EN
CO2 Chillers
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturinterval : -20 ℃～+80 ℃
Kølekapacitet : -20 ℃@2 kW/20 ℃@10 kW
Leverer præcis termisk regulering gennem kompakte kompressorkølere til :
Fremstilling og test af halvlederskiver
Nye energibatterier/e-drive validering
Præcisionsudstyr køling
Testspecifikke luftkøleapplikationer
- Oversigt
- Anbefalede produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng CO₂ Ultra Clean Køler
Anvendelse af naturligt kølemiddel (GWP=1, ODP=0) at levere ±0,1 ℃ præcisions temperaturkontrol til avancerede halvlederprocesser. Muliggør -40 ℃ til +100 ℃ med bredt driftsområde ved transcritical cykelteknologi, kompatibel med mission-critical applikationer:
Fotolitografi
Graveringsarbejde
Atomic Layer Deposition (ALD)
Tætsluttende flow-sti opfylder klasse 100 rensalskrav, mens F-gasfri design reducerer eksponering for kulsyreafgift – opnår både procesekscellen og ESG-overensstemmelse.
Nøgelfordele：
Miljømæssig bæredygtighed:
GWP=1 - Fuldens med globale klimamål, reducerer eksponering for kulsyreafgift
Naturligt kølemiddel - Fjerner krav til genopfangede/bortskaffelse af fluorerede gasser
Nul ODP - Overholder internationale regler (f.eks. Kigali-ændringsaftalen)
±0,1 ℃ præcisionskontrol - Muliggør avancerede nodes (TSMC 5 nm fluorineret kølemiddeludledningskompatibel)
Drift uden forurening - CO₂-udslip <1 ppb, certificeret til klasse 1000 rensale rum
30 % højere COP - Transkritisk cykel invertersteknologi (verificeret i forhold til LIAT 1.0-basislinjen)
Sikkerhedsydelse:
Ikke-toksisk og ikke-brandfarlig - Eliminerer risikoen for lækage af fluorinerede kølemidler
Fab risikoreduktion - 68 % lavere miljøfarlighedsindeks (pr. SEMI S10)
Kernekomponenter og drift:
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermatisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0,5℃ kontrol) |
Kondensator |
Rustfrit stål, <5 % termisk tab |
Fordamper |
Titanplade, 35 % højere effektivitet, ≤55 dB støj |
Heater |
Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃ |
Udvidelsesventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring |
Pumpe |
Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation |
Køleprincip:
1. Kompression → Kølemiddelkomprimering
2. Kondensation → Varmeledning og væskedannelse
3. EEV-tærskel → Lavtryksdisdannelse
4. Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5. Inverterstrømstyring → Opbevarer ±0. 1℃ stabilitet
| GVS010 Produktparametre | GVS405-produktparametre | ||
| Produktmodel | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kølemetode |
Køletype med vandkøling |
||
| Kontroltilstand |
PID kontrol |
||
| Temperaturkontrolområde | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 ℃ til +90 ℃ |
| Nøjagtighed |
±0.1℃ |
||
| Kylingskapacitet |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4kW |
4 kW ved -10 ℃ 10 kW ved +20 ℃ |
| Effekt | 3 kW | 3 kW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Gennemstrømningshastighad for væske | 20 L/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| PCW-trafik | 15 L/min @ 15~25 ℃ | 15 L/min ved 15–25 ℃ og 0,3–0,4 MPa | |
| Temperaturinterval | 5~35℃ | ||
| Typer af cirkulerende væske | Etylenglykolblanding, Rent vand, Fluoreret opløsning | ||
| Kuldemedium | R744 (CO2) | ||
| Cirkulerende væskegrænseflade |
Rc3/4” |
||
| PCW-grænseflade | RC1/2” | Rc1-1/4" | RC1/2” |
| Eksterne dimensioner (mm) | 380B*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 H |
600 B × 900 D × 1300 H (mm) |
| Indgangsforsyning | 3Ph,208-220V,50Hz | 3-faset, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Maskinkraft | 8KW | 15,4 kW | |
| netto vægt | 200KG | ||
| Designstandarder | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
