EN
Trekkanals kølemaskine
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturinterval : -40 °C～+80 °C
Kølekapacitet : -40 ℃@6 kW /20 ℃@25 kW
Industriel kompressor-køleanlæg udstyret med kompressorer fra premiummærker for ekstraordinær stabilitet. Leverer ±0,1 ℃ udgangstemperaturstabilitet til kritiske anvendelser såsom:
Køling af fotolitografi/ætseudstyr
Termisk styring af PVD/CVD-værktøj
Temperaturregulering af kemiske og farmaceutiske reaktorer
GMP-kompatibel farmaceutisk proceskøling
- Oversigt
- Anbefalede produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng Triple-Circuit køleaggregater leverer præcisionskøling med flere belastninger (±0,1℃) i en enkelt enhed. Med konfigurerbare udgange til stabile miljøer leverer de:
✅ SMART KONTROL : Planlagt drift, automatisk kompensation, selvvurdering
✅ Trippel sikkerhed : Alarm ved overophedning/overbelastning/vandmangel
✅ Industriel tilslutning : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Udviklet til halvleder-cluster-værktøjer og PV-produktionslinjer med 30 % energibesparelse.
Nøgdefordel:
TripleSync™-integration
» 3 uafhængige kredsløb i ét chassi
→ 55 % reduktion af rengøringsrummets areal
Nøjagtighed på cluster-niveau
» ±0,1 ℃ stabilitet med <±0,03 ℃ mellem kredsløbsgradienter
→ Muliggør synkronisering af flere kamre
Dynamisk belastningsbalancering
» Smart kølefordeling (samlet kapacitet på 30 kW)
→ 28 % energibesparelse ved variable belastninger
Flertydskabslige kompatibilitet
» Plug-and-play med ASML/AMAT/TEL cluster tools
→ Understøtter 300 mm fabs og PV TOPCon linjer
Ultrarent titan økosystem
» Tilpassede flowveje med modulær afspærring
→ <0,1 ppb væskerester (i overensstemmelse med klasse 10)
Kernekomponenter og drift:
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontrol) |
Kondensator |
Rustfrit stål, <5 % termisk tab |
Fordamper |
Pladetypedesign, 35 % højere effektivitet, støj ≤55 dB |
Heater |
Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃ |
Udvidelsesventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring |
Pumpe |
Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation |
Køleprincip:
Adaptiv PID-kølecyklus :
1️⃣ Kompression → Kølemiddelkomprimering
2️⃣ Kondensation → Varmeledning og væskegørelse
3️⃣ EEV-tærskelstyring → Lavtryksdannelse
4️⃣ Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5️⃣ Inverter flow control → Bevarer ±0. 1℃ stabilitet
| VT410 Produktparametre | |
| Produktnavn | Kylere |
| Produktmodel | VT410-W-33 |
| Kølemetode | Vandkøling |
| Kontroltilstand | PID kontrol |
| Temperaturkontrolområde | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Nøjagtighed | ±0.1℃ |
| Kølekapacitet | CH1:6 kW@-40˚C |
| CH2:30 kW@+30℃ | |
| CH3:28 kW@+20℃ | |
| Effekt | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Tank | Fælles ekspansionstank til CH1 / CH2 30 L + varmtvandsbeholder 25 L |
| Cirkulerende væskestrøm | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | |
| PCW-trafik | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| Temperaturinterval | 5~35 ℃ |
| Cirkulerende væsketype | FC3283 |
| Cirkulerende væskegrænseflade | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW-grænseflade | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Eksterne dimensioner (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Indgangsforsyning | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Hele maskinens effekt | 41,1 kW |
| Netto vægt | 600 kg |
| Designstandarder | Semi |
