EN
CO2 Chillers
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturinterval : -20 ℃～+80 ℃
Kølekapacitet : -20 ℃@2 kW/20 ℃@10 kW
Leverer præcis termisk regulering gennem kompakte kompressorkølere til :
Fremstilling og test af halvlederskiver
Nye energibatterier/e-drive validering
Præcisionsudstyr køling
Testspecifikke luftkøleapplikationer
- Oversigt
- Anbefalede produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng CO₂ Ultra Clean Køler
Anvendelse af naturligt kølemiddel (GWP=1, ODP=0) at levere ±0,1 ℃ præcisions temperaturkontrol til avancerede halvlederprocesser. Muliggør -40 ℃ til +100 ℃ med bredt driftsområde ved transcritical cykelteknologi, kompatibel med mission-critical applikationer:
Fotolitografi
Graveringsarbejde
Atomic Layer Deposition (ALD)
Tætsluttende flow-sti opfylder klasse 100 rensalskrav, mens F-gasfri design reducerer eksponering for kulsyreafgift – opnår både procesekscellen og ESG-overensstemmelse.
Nøgelfordele：
Miljømæssig bæredygtighed:
GWP=1 - Fuldens med globale klimamål, reducerer eksponering for kulsyreafgift
Naturligt kølemiddel - Fjerner krav til genopfangede/bortskaffelse af fluorerede gasser
Nul ODP - Overholder internationale regler (f.eks. Kigali-ændringsaftalen)
±0,1 ℃ præcisionskontrol - Muliggør avancerede nodes (TSMC 5 nm fluorineret kølemiddeludledningskompatibel)
Drift uden forurening - CO₂-udslip <1 ppb, certificeret til klasse 1000 rensale rum
30 % højere COP - Transkritisk cykel invertersteknologi (verificeret i forhold til LIAT 1.0-basislinjen)
Sikkerhedsydelse:
Ikke-toksisk og ikke-brandfarlig - Eliminerer risikoen for lækage af fluorinerede kølemidler
Fab risikoreduktion - 68 % lavere miljøfarlighedsindeks (pr. SEMI S10)
Kernekomponenter og drift:
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermatisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0,5℃ kontrol) |
Kondensator |
Rustfrit stål, <5 % termisk tab |
Fordamper |
Titanplade, 35 % højere effektivitet, ≤55 dB støj |
Heater |
Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃ |
Udvidelsesventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring |
Pumpe |
Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation |
Køleprincip:
1. Kompression → Kølemiddelkomprimering
2. Kondensation → Varmeledning og væskedannelse
3. EEV-tærskel → Lavtryksdisdannelse
4. Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5. Inverterstrømstyring → Opbevarer ±0. 1℃ stabilitet
| GVS010 Produktparametre | |
| Produktmodel | GVS010-W-32F |
| Kølemetode | Køletype med vandkøling |
| Kontroltilstand | PID kontrol |
| Temperaturkontrolområde | -20℃~+80℃ |
| Nøjagtighed | ±0.1℃ |
| Kylingskapacitet |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Effekt | 3 kW |
| Tank | 20L |
| Gennemstrømningshastighad for væske | 20 L/min (0,75 MPa) |
| PCW-trafik | 15 L/min @ 15~25 ℃ |
| Temperaturinterval | 5~35℃ |
| Typer af cirkulerende væske | Etylenglykolblanding, Rent vand, Fluoreret opløsning |
| Kuldemedium | R744 (CO2) |
| Cirkulerende væskegrænseflade | Rc3/4” |
| PCW-grænseflade | RC1/2” |
| Eksterne dimensioner (mm) | 380B*900D*1250H |
| Indgangsforsyning | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Maskinkraft | 8KW |
| netto vægt | 200KG |
| Designstandarder | Semi |
