Dviejų kanalų aušinimo įrenginiai

Techninis aprašymas:

Lingheng dviejų grandžių čilleriai pateikia dvigubo nepriklausomo temperatūros valdymo viename įrenginyje.
Ypatingai ±0,1℃ stabilumą vienam kontūrui , šie įrenginiai sukurti:

PVD / CVD kamerų sinchronizuotas aušinimas

Kelių zonų šilumos valdymas ėsdinimo įrenginiuose
Su 40% mažesniu plotu ir pramonėje patvirtinta suderinamumo (AMAT / LAM / TEL), jie apibrėžia erdve taupų tikslų aušinimą.

Pagrindiniai privalumai:

Dviem viename efektyvumas
» Pakeičia dvigubus aušintuvus į nepriklausomas grandines
→ 40% mažiau švariosios patalpos + 30% mažesnės kapitalinės išlaidos

Tikslusis dvigubas valdymas
» ±0,1℃ stabilumas vienai grandinei (ΔT<0. 2℃)
→ Užtikrina <3% plėvelės storio nuokrypį CVD/PVD

Gaminimui paruošta integracija
» Ankstesnai įkelti AMAT/LAM/TEL protokolai
→ 90% 300 mm įrankių suderinamumas, 65% mažiau prastovų

Energijos TwinDrive™
» 35% mažiau energijos nei tradicinės poros
→ SEMI S23 sertifikuotas, >18 000 USD metinės santaupos

Nulinis tarpusavio užteršimas
» Pritaikomi srauto keliai  + suvirinti lazeriu sujungimai
→ Suderinamas su UPW/fluorinert/EGW

Pagrindiniai komponentai ir veikla:

Komponentas	Technologijos
Sužluoklys	Hermetiškas inverterinio kompresoriaus su skysčio smūgio apsauga (±0. 1℃ valdymas)
Kondezatorius	Nepriklausoma plieno, <5 % šilumos nuostolių
Evakuatorius	Plokštinis dizainas, 35% didesnis našumas, ≤55 dB triukšmas
Šilpintuvas	Panardinis tiesioginis šildymas, ±0,3 ℃ vienodumas
Išplėtimo vamzdelis	Elektroninis vožtuvas su ±1 ℃ perkaitimo valdymu
Siurblys	Magneto variklio siurblys (fluoruoto skysčio versija), <2 % srauto svyravimas

Šaldymo principas:

Adaptyvus PID šaldymo ciklas :
1️⃣ Suspaudimas → Šaldiklio slėgio didinimas
2️⃣ Kondensacija → Šilumos išsisklaidymas ir skysčio susidarymas
3️⃣ EEV dalinimas → Mažo slėgio generavimas
4️⃣ Garinimas → Tikslus šilumos sugėrimas iš įrangos
5️⃣ Invertorinio srauto valdymas → Palaiko ±0. 1℃ stabilumą