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Refrigeratore a doppio canale
Stabilità a temperatura : ±0,1 °C
Intervallo di temperatura : -20℃～+80℃
Capacità di raffreddamento : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Sistema di raffreddamento preciso a doppio circuito che offre le prestazioni di due raffreddatori indipendenti in un'unica unità. Raggiunge stabilità di ±0,1 ℃ per circuito per applicazioni critiche nel settore semiconduttori:
Controllo della temperatura degli strumenti PVD/CVD
Gestione termica del processo di etching
Compatibilità collaudata nel settore con AMAT, LAM, AMEC, TEL e altre principali attrezzature per Fab.
- Panoramica
- Prodotti consigliati
Descrizione tecnica:
Lingheng refrigeratori a doppio circuito forniscono un controllo indipendente della temperatura a doppio circuito in un'unica unità.
Con stabilità di ±0,1 ℃ per circuito , questi sistemi sono progettati per:
Raffreddamento sincronizzato delle camere PVD/CVD
Gestione termica multi-zona negli strumenti di incisione
Con un ingombro del 40% inferiore e una compatibilità collaudata nel settore (AMAT/LAM/TEL), ridefiniscono il raffreddamento preciso con risparmio di spazio.
Punti di Forza Principali:
Efficienza Due in Uno
» Sostituisce i raffreddatori doppi con circuiti indipendenti
→ 40% di spazio in meno nelle cleanroom + riduzione del 30% degli investimenti iniziali
Controllo Doppio Preciso
» Stabilità ±0,1℃ per circuito (ΔT<0. 2℃)
→ Garantisce una variazione dello spessore del film <3% in CVD/PVD
Integrazione Pronta per il Fab
» Protocolli AMAT/LAM/TEL precaricati
→ 90% compatibilità con strumenti da 300mm, 65% in meno di fermo macchina
Energy TwinDrive™
» 35% minore consumo energetico rispetto alle coppie convenzionali
→ Certificato SEMI S23, risparmio annuo >$18.000
Zero contaminazione incrociata
» Percorsi di flusso personalizzabili + Giunti saldati al laser
→ Compatibile con UPW/fluorinert/EGW 
Componenti principali e funzionamento:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressore |
Compressore inverter ermetico con protezione contro i colpi di liquido (±0. 1℃ controllo) |
Condensatore |
Acciaio inossidabile, perdita termica <5% |
Evaporatore |
Design a piastre, efficienza del 35% superiore, rumore ≤55dB |
Riscaldatore |
Riscaldamento diretto sommerso, uniformità ±0,3℃ |
Valvola di espansione |
Valvola elettronica con controllo del surriscaldamento ±1℃ |
Pompa |
Pompa magnetica (versione con fluido fluorurato), fluttuazione del flusso <2% |
Principio di refrigerazione:
Ciclo frigorifero PID adattivo :
1️⃣ Compressione → Pressurizzazione del refrigerante
2️⃣ Condensazione → Dissipazione del calore e liquefazione
3️⃣ Espansione EEV → Generazione di bassa pressione
4️⃣ Evaporazione → Assorbimento preciso del calore proveniente dall'attrezzatura
5️⃣ Controllo del flusso inverter → Mantiene una stabilità di ±0. 1℃
| Parametri del prodotto VD100 | |
| Modello di prodotto | VD100-W-32 |
| Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua |
| Modalità di controllo | Controllo PID |
| Intervallo di controllo della temperatura | -20℃~+80℃ |
| Precisione | ±0.1℃ |
| Capacità di refrigerazione |
CH1/ CH2: -20℃@2 KW - 10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Potenza |
CH1:3KW CH2:3KW |
| Serbatoio |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Portata del liquido circolante |
CH1:20 L/min（0.75 MPa） CH2:20 L/min (0,75 MPa) |
| Traffico PCW | CH1: 15 L/min@15~25 ℃ CH2: 15 L/min@15~25 ℃ |
| Intervallo di temperatura | 5~35℃ |
| Tipi di Fluido Circolante | Miscela di glicole etilenico, acqua pura, liquido fluorurato |
| Refrigerante | R410a |
| Interfaccia del Liquido Circolante | Rc3/4“ x 2 |
| Interfaccia PCW | Rc1/2” x 2 |
| Dimensioni Esterne (mm) | 600W*920D*1300H |
| Alimentazione elettrica | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Potenza della macchina | 16KW |
| peso netto | 350 kg |
| Norme di progettazione | Semi |
