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Refrigeratori a CO2
Stabilità a temperatura : ±0,1 °C
Intervallo di temperatura : -20℃～+80℃
Capacità di raffreddamento : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Fornisce un preciso controllo termico attraverso raffreddatori compatti a compressore per :
Fabbricazione e test di wafer semiconduttori
Validazione batteria/propulsione elettrica dell'energia nuova
Raffreddamento di apparecchiature di precisione
Applicazioni di raffreddamento specifiche per test
- Panoramica
- Prodotti consigliati
Descrizione tecnica:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Utilizzando refrigerante naturale (GWP=1, ODP=0) per fornire controllo termico con precisione ±0,1℃ per processi avanzati di semiconduttori. Consente -40℃ a +100℃ funzionamento a vasto raggio tramite tecnologia ciclo transcritico, compatibile con applicazioni mission-critical:
Litografia a fotoni
Graffiatura
Deposizione di strato atomico (ALD)
Percorso di flusso completamente sigillato rispetta gli standard delle camere bianche di Classe 100, mentre Design senza gas fluorurati riduce l'esposizione alla tassa sul carbonio — raggiungendo sia l'eccellenza del processo che la conformità ESG.
Principali vantaggi:
Sostenibilità ambientale:
GWP=1 - Completamente allineato con gli obiettivi climatici globali, riducendo l'esposizione alla tassa sul carbonio
Refrigerante naturale - Elimina la necessità di recupero/smaltimento dei gas fluorurati
Zero ODP - Conforme alle normative internazionali (es. Emendamento di Kigali)
controllo di precisione ±0,1℃ - Consente l'utilizzo di tecnologie avanzate (TSMC 5nm conformi all'eliminazione dei refrigeranti fluorurati)
Funzionamento privo di contaminazione - Residuo di CO₂ <1ppb, certificato per cleanroom di classe 1000
cOP del 30% superiore - Tecnologia inverter a ciclo transcritico (verificata rispetto al baseline LIAT 1.0)
Prestazioni di sicurezza:
Non tossico e non infiammabile - Elimina i rischi di perdite di refrigerante fluorurato
Riduzione del rischio fabbrica - Indice di rischio ambientale del 68% inferiore (secondo SEMI S10)
Componenti principali e funzionamento:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressore |
Compressore inverter ermetico con protezione contro i colpi di liquido (controllo ±0,5℃) |
Condensatore |
Acciaio inossidabile, perdita termica <5% |
Evaporatore |
Piastra in titanio, efficienza del 35% superiore, rumore ≤55dB |
Riscaldatore |
Riscaldamento diretto sommerso, uniformità ±0,3℃ |
Valvola di espansione |
Valvola elettronica con controllo del surriscaldamento ±1℃ |
Pompa |
Pompa magnetica (versione con fluido fluorurato), fluttuazione del flusso <2% |
Principio di refrigerazione:
1. Compressione → Pressurizzazione del refrigerante
2. Condensazione → Dissipazione del calore e liquefazione
3. Laminazione con valvola elettronica (EEV) → Generazione di nebbia a bassa pressione
4. Evaporazione → Assorbimento preciso del calore dall'attrezzatura
5. Controllo del flusso inverter → Mantiene una stabilità ±0, 1℃
| Parametri del prodotto GVS010 | |
| Modello di prodotto | GVS010-W-32F |
| Metodo di raffreddamento | Tipo di raffreddamento a liquido |
| Modalità di controllo | Controllo PID |
| Intervallo di controllo della temperatura | -20℃~+80℃ |
| Precisione | ±0.1℃ |
| Capacità di refrigerazione |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Potenza | 3KW |
| Serbatoio | 20L |
| Portata del liquido circolante | 20L/min (0,75MPa) |
| Traffico PCW | 15L/min@15~25℃ |
| Intervallo di temperatura | 5~35℃ |
| Tipi di Fluido Circolante | Miscela di Glicole Etilenico, Acqua Pura, Soluzione Fluorurata |
| Refrigerante | R744 (CO2) |
| Interfaccia del Liquido Circolante | Rc3/4” |
| Interfaccia PCW | Rc1/2” |
| Dimensioni Esterne (mm) | 380W*900D*1250H |
| Alimentazione elettrica | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Potenza della macchina | 8 kW |
| peso netto | 200KG |
| Norme di progettazione | Semi |
