EN
Enkeltkanals kølemaskiner
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturinterval :-40 ˚C～+80 ˚C
Kølekapacitet :-40 ℃@6 kW/20 ℃@25 kW
Med inverterbaseret temperaturkontrol , dette system forbedrer energieffektiviteten og reducerer strømforbruget. Leverer ±0,1 ℃ stabilitet til præcisionskritiske applikationer, herunder:
Halvlederætsværktøjer og CMP (kemisk mekanisk polering)
Laboratorieinstrumenter og højpræcisions testudstyr
Estetiske medicinsk udstyr og faststoflasere
Formtemperaturkontrolsystemer
- Oversigt
- Anbefalede produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng Enkeltkanalskølere leverer målrettet termisk styring med integreret kompakt design.
Udformet til præcisionskøling af selvstændige udstyr , vores enheder har ±0,1 ℃ PID-styring og
inverterkompressorteknologi til kritiske applikationer herunder:
Semiconductor-metrologiudstyr
Laserbehandlingsystemer
Medicinske analyser
Forsøgsopstillinger
Isoleret væskekreds forhindrer krydskontaminering, mens konstruktion uden PCV reducerer installationsomkostninger med 30%.
Nøgdefordel:
Kryogene excellence : Virker ved -40℃ med <3 minutters temperaturudskiftning
Cirkulation uden tab : Laserfalsede rør med <0,1 % årligt væsjetab
Inverter Effektivitet : 35 % energibesparelse i forhold til modeller med fast hastighed (SEMI S23 certificeret)
Dynamisk rampetilstand : Opnår temperaturændringshastigheder på ±5℃/min
Multi-protokolintegration : SECS/GEM og OPC-UA klar til integration af ASML/TEL/LAM-værktøjer 
Kernekomponenter og drift
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontrol) |
Kondensator |
Rustfrit stål, <5 % termisk tab |
Fordamper |
Pladetypedesign, 35 % højere effektivitet, støj ≤55 dB |
Heater |
Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃ |
Udvidelsesventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring |
Pumpe |
Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation |
Køleprincip
Adaptiv PID-kølecyklus :
1️⃣ Kompression → Kølemiddelkomprimering
2️⃣ Kondensation → Varmeledning og væskegørelse
3️⃣ EEV-tærskelstyring → Lavtryksdannelse
4️⃣ Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5️⃣ Inverter flow control → Bevarer ±0. 1℃ stabilitet
| VS100/407/020 Produktparametre | |||
| Produktmodel | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Kølemetode | Vandkøling | ||
| Kontroltilstand | PID kontrol | ||
| Temperaturkontrolområde | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Nøjagtighed | ±0.1℃ | ||
| Kylingskapacitet |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-20℃@5 kW -10℃@10 kW 0℃@15 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
-40 ℃@6 kW -20℃@12 kW 0℃@25 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
| Effekt | 3 kW | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Gennemstrømningshastighad for væske | 20 L/min (0,75 MPa) | 20L/min (0,7 MPa) | |
| PCW-trafik | 15 L/min @ 15~25 ℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Temperaturinterval | 5~35℃ | ||
| Typer af cirkulerende væske | Blanding af ethylenglykol, rent vand, fluorineret væske | Rent vand, Blandning af ethylenglykol, Rent vand, Fluorineret opløsning | Blandning af ethylenglykol, fluorineret væske |
| Kuldemedium | R410a | / | / |
| Cirkulerende væskegrænseflade | Rc3/4“ | ||
| PCW-grænseflade | RC1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Eksterne dimensioner (mm) | 380V*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Indgangsforsyning | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Maskinkraft | 8KW | 9.7KW | 14KW |
| netto vægt | 200KG | 210 kg | 360kg |
| Designstandarder | Semi | ||
