EN
Trys kanalų aušinimo įrenginiai
Temperatūros stabilumas : ±0,1℃
Temperatūros intervalas : -40 ˚C–+80 ˚C
Šaldymo galia : -40 ℃@6 KW /20 ℃@25 KW
Pramoninio tipo kompresoriaus aušintuvas su aukštos kokybės prekių ženklų kompresoriais, užtikrinantis puikų stabilumą. Pateikia ±0,1 ℃ išleidimo temperatūros stabilumą svarbiems taikymams, įskaitant:
Fotolitografijos/graviravimo įrenginių aušinimas
PVD/CVD įrankių šilumos valdymas
Cheminių ir farmacijos reaktorių temperatūros valdymas
GMP atitinkantis farmacijos proceso aušinimas
- Apžvalga
- Rekomenduojami produktai
Techninis aprašymas:
Lingheng Trys grandinės šaldytuvėliai teikia daugiapakopės apkrovos tikslų šaldymą (±0,1 ℃) viename įrenginyje. Turintys konfigūruojamus išvesties kanalus stabiliai aplinkai, jie suteikia:
✅ Mąstingas valdymas : Planuojama veikla, automatinis kompensavimas, savęs diagnostika
✅ Trys saugos lygiai : Perkaista/ perkrova/ vandens trūkumas signalizuoja
✅ Pramonės jungtis : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Sukurtas puslaidininkių grupės įrankiams ir PV gamybos linijoms su 30% energijos taupymu.
Pagrindiniai privalumai:
TripleSync™ integracija
» 3 nepriklausomi kontūrai viename korpuso bloke
→ 55 % mažesnis valymo kambario plotas
Grupės lygio tikslumas
» ±0,1 ℃ stabilumas su <±0,03 ℃ tarpkontūriniu gradientu
→ Leidžia sinchronizuoti daugiakameres technologinio proceso operacijas
Dinaminis apkrovos balansavimas
» Išmanusis aušinimas (viso 30 kW galia)
→ 28 % elektros energijos taupymas kintant apkrovai
Daugelio įrankių suderinamumas
» Prisijungimo ir naudojimo funkcija su ASML/AMAT/TEL grupės įrankiais
→ Palaiko 300 mm fabrikus ir PV TOPCon linijas
Ultravalikas titano ekosistema
» Individualizuojami srauto keliai su moduliniu sandarinimu
→ <0,1 ppb skysto likučio (atitinka 10 klasę)
Pagrindiniai komponentai ir veikla:
Komponentas |
Technologijos |
Sužluoklys |
Hermetiškas inverterinio kompresoriaus su skysčio smūgio apsauga (±0. 1℃ valdymas) |
Kondezatorius |
Nepriklausoma plieno, <5 % šilumos nuostolių |
Evakuatorius |
Plokštinis dizainas, 35% didesnis našumas, ≤55 dB triukšmas |
Šilpintuvas |
Panardinis tiesioginis šildymas, ±0,3 ℃ vienodumas |
Išplėtimo vamzdelis |
Elektroninis vožtuvas su ±1 ℃ perkaitimo valdymu |
Siurblys |
Magneto variklio siurblys (fluoruoto skysčio versija), <2 % srauto svyravimas |
Šaldymo principas:
Adaptyvus PID šaldymo ciklas :
1️⃣ Suspaudimas → Šaldiklio slėgio didinimas
2️⃣ Kondensacija → Šilumos išsisklaidymas ir skysčio susidarymas
3️⃣ EEV dalinimas → Mažo slėgio generavimas
4️⃣ Garinimas → Tikslus šilumos sugėrimas iš įrangos
5️⃣ Invertorinio srauto valdymas → Palaiko ±0. 1℃ stabilumą
| VT410 produkto parametrai | |
| Produkto pavadinimas | Chileris |
| Produkto modelis | VT410-W-33 |
| Aušinimo būdas | Vandens aušinimas |
| Valdymo režimas | PID valdymas |
| Temperatūros valdymo diapazonas | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Tikslumas | ±0.1℃ |
| Šaldymo galia | CH1:6 kW@-40 ˚C |
| CH2:30 kW@+30 ℃ | |
| CH3:28 kW@+20 ℃ | |
| Galia | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Depozitas | CH1 / CH2 bendrinis plėtimosi bakas 30 L + karšto vandens bakas 25 L |
| Cirkuliuojančio skysčio srautas | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | |
| PCW eismas | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| Temperatūros intervalas | 5~35 ℃ |
| Cirkuliuojančios skysčio rūšis | FC3283 |
| Cirkuliuojančio skysčio sąsaja | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW sąsaja | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Išoriniai matmenys （mm） |
600W*1370D*2000H |
| Įvesties energijos šaltinis | 3Fazės,380-400V,50Hz |
| Visos mašinos galia | 41,1 KW |
| Netauto svoris | 600 kg |
| Dizaino standartai | Semi |
