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Refrigeratori a tre canali
Stabilità a temperatura : ±0,1 °C
Intervallo di temperatura : -40°C～+80°C
Capacità di raffreddamento : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Refrigeratore con compressore industriale dotato di compressori di marchio premium per un'eccezionale stabilità. Fornisce stabilità della temperatura di uscita ±0,1℃ per applicazioni critiche tra cui:
Raffreddamento di attrezzature per fotolitografia/etching
Gestione termica per strumenti PVD/CVD
Controllo della temperatura per reattori chimici e farmaceutici
Raffreddamento dei processi farmaceutici conforme alle norme GMP
- Panoramica
- Prodotti consigliati
Descrizione tecnica:
Raffreddatori Triplo Circuito Lingheng forniscono un raffreddamento preciso multi-carico (±0,1℃) in un'unica unità. Con uscite configurabili per ambienti stabili, offrono:
✅ CONTROLLO INTELLIGENTE : Funzionamento programmato, compensazione automatica, autodiagnosi
✅ Triplice Sicurezza : Allarmi per surriscaldamento/sovraccarico e carenza d'acqua
✅ Connettività Industriale : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Progettati per tool cluster semiconduttori e linee di produzione fotovoltaiche con un risparmio energetico del 30%.
Punti di Forza Principali:
Integrazione TripleSync™
» 3 circuiti indipendenti in un unico chassis
→ Riduzione del 55% dell'ingombro in cleanroom
Precisione di livello cluster
» Stabilità di ±0,1℃ con gradiente inter-circuito <±0,03℃
→ Consente la sincronizzazione di processi multi-camera
Bilanciamento Dinamico del Carico
» Allocazione intelligente del raffreddamento (capacità totale 30kW)
→ Risparmio energetico del 28% sui carichi variabili
Compatibilità con Multi-Strumenti
» Plug-and-play con strumenti cluster ASML/AMAT/TEL
→ Compatibile con fabbriche da 300mm e linee PV TOPCon
Ecosistema in Titanio Ultraclean
» Percorsi di flusso personalizzabili con tenuta modulare
→ Residuo fluido <0,1 ppb (conforme alla classe 10)
Componenti principali e funzionamento:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressore |
Compressore inverter ermetico con protezione contro i colpi di liquido (±0. 1℃ controllo) |
Condensatore |
Acciaio inossidabile, perdita termica <5% |
Evaporatore |
Design a piastre, efficienza del 35% superiore, rumore ≤55dB |
Riscaldatore |
Riscaldamento diretto sommerso, uniformità ±0,3℃ |
Valvola di espansione |
Valvola elettronica con controllo del surriscaldamento ±1℃ |
Pompa |
Pompa magnetica (versione con fluido fluorurato), fluttuazione del flusso <2% |
Principio di refrigerazione:
Ciclo frigorifero PID adattivo :
1️⃣ Compressione → Pressurizzazione del refrigerante
2️⃣ Condensazione → Dissipazione del calore e liquefazione
3️⃣ Espansione EEV → Generazione di bassa pressione
4️⃣ Evaporazione → Assorbimento preciso del calore proveniente dall'attrezzatura
5️⃣ Controllo del flusso inverter → Mantiene una stabilità di ±0. 1℃
| Parametri del prodotto VT410 | |
| Nome del prodotto | Caldaio |
| Modello di prodotto | VT410-W-33 |
| Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua |
| Modalità di controllo | Controllo PID |
| Intervallo di controllo della temperatura | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Precisione | ±0.1℃ |
| Capacità di raffreddamento | CH1:6 kW @ -40 ℃ |
| CH2:30 kW @ +30 ℃ | |
| CH3:28 kW@+20℃ | |
| Potenza | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Serbatoio | Serbatoio di espansione condiviso CH1/CH2 30 L + serbatoio acqua calda 25 L |
| Portata del fluido circolante | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | |
| Traffico PCW | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| Intervallo di temperatura | 5~35 ℃ |
| Tipo di fluido circolante | FC3283 |
| Interfaccia del Liquido Circolante | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Interfaccia PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Dimensioni esterne (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Alimentazione elettrica | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Potenza complessiva | 41,1 kW |
| Peso netto | 600 kg |
| Norme di progettazione | Semi |
