डुअल चैनल चिलर

तकनीकी विवरण:

लिंगहेंग डुअल-सर्किट चिलर एक ही यूनिट में दो स्वतंत्र तापमान नियंत्रण प्रदान करता है।
प्रदर्शन ±0.1℃ स्थिरता प्रति सर्किट , ये सिस्टम निम्नलिखित के लिए अभिकल्पित किए गए हैं:

PVD/CVD कक्षों का समकालिक शीतलन

खोदाई उपकरणों में बहु-क्षेत्र तापीय प्रबंधन
40% छोटे स्थान की आवश्यकता और उद्योग-सिद्ध संगतता (AMAT/LAM/TEL) के साथ, ये स्थान-कुशल सटीक शीतलन की अवधारणा को पुनर्परिभाषित करते हैं।

प्रमुख लाभ:

एक में दो कुशलता
» स्वतंत्र सर्किट वाले डुअल चिलर का स्थान लेता है
→ 40% साफ स्थान 40% बचाया गया + 30% पूंजीगत व्यय में कमी

प्रेसिज़न डुअल कंट्रोल
» ±0.1℃ स्थिरता प्रति सर्किट (ΔT<0. 2℃)
→ CVD/PVD में <3% फिल्म मोटाई भिन्नता सुनिश्चित करता है

फैब-तैयार एकीकरण
» प्री-लोडेड AMAT/LAM/TEL प्रोटोकॉल
→ 90% 300mm उपकरण संगतता, 65% कम बंद समय

एनर्जी ट्विनड्राइव™
» पारंपरिक जोड़ों की तुलना में 35% कम ऊर्जा
→ SEMI S23 प्रमाणित, >$18k वार्षिक बचत

शून्य क्रॉस-संदूषण
» अनुकूलन योग्य प्रवाह पथ  + लेजर-वेल्डेड जोड़
→ UPW/फ्लोरिनर्ट/ईजीडब्ल्यू के साथ संगत

कोर घटक और संचालन:

घटक	प्रौद्योगिकी
कंप्रेसर	हरमेटिक इन्वर्टर कंप्रेसर लिक्विड स्लगिंग सुरक्षा के साथ (±0. 1℃ नियंत्रण)
संघनीकरणी	स्टेनलेस स्टील, <5% ऊष्मीय नुकसान
वाष्पक	प्लेट प्रकार की डिज़ाइन, 35% अधिक दक्षता, ≤55डीबी शोर
हीटर	डूबा हुआ सीधा ताप, ±0.3℃ एकसमानता
विस्तार वाल्व	इलेक्ट्रॉनिक वाल्व ±1℃ सुपरहीट नियंत्रण के साथ
पंप	मैग-ड्राइव पंप (फ्लोरिनेटेड तरल संस्करण), <2% प्रवाह उतार-चढ़ाव

प्रशीतन सिद्धांत:

अनुकूलनीय पीआईडी प्रशीतन चक्र :
1️⃣ संपीड़न → रेफ्रिजरेंट दबाव वृद्धि
2️⃣ संघनन → ऊष्मा निष्कासन और द्रवीकरण
3️⃣ ईईवी थ्रॉटलिंग → निम्न-दबाव उत्पादन
4️⃣ वाष्पीकरण → उपकरण से सटीक ऊष्मा अवशोषण
5️⃣ इन्वर्टर फ्लो नियंत्रण → ±0 को बनाए रखता है 1℃ स्थिरता