EN
Šildymo liemenės sistema
Temperatūros stabilumas : ±0. 5℃
Šis produktas pagal faktines poreikius gali būti pagamintas iš šių medžiagų:
Silikono putų medžiaga
Visiškai PTFE medžiaga
PTFE danga
Išplėstinė PTFE medžiaga
- Apžvalga
- Rekomenduojami produktai
Techninis aprašymas:
Šildymo švarko sistema palaiko tikslų temperatūros lygį vakuumo/dujų tiekimo linijose
per pažengusius gamybos procesus. Individualiai sukurtos pramonės specifinėms
reikalavimams, ji neleidžia nepilnai reagentų kondensuotis ir nusodinti
ant vidinių vamzdžių sienelių – svarbu užkirsti kelią tekėjimo kliūčiai ir išmetimo sistemos efektyvumo
sumažėjimui puslaidininkių vakuumo/išmetimo sistemose. Sudaryta iš trijų pagrindinių dalių:
Šildymo liemenės (pagal konkrečią trasa)
PID valdikliai (±0,5 ℃ stabilumas)
HMI valdymo skydeliai
šis sprendimas leidžia realiu laiku stebėti dujotiekio būklę ir valdyti jo temperatūrą nepridėtinio plieno dujų linijose.
Kaitinimo apvalkalo panaudojimas :
1. Dujų padavimo linijos
Pavojingos technologinės dujos :
Boro trichloridas (BCl₃), Chloro trifluoridas (ClF₃), Tetraetilortosilikatas (TEOS)
Dichlorosilanis (DCS/SiH₂Cl₂), Volframo heksafluoridas (WF₆)
Proceso validacija dujų linijų šildymas rasos taško valdymui ir kondensacijos prevencijai
2. CVD procesai
Mažo slėgio cheminis garų nusodinimas (LPCVD)
Plazma pagreitintas CVD (PECVD)
Funkcija: Precursoriaus garų temperatūros stabilizavimas (±1℃)
3. Metalo ėsdinimas
Plazminiai etavimo sistemos :
Aliuminio ėsdinimas (Cl₂/BCl₃ chemija)
Volframo ėsdinimas (SF₆/WF₆ mišiniai)
Funkcija: Užtikrinti dujų reaktyvumo nuoseklumą
Šildymo švarko privalumai:
Privalumo kategorija |
Techninės charakteristika |
Tikslumo kontrolė |
±0,5℃ stabilumas naudojant PID valdiklius (ISO 15805 sertifikuotas) |
Saugumo užtikrinimas |
Dvigubi saugos blokatoriai: |
Eko izoliacija |
Be PFAS chemikalų izoliacijos sluoksnis: |
|
Tiesioginio srovės stebėjimo funkcija: |
PID temperatūros valdikliai
Šildymo apvalkalo sistema naudoja PID temperatūros valdiklius tiksliai temperatūros reguliacijai, kai kiekvienas valdiklis veikia atskiroje RS485 magistralės atkarpoje, turinčioje unikų tinklo adresavimą. Šie PID vienetai veikia tiek kaip autonominiai valdymo moduliai, tiek kaip integruoti mazgai, prijungti prie pasiskirsčiusios tinklo architektūros. Naudodami Modbus RTU protokolą per RS485 sąsajas, visi valdikliai bendrauja dviem kryptimis su centrinės HMI valdymo spinta, kad būtų galima sinchronizuoti kelių zonų temperatūros valdymą ir realaus laiko duomenų agregavimą, nereikalaujant centrinio PLC.
Hmi valdymo skydelis
Įrengus apvalkalus ir PID temperatūros valdiklius vakuumo ar dujų linijose, įdiegimas yra gana decentralizuotas, todėl neįmanoma veiksmingai stebėti visų apvalkalų realiu laiku temperatūrą ir darbo būseną vienu metu. Norint užtikrinti visų apvalkalų būklės realaus laiko stebėseną, mes įgyvendinome HMI valdymo skydelį, kuris visus apvalkalus integruoja į vieningą platformą, pasiekiant centrinį valdymą ir ryšių valdymą.
Centrinė stebėjimo sistema
Visos sąsajos – įskaitant stebėjimo ekranus, realaus laiko įspėjimų rodymą, istorinius įspėjimų žurnalus, įvykių istorijos įrašus, tendencijų analizės grafikus ir ataskaitų formas – gali būti sukonfigūruotos pagrindinėje sistemoje (naudojant SCADA platformas, tokias kaip InTouch arba iFix), kad būtų galima visapusiškai stebėti apvalkalų šildymo sistemą.
Sistemos privalumai:
• Padidinta valdymo efektyvumas - Gerina bendrą operacines savybes
• Supaprastintas techninis aptarnavimas - Sumažina operacines ir techninio aptarnavimo sudėtingumą
• Išlaidų optimizavimas - Sumažina diegimo, eksploatacijos ir plėtimo išlaidas
• Stebėjimas per įrenginius - Leidžia abipusiai stebėti kelis kompiuterius
• Išteklių dalinimasis - Palengvina centralizuotą diskų išteklių panaudojimą
• Atsarginė kopija - Teikia abipusio atsarginės kopijos funkciją
• Daugiakanalės įspėjimų pranešimų siuntimo funkcijos - Palaiko SMS/skambučių įspėjimus ir el. pašto pranešimus
• Išsamesnė duomenų analizė - Leidžia atlikti istorinių duomenų užklausas ir grafinės tendencijos vaizdavimą
• Automatinis ataskaitų rengimas - Automatiškai generuoja sistemos ataskaitas
• Tinklo valdymas - Leidžia centrinį stebėjimo sistemos administravimą
| Vidinė medžiaga | PTFE Teflon medžiaga |
| Šildymo elementas | PTFE nikelio-chrominė elektrinė šildymo detalė |
| Išoljacija | Didelės talpos stiklo pluošto vatos sluoksnis |
| Išorės medžiagos tipas | PTFE Teflon medžiaga |
| Fiksuotas užsegimas | Ugniai atsparus ir temperatūrai atsparus Velcro |
