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Sistema Riscaldamento Giacca
Stabilità a temperatura : ±0. 5℃
Il prodotto è disponibile nei seguenti materiali, in base alle esigenze effettive:
Materiale in schiuma di silicone
Materiale PTFE pieno
Materiale rivestito in PTFE
Materiale in PTFE espanso
- Panoramica
- Prodotti consigliati
Descrizione tecnica:
Il sistema Heating Jacket mantiene temperature precise nelle linee di distribuzione del vuoto/gas
in tutti i processi di produzione avanzata. Progettato su misura per esigenze specifiche del settore
previene la condensazione incompleta dei reagenti e il deposito di sottoprodotti
sulle pareti interne delle tubazioni - fondamentale per evitare ostruzioni al flusso e degrado dell'efficienza
di scarico nei sistemi per semiconduttori a vuoto/gas. Composto da tre componenti principali:
Giacche Riscaldanti (progetti specifici per traccia)
Controller PID (stabilità ±0,5℃)
Armadi di Controllo HMI
questa soluzione consente il monitoraggio in tempo reale delle condutture e la gestione termica per le tubazioni in acciaio inox per gas.
Applicazioni per riscaldamento :
1. Linee di distribuzione del gas
Gas di processo pericolosi :
Tricloruro di boro (BCl₃), Trifluoruro di cloro (ClF₃), Ortosilicato di tetraetile (TEOS)
Diclorosilano (DCS/SiH₂Cl₂), Esafluoruro di tungsteno (WF₆)
Validazione del processo : Riscaldamento delle tubazioni per il controllo del punto di rugiada e prevenzione della condensazione
2. Processi CVD
Deposizione chimica da vapore a bassa pressione (LPCVD)
CVD con plasma (PECVD)
Funzione: Stabilizzazione della temperatura del vapore precursore (±1℃)
3. Incisione metalli
Sistemi di etching a plasma :
Incisione alluminio (chimica Cl₂/BCl₃)
Incisione tungsteno (miscele SF₆/WF₆)
Funzione: Mantenere la costanza della reattività dei gas
Vantaggi del Heating Jacket:
Categoria dei vantaggi |
Caratteristiche tecniche |
Controllo Preciso |
stabilità ±0,5℃ tramite controller PID (certificato ISO 15805) |
Garanzia di Sicurezza |
Doppi dispositivi di sicurezza: |
Isolamento ecologico |
Strato isolante privo di PFAS: |
|
Monitoraggio in tempo reale della corrente: |
Controller di temperatura PID
Il sistema Heating Jacket utilizza controller di temperatura PID per una regolazione termica precisa; ciascun controller opera su un proprio segmento di bus RS485 con indirizzamento di rete unico. Queste unità PID funzionano sia come moduli di controllo autonomi che come nodi integrati all'interno di un'architettura di rete distribuita. Utilizzando il protocollo Modbus RTU tramite interfacce RS485, tutti i controller comunicano in modo bidirezionale con il quadro di controllo HMI centrale, consentendo una gestione sincronizzata delle temperature su più zone e l'aggregazione dei dati in tempo reale, senza richiedere un PLC centrale.
Pannello di controllo hmi
L'installazione di giacche riscaldanti con isolamento termico e di regolatori di temperatura PID su tubazioni a vuoto o per gas è relativamente decentralizzata, rendendo impossibile monitorare efficacemente in tempo reale le temperature e lo stato operativo di tutte le giacche riscaldanti contemporaneamente. Per abilitare il monitoraggio in tempo reale di tutte le condizioni delle giacche riscaldanti, abbiamo implementato un pannello di controllo HMI che integra tutte le giacche riscaldanti in un'unica piattaforma, ottenendo un controllo centralizzato e una gestione delle comunicazioni.
Sistema di Monitoraggio Centralizzato
Tutte le interfacce – inclusi schermi di monitoraggio, display di allarme in tempo reale, log storici degli allarmi, registrazioni storiche degli eventi, grafici di analisi delle tendenze e moduli per report – possono essere configurate sul sistema principale (utilizzando piattaforme SCADA come InTouch o iFix) per un monitoraggio completo del sistema delle giacche riscaldanti.
Vantaggi del Sistema:
• Migliore Efficienza di Gestione - Migliora le prestazioni operative complessive
• Manutenzione semplificata - Riduce la complessità operativa e di manutenzione
• Ottimizzazione dei costi - Riduce i costi di installazione, esercizio e espansione
• Monitoraggio Multi-Dispositivo - Consente il monitoraggio reciproco tra più computer
• Condivisione delle Risorse - Favorisce l'utilizzo centralizzato delle risorse disco
• Backup Ridondante - Fornisce funzionalità di backup reciproco
• Notifica Allarme Multi-Canale - Supporta avvisi SMS/chiamate e notifiche email
• Analisi Completa dei Dati - Consente ricerche di dati storici e visualizzazione grafica delle tendenze
• Reportistica Automatica - Genera automaticamente report del sistema
• Gestione della rete - Consente l'amministrazione centralizzata del sistema di monitoraggio
| Tessuto interno | Telo in PTFE Teflon |
| Elemento di riscaldamento | Elemento riscaldante elettrico in PTFE nichel cromo |
| Isolamento | Feltro in fibra di vetro ad alta capacità |
| Materiale esterno del tessuto | Telo in PTFE Teflon |
| Fibbia fissa | Velcro ignifugo e resistente alla temperatura |
