvo do sistema. A tecnologia de inversor com economia de energia garante que o sistema opere na capacidade de refrigeração desejada, mantendo a operação em regime permanente, mesmo com carga variável. A estabilidade de operação dos chillers ultra baixa temperatura será integrada a sistemas com maior complexidade de fabricação.
A confiabilidade das unidades refrigeradas que utilizam maquinário semicondutor resulta da combinação de peças de alta qualidade e padrões excepcionais de fabricação. O chiller ultrafrio semicondutor da LIAT, por exemplo, é feito com painéis totalmente metálicos, garantindo que não entorte e aumentando sua estabilidade geral. Componentes principais, como compressores e trocadores de calor, vêm de fornecedores confiáveis; a empresa garante que essas peças sejam cuidadosamente examinadas antes da integração nas unidades. A fabricação ocorre em uma instalação livre de contaminação e em uma sala limpa Classe 100 para eliminar impurezas que possam causar problemas de desempenho. A LIAT não faz concessões quanto à qualidade. Cada chiller ultrafrio passa por testes em lote, medindo o desempenho e as variações de temperatura e garantindo estabilidade.
Há mais de 40 membros técnicos na equipe de P&D da LIAT mantendo unidos os chillers ultrabaixos em temperatura para semicondutores. Novos protótipos de chillers passam por testes iterativos para explorar toda a extensão de sua eficiência no controle de temperatura, bem como sua estabilidade operacional ao longo de períodos prolongados. Esses testes têm como objetivo apoiar as otimizações de projeto para garantir que os chillers funcionem conforme necessário em ambientes extremos. Esses testes também assegurarão que os componentes funcionem corretamente com integrações 2.5D e 3D, bem como com outros equipamentos OEM de semicondutores. Todos esses testes criam as bases para a confiabilidade dos chillers ultrabaixos em temperatura para semicondutores da LIAT.
Uma das razões pelas quais os chillers de ultra-baixa temperatura possuem uma estabilidade tão boa é a capacidade de atender aos requisitos dos processos. A LIAT fornece soluções personalizadas, como portas de comunicação variáveis e circuladores, para atender necessidades específicas na fabricação de semicondutores. O modelo dual oferece uma integração eficiente em espaço com duplo percurso, projetado para aplicações avançadas de gravação onde o controle estável de temperaturas ultra-baixas é essencial. Seja nas linhas de fabricação de semicondutores ou nos testes de componentes de nova energia, os chillers de ultra-baixa temperatura podem ser modificados para reduzir o risco de problemas operacionais, mantendo a confiabilidade.
A estabilidade e o suporte de serviço também fazem parte da filosofia de design. A rede de serviços em todo o país oferece cobertura a sete pontos de atendimento na China e fornece serviços e suporte para atender aos requisitos da rede. Para clientes internacionais, a LIAT oferece suporte pós-venda e entrega rápida de peças sobressalentes e/ou serviço e suporte no local para resolver problemas. A LIAT estabeleceu parcerias estáveis com as principais fábricas de semicondutores e otimizou o design dos chillers ultrafrios para semicondutores com base nos feedbacks recebidos, criando um sistema de suporte contínuo, permitindo que os chillers ultrafrios funcionem sem interrupções durante toda a sua vida operacional.
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