Dobbeltkanals kølemaskine

Teknisk beskrivelse:

Lingheng dualkreds køleanlæg leverer dobbelte uafhængige temperaturkontrol i en enkelt enhed.
Med ±0,1 ℃ stabilitet per kreds , disse systemer er konstrueret til:

Synkronisering af køling af PVD/CVD-kamre

Flere zoner termisk styring i ætsningsværktøjer
Med 40 % mindre pladsbehov og industribevist kompatibilitet (AMAT/LAM/TEL) definerer de effektiv præcisionskøling med hensyn til pladsudnyttelse.

Nøgdefordel:

To-i-én effektivitet
» Erstatter dobbelte kølemaskiner med uafhængige kredsløb
→ 40 % renere pladsbesparelse + 30 % lavere CAPEX

Præcisionsdobbelt kontrol
» ±0,1 ℃ stabilitet per kredsløb (ΔT<0, 2℃)
→ Sørger for <3 % variation i filmtykkelse i CVD/PVD

Fab-klar integration
» Forhåndsindlæste AMAT/LAM/TEL-protokoller
→ 90 % 300 mm værktøjskompatibilitet, 65 % mindre nedetid

Energy TwinDrive™
» 35 % lavere energiforbrug sammenlignet med konventionelle par
→ SEMI S23-certificeret, >$18.000 årlige besparelser

Nul udkrydsningsforurening
» Tilpassede flowveje  + Laser-svejste samlinger
→ Kompatibel med UPW/fluorinert/EGW

Kernekomponenter og drift:

Komponent	TEKNOLOGI
Kompressor	Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontrol)
Kondensator	Rustfrit stål, <5 % termisk tab
Fordamper	Pladetypedesign, 35 % højere effektivitet, støj ≤55 dB
Heater	Nedsænket direkte opvarmning, ensartethed ±0,3 ℃
Udvidelsesventil	Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-styring
Pumpe	Magnetdrevet pumpe (udgave med fluorineret væske), <2 % flowfluktuation

Køleprincip:

Adaptiv PID-kølecyklus :
1️⃣ Kompression → Kølemiddelkomprimering
2️⃣ Kondensation → Varmeledning og væskegørelse
3️⃣ EEV-tærskelstyring → Lavtryksdannelse
4️⃣ Fordampning → Præcisionsvarmeoptagelse fra udstyr
5️⃣ Inverter flow control → Bevarer ±0. 1℃ stabilitet