EN
CO2 šaldytuvėliai
Temperatūros stabilumas : ±0,1℃
Temperatūros intervalas : -20˚C–+80˚C
Šaldymo galia : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Tiekiant tikslų šilumos kontrolę per kompaktiškus kompresorinius aušintuvus :
Puslaidininkių plokštelių gamyba ir testavimas
Naujos energijos baterijų / variklių patvirtinimas
Tikslinės įrangos aušinimas
Specifinės oro aušinimo taikymo sritys
- Apžvalga
- Rekomenduojami produktai
Techninis aprašymas:
Lingheng CO₂ ultrašvarus aušintuvas
Naudojant natūralus šaldiklis (GWP=1, ODP=0) pristatyti ±0,1 ℃ tikslumo terminis valdymas pažengusiems puslaidininkio procesams. Leidžia -40 ℃ iki +100 ℃ plačios diapazono veikla per kritinio ciklo technologiją, suderinamą su kritinėmis aplikacijomis:
Fotolitografija
Graviravimas
Atomų sluoksnio nusodinimas (ALD)
Visiškai hermetiškas srauto kelias atitinka 100 klasės valymo kambario standartus, tuo tarpu Be F dujų dizaino sumažina anglies mokesčių riziką – pasiekiant tiek proceso puikybę, tiek ESG atitikimą.
Pagrindiniai privalumai:
Ekologinė tvarumas:
GWP=1 - Visiškai atitinka globalius klimato tikslus, mažindamas anglies mokesčių riziką
Natūralusis šaldymo dujos - Pašalina fluorojimo dujų surinkimo/naikinimo reikalavimus
Nulinis ODP - Atitinka tarptautines reguliacijas (pvz., Kigali pakeitimą)
±0,1 ℃ tikslumo valdymas - Leidžia pažengusias technologijas (TSMC 5 nm fluorojimo šaldymo dujų atsisakymo atitikimas)
Veikla be užteršimo - CO₂ likutis <1 ppb, sertifikuota naudoti 1000 klasės valymo patalpose
30 % didesnis COP - Transkritinio ciklo inverterinė technologija (patvirtinta pagal LIAT 1.0 bazinę liniją)
Sauga:
Netoksiškas ir negalenantis - Pašalina galimybę, kad į aplinką pateks fluoruoti aušinimo skysčiai
Gamyklos rizikos sumažinimas - 68 % mažesnis aplinkos taršos indeksas (pagal SEMI S10 standartą)
Pagrindiniai komponentai ir veikla:
Komponentas |
Technologijos |
Sužluoklys |
Hermetiškas inversinio kompresoriaus su skysčio smūgio apsauga (±0,5 ℃ valdymas) |
Kondezatorius |
Nepriklausoma plieno, <5 % šilumos nuostolių |
Evakuatorius |
Titano plokštinis, 35 % didesnis našumas, ≤55 dB triukšmo |
Šilpintuvas |
Panardinis tiesioginis šildymas, ±0,3 ℃ vienodumas |
Išplėtimo vamzdelis |
Elektroninis vožtuvas su ±1 ℃ perkaitimo valdymu |
Siurblys |
Magneto variklio siurblys (fluoruoto skysčio versija), <2 % srauto svyravimas |
Šaldymo principas:
1. Suspaudimas → Šaldiklio slėgio didinimas
2. Kondensacija → Šilumos išsisklaidymas ir skysčiavimas
3. EEV dalinimas → Slėgio purškimo generavimas
4. Garavimas → Tikslus šilumos sugėrimas iš įrangos
5. Invertoriaus srauto valdymas → Palaiko ±0. 1℃ stabilumą
| GVS010 produkto parametrai | |
| Produkto modelis | GVS010-W-32F |
| Aušinimo būdas | Vėdinamas aušinimo tipas |
| Valdymo režimas | PID valdymas |
| Temperatūros valdymo diapazonas | -20℃~+80℃ |
| Tikslumas | ±0.1℃ |
| Šaldymo našumas |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Galia | 3kw |
| Depozitas | 20 l |
| Cirkuliuojančio skysčio srauto greitis | 20L/min (0,75 MPa) |
| PCW eismas | 15L/min@15~25℃ |
| Temperatūros intervalas | 5~35℃ |
| Cirkuliuojančio skysčio rūšys | Etilenglikolio mišinys, Grynas vanduo, Fluoruotasis tirpalas |
| Šaldymo agentas | R744 (CO2) |
| Cirkuliuojančio skysčio sąsaja | Rc3/4” |
| PCW sąsaja | Rc1/2” |
| Išoriniai matmenys (mm) | 380W*900D*1250H |
| Įvesties energijos šaltinis | 3F,208-220V,50Hz |
| Aparato galia | 8 kW |
| netauto svoris | 200KG |
| Dizaino standartai | Semi |
