Refrigeratori a tre canali
Stabilità a temperatura : ±0,1 °C
Intervallo di temperatura : -40°C~+80°C
Capacità di raffreddamento : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Refrigeratore con compressore industriale dotato di compressori di marchio premium per un'eccezionale stabilità. Fornisce stabilità della temperatura di uscita ±0,1℃ per applicazioni critiche tra cui:
Raffreddamento di attrezzature per fotolitografia/etching
Gestione termica per strumenti PVD/CVD
Controllo della temperatura per reattori chimici e farmaceutici
Raffreddamento dei processi farmaceutici conforme alle norme GMP
- Panoramica
- Prodotti consigliati
Descrizione tecnica:
Raffreddatori Triplo Circuito Lingheng forniscono un raffreddamento preciso multi-carico (±0,1℃) in un'unica unità. Con uscite configurabili per ambienti stabili, offrono:
✅ CONTROLLO INTELLIGENTE : Funzionamento programmato, compensazione automatica, autodiagnosi
✅ Triplice Sicurezza : Allarmi per surriscaldamento/sovraccarico e carenza d'acqua
✅ Connettività Industriale : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Progettati per tool cluster semiconduttori e linee di produzione fotovoltaiche con un risparmio energetico del 30%.

Punti di Forza Principali:
Integrazione TripleSync™
» 3 circuiti indipendenti in un unico chassis
→ Riduzione del 55% dell'ingombro in cleanroom
Precisione di livello cluster
» Stabilità di ±0,1℃ con gradiente inter-circuito <±0,03℃
→ Consente la sincronizzazione di processi multi-camera
Bilanciamento Dinamico del Carico
» Allocazione intelligente del raffreddamento (capacità totale 30kW)
→ Risparmio energetico del 28% sui carichi variabili
Compatibilità con Multi-Strumenti
» Plug-and-play con strumenti cluster ASML/AMAT/TEL
→ Compatibile con fabbriche da 300mm e linee PV TOPCon
Ecosistema in Titanio Ultraclean
» Percorsi di flusso personalizzabili con tenuta modulare
→ Residuo fluido <0,1 ppb (conforme alla classe 10)

Componenti principali e funzionamento:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressore |
Compressore inverter ermetico con protezione contro i colpi di liquido (±0. 1℃ controllo) |
Condensatore |
Acciaio inossidabile, perdita termica <5% |
Evaporatore |
Design a piastre, efficienza del 35% superiore, rumore ≤55dB |
Riscaldatore |
Riscaldamento diretto sommerso, uniformità ±0,3℃ |
Valvola di espansione |
Valvola elettronica con controllo del surriscaldamento ±1℃ |
Pompa |
Pompa magnetica (versione con fluido fluorurato), fluttuazione del flusso <2% |
Principio di refrigerazione:
Ciclo frigorifero PID adattivo :
1️⃣ Compressione → Pressurizzazione del refrigerante
2️⃣ Condensazione → Dissipazione del calore e liquefazione
3️⃣ Espansione EEV → Generazione di bassa pressione
4️⃣ Evaporazione → Assorbimento preciso del calore proveniente dall'attrezzatura
5️⃣ Controllo del flusso inverter → Mantiene una stabilità di ±0. 1℃

| Parametri del prodotto VT410 | VT210-W-32 |
|
| Nome del prodotto | Caldaio | |
| Modello di prodotto | VT410-W-33 | VT210-W-33 |
| Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua | |
| Modalità di controllo | Controllo PID | |
| Intervallo di controllo della temperatura | CH1:-45~+60℃ | CH1: +10 ℃ ~ +80 ℃ |
| CH2:+30~+90℃ | CH2: +30 ℃ ~ +90 ℃ |
|
| CH3:+10~+55℃ | CH3: +30 ℃ ~ +90 ℃ | |
| Precisione | ±0.1℃ | |
| Capacità di raffreddamento | CH1:6 kW @ -40 ℃ | CH1: 15 kW @ 20 °C |
| CH2:30 kW @ +30 ℃ | CH2: 20 kW @ +60 °C |
|
| CH3:28 kW@+20℃ | CH3: 20 kW @ +60 °C | |
| Potenza | CH1:4 kW | |
| CH2:14 kW | ||
| CH3:4 kW | ||
| Serbatoio | Serbatoio di espansione condiviso CH1/CH2 30 L + serbatoio acqua calda 25 L | |
| Portata del fluido circolante | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
25 L–30 L/min @ 0,65 MPa
|
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | ||
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | ||
| Traffico PCW | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa | ||
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | ||
| Intervallo di temperatura | 5~35 ℃ | |
| Tipo di fluido circolante | FC3283 | |
| Interfaccia del Liquido Circolante | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Interfaccia PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" | CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4" |
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Dimensioni esterne (mm) |
600W*1370D*2000H | 1100L*1400P*1600A |
| Alimentazione elettrica | 3Ph,380-400V,50Hz | |
| Potenza complessiva | 41,1 kW | |
| Peso netto | 600 kg | |
| Norme di progettazione |
Semi |
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