Trekkanals kølemaskine

Temperaturstabilitet : ±0,1 °C

Temperaturinterval : -40 °C～+80 °C

Kølekapacitet : -40 ℃@6 kW /20 ℃@25 kW
Industriel kompressor-køleanlæg udstyret med kompressorer fra premiummærker for ekstraordinær stabilitet. Leverer ±0,1 ℃ udgangstemperaturstabilitet til kritiske anvendelser såsom:

Køling af fotolitografi/ætseudstyr

Termisk styring af PVD/CVD-værktøj

Temperaturregulering af kemiske og farmaceutiske reaktorer

GMP-kompatibel farmaceutisk proceskøling

Oversigt
Anbefalede produkter

Teknisk beskrivelse:

Lingheng Triple-Circuit køleaggregater leverer præcisionskøling med flere belastninger (±0,1℃) i en enkelt enhed. Med konfigurerbare udgange til stabile miljøer leverer de:
✅ SMART KONTROL : Planlagt drift, automatisk kompensation, selvvurdering
✅ Trippel sikkerhed : Alarm ved overophedning/overbelastning/vandmangel
✅ Industriel tilslutning : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Udviklet til halvleder-cluster-værktøjer og PV-produktionslinjer med 30 % energibesparelse.

原理图5-英.png

Nøgdefordel:

TripleSync™-integration
» 3 uafhængige kredsløb i ét chassi
→ 55 % reduktion af rengøringsrummets areal

Nøjagtighed på cluster-niveau
» ±0,1 ℃ stabilitet med <±0,03 ℃ mellem kredsløbsgradienter
→ Muliggør synkronisering af flere kamre

Dynamisk belastningsbalancering
» Smart kølefordeling (samlet kapacitet på 30 kW)
→ 28 % energibesparelse ved variable belastninger

Flertydskabslige kompatibilitet
» Plug-and-play med ASML/AMAT/TEL cluster tools
→ Understøtter 300 mm fabs og PV TOPCon linjer

Ultrarent titan økosystem
» Tilpassede flowveje med modulær afspærring
→ <0,1 ppb væskerester (i overensstemmelse med klasse 10)

结构图.png

Kernekomponenter og drift:

Komponent	TEKNOLOGI
Kompressor	Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontrol)
Kondensator	Rustfrit stål, <5 % termisk tab
Fordamper	Pladetypedesign, 35 % højere effektivitet, støj ≤55 dB
Heater	Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃
Udvidelsesventil	Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring
Pumpe	Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation

Køleprincip:

Adaptiv PID-kølecyklus :
1️⃣ Kompression → Kølemiddelkomprimering
2️⃣ Kondensation → Varmeledning og væskegørelse
3️⃣ EEV-tærskelstyring → Lavtryksdannelse
4️⃣ Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5️⃣ Inverter flow control → Bevarer ±0. 1℃ stabilitet

VT410 Produktparametre		VT210-W-32
Produktnavn	Kylere
Produktmodel	VT410-W-33	VT210-W-33
Kølemetode	Vandkøling
Kontroltilstand	PID kontrol
Temperaturkontrolområde	CH1:-45~+60℃	CH1: +10 ℃ ~ +80 ℃

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30 ℃ ~ +90 ℃

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30 ℃ ~ +90 ℃
Nøjagtighed	±0.1℃
Kølekapacitet	CH1:6 kW@-40˚C	CH1: 15 kW ved 20 °C

	CH2:30 kW@+30℃	CH2: 20 kW ved +60 °C

	CH3:28 kW@+20℃	CH3: 20 kW ved +60 °C
Effekt	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Tank	Fælles ekspansionstank til CH1 / CH2 30 L + varmtvandsbeholder 25 L
Cirkulerende væskestrøm	CH1:17 L/min @ 0,9 MPa	25 L–30 L/min ved 0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9 MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76 MPa
PCW-trafik	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa
Temperaturinterval	5~35 ℃
Cirkulerende væsketype	FC3283
Cirkulerende væskegrænseflade	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW-grænseflade	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4"
Eksterne dimensioner (mm)	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Indgangsforsyning	3Ph,380-400V,50Hz
Hele maskinens effekt	41,1 kW
Netto vægt	600 kg
Designstandarder	Semi