Opvarmningssystem til jakke

Teknisk beskrivelse:

Opvarmningsfrakkeapplikationer :

1. Gasforsyningsledninger

Farlige procesgasser :
Boratriklorid (BCl₃), Chlorin trifluorid (ClF₃), Tetraethyl orthosilicat (TEOS)
Dichlorosilan (DCS/SiH₂Cl₂), Wolframpentafluorid (WF₆)
Procesvalidering opvarmning af gasledninger til dugpunkt-kontrol og kondensationsforebyggelse

2. CVD-processer

Lavtryks-kemisk dampposition (LPCVD)
Plasmaforstærket CVD (PECVD)
Funktion: Stabilisering af forstadievaportemperatur (±1℃)

3. Metalætning

Plasmakurvningssystemer :
Aluminiumsætning (Cl₂/BCl₃ kemikalier)
Tungsætning (SF₆/WF₆ blanding)
Funktion: Opbevar gassens reaktivitetskonsistens

Fordele ved opvarmning af installationsledningerne:

Fordele kategori	Tekniske egenskaber
Præcisionskontrol	±0,5℃ stabilitet via PID-regulatorer (certificeret efter ISO 15805)
Sikkerhedsgaranti	Dobbelt sikkerhedsafbrydelse: • KSD30 termostat • Termisk sikring (i henhold til IEC 60691)
Eko-Isolering	Isoleringslag uden PFAS: • Termisk tab <5% (ISO 8301) • Hyldestæt af rustfrit stål
Smart overvågning	Efterlysning af strøm i realtid: • Strømværdier per zone → HMI/SCADA • MODBUS-TCP dataoptagelse

PID-temperaturregulatorer

Heating Jacket-systemet anvender PID-temperaturregulatorer til præcis temperaturregulering, hvor hver regulator opererer på et dedikeret RS485 bus-segment med unik netværksadressering. Disse PID-enheder fungerer både som selvstændige kontrolmoduler og som integrerede noder i en distribueret netværksarkitektur. Ved brug af Modbus RTU-protokollen via RS485-grænseflader kommunikerer alle regulatorer tovejsrettet med den centrale HMI-styringskabinet for at muliggøre synkroniseret temperaturstyring i flere zoner og indsamling af data i realtid uden behov for en central PLC.

Hmi kontrolpanel

Installation af isolerede varmefrakker og PID-temperaturstyringer på vakuum- eller gasledninger er relativt decentraliseret, hvilket gør det umuligt at effektivt overvåge alle varmefrakkers temperatur og driftsstatus i realtid samtidigt. For at muliggøre realtidsovervågning af alle varmefrakkers tilstand har vi implementeret en HMI-kontrolpanel, der samler alle varmefrakker i en fælles platform og opnår centraliseret kontrol og kommunikationshåndtering.

Centraliseret overvågningssystem

Alle grænseflader – herunder overvågningsskærme, realtidsalarmindikatorer, historiske alarmlogge, hændelseslogge, trendanalysegrafer og rapportformularer – kan konfigureres i hovedsystemet (ved brug af SCADA-platforme såsom InTouch eller iFix) til komplet overvågning af varmefrakkens system.