EN
Vieno kanalo aušinimo įrenginiai
Temperatūros stabilumas : ±0,1℃
Temperatūros intervalas : -40˚C～+80˚C
Šaldymo galia : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Ypatingai inverterinio tipo temperatūros valdymas , ši sistema padidina energijos naudingumo efektyvumą, tuo tarpu sumažina energijos suvartojimą. Teikia ±0,1℃ stabilumą tikslioms sritims, tokiose kaip:
Puslaidininkio rinkinio įrankiai ir CMP (cheminis mechaninis poliravimas)
Laboratoriniai instrumentai ir aukštos tikslumo bandymų įranga
Estetinės medicinos įrenginiai ir kietkūnio lazeriai
Formos temperatūros valdymo sistemos
- Apžvalga
- Rekomenduojami produktai
Techninis aprašymas:
Lingheng vieno kanalo aušintuvai teikia tikslų šilumos valdymą integruotu kompaktišku dizainu.
Sukurta priklausomai nuo stand-alone įrangos , mūsų vienetai turi ±0,1 °C PID valdymą ir
inverterio kompresoriaus technologija kritinėms sistemoms, tokioms kaip:
Puslaidininkių metrologijos įrenginiai
Lazerio apdorojimo sistemos
Medicininiai analizatoriai
Bandomųjų stendų konfigūracijos
Izoliuota skysčių sistema neleidžia atsirasti užteršimui, o konstrukcija be proceso aušinimo vandens (PCW) sumažina įdiegimo išlaidas 30%.
Pagrindiniai privalumai:
Kriogeninės technologijos pranašumas : Veikia esant -40℃ temperatūrai su <3 min. temperatūros pokyčių laiku
Nulinės nuostolių cirkuliacija : Lazeriu suvirintos vamzdynų sistemos su <0,1% metinėmis skysčių nuostolėmis
Inverterio efektyvumas : 35% energijos taupymo pranašumas lyginant su kintamo greičio modeliais (SEMI S23 sertifikuota)
Dinaminis nuolydžio našumas : Pasiekia ±5℃/min temperatūros kitimo rodiklį
Daugelio protokolų integracija : SECS/GEM ir OPC-UA paruošta ASML/TEL/LAM įrenginių integracijai 
Pagrindinės sudėtinės dalys ir veikimas
Komponentas |
Technologijos |
Sužluoklys |
Hermetiškas inverterinio kompresoriaus su skysčio smūgio apsauga (±0. 1℃ valdymas) |
Kondezatorius |
Nepriklausoma plieno, <5 % šilumos nuostolių |
Evakuatorius |
Plokštinis dizainas, 35% didesnis našumas, ≤55 dB triukšmas |
Šilpintuvas |
Panardinis tiesioginis šildymas, ±0,3 ℃ vienodumas |
Išplėtimo vamzdelis |
Elektroninis vožtuvas su ±1 ℃ perkaitimo valdymu |
Siurblys |
Magneto variklio siurblys (fluoruoto skysčio versija), <2 % srauto svyravimas |
Šaldymo principas
Adaptyvus PID šaldymo ciklas :
1️⃣ Suspaudimas → Šaldiklio slėgio didinimas
2️⃣ Kondensacija → Šilumos išsisklaidymas ir skysčio susidarymas
3️⃣ EEV dalinimas → Mažo slėgio generavimas
4️⃣ Garinimas → Tikslus šilumos sugėrimas iš įrangos
5️⃣ Invertorinio srauto valdymas → Palaiko ±0. 1℃ stabilumą
| VS100/407/020 Produkto parametrai | |||
| Produkto modelis | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Aušinimo būdas | Vandens aušinimas | ||
| Valdymo režimas | PID valdymas | ||
| Temperatūros valdymo diapazonas | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Tikslumas | ±0.1℃ | ||
| Šaldymo našumas |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40 ℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Galia | 3kw | ||
| Depozitas | 20 l | 25L | |
| Cirkuliuojančio skysčio srauto greitis | 20L/min (0,75 MPa) | 20L/min (0,7 MPa) | |
| PCW eismas | 15L/min@15~25℃ | 30 L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Temperatūros intervalas | 5~35℃ | ||
| Cirkuliuojančio skysčio rūšys | Etilenglikolio mišinys, grynas vanduo, fluoruota skystis | Skaidrus vanduo, Etilenglikolio mišinys, Grynas vanduo, Fluoruotosios medžiagos tirpalas | Etilenglikolio mišinys, fluoruota skystis |
| Šaldymo agentas | R410A | / | / |
| Cirkuliuojančio skysčio sąsaja | Rc3/4“ | ||
| PCW sąsaja | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Išoriniai matmenys (mm) | 380P*900G*1300A | 420P*900G*1250A | 500P*1150G*1500A |
| Įvesties energijos šaltinis | 3F,208-220V,50Hz | 3F,208-220V,50Hz | 3Fazės,380-400V,50Hz |
| Aparato galia | 8 kW | 9,7 kW | 14kw |
| netauto svoris | 200KG | 210 kg | 360kg |
| Dizaino standartai | Semi | ||
