हीटिंग जैकेट सिस्टम

तकनीकी विवरण:

हीटिंग जैकेट अनुप्रयोग :

1. गैस डिलीवरी लाइनें

खतरनाक प्रक्रिया गैसें :
बोरॉन ट्राइक्लोराइड (BCl₃), क्लोरीन ट्राइफ्लोराइड (ClF₃), टेट्राएथिल ऑर्थोसिलिकेट (TEOS)
डाइक्लोरोसिलेन (DCS/SiH₂Cl₂), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF₆)
प्रक्रिया सत्यापन : ओस बिंदु नियंत्रण और संघनन रोकथाम के लिए गैस लाइन हीटिंग

2. CVD प्रक्रियाएँ

लो-प्रेशर केमिकल वेपर डिपॉजिशन (LPCVD)
प्लाज्मा-एनहांस्ड CVD (PECVD)
कार्य: प्रीकर्सर वाष्प तापमान स्थिरीकरण (±1℃)

3. धातु नक़्काशी

प्लाज़्मा एटʃिंग सिस्टम :
एल्यूमिनियम नक़्काशी (Cl₂/BCl₃ रसायन)
टंगस्टन नक़्काशी (SF₆/WF₆ मिश्रण)
कार्य: गैस प्रतिक्रियाशीलता स्थिरता बनाए रखना

हीटिंग जैकेट लाभ:

लाभ श्रेणी	तकनीकी विशेषताएं
सटीक नियंत्रण	pID नियंत्रकों के माध्यम से ±0.5℃ स्थिरता (ISO 15805 प्रमाणित)
सुरक्षा आश्वासन	डुअल सुरक्षा इंटरलॉक: • KSD30 थर्मोस्टैट • थर्मल फ्यूज (IEC 60691 के अनुरूप)
एको-इंसुलेशन	PFAS-मुक्त इंसुलेशन परत: • थर्मल नुकसान <5% (ISO 8301) • स्टेनलेस स्टील स्लीक एन्क्लोज़र
स्मार्ट मॉनिटरिंग	वास्तविक समय में करंट मॉनिटरिंग: • क्षेत्र अनुसार करंट मान → HMI/SCADA • MODBUS-TCP डेटा लॉगिंग

पीआईडी तापमान नियंत्रक

हीटिंग जैकेट प्रणाली में सटीक तापमान नियंत्रण के लिए PID तापमान नियंत्रकों का उपयोग किया जाता है, प्रत्येक नियंत्रक विशिष्ट नेटवर्क पते वाले समर्पित RS485 बस खंड पर संचालित होता है। ये PID इकाइयाँ एक स्वतंत्र नियंत्रण मॉड्यूल के रूप में तथा वितरित नेटवर्क आर्किटेक्चर के एकीकृत नोड्स के रूप में दोनों तरह से कार्य करती हैं। RS485 इंटरफेस के माध्यम से Modbus RTU प्रोटोकॉल का उपयोग करके, सभी नियंत्रक केंद्रीय HMI नियंत्रण कैबिनेट के साथ द्विदिश तकनीक से संचार करते हैं, जिससे केंद्रीय PLC की आवश्यकता के बिना सिंक्रनाइज्ड मल्टी-ज़ोन तापमान प्रबंधन और वास्तविक समय में डेटा संकलन संभव होता है।

एचएमआई कंट्रोल पैनल

वैक्यूम या गैस पाइपलाइनों पर ब्लैंकेटेड हीटिंग जैकेट और PID तापमान नियंत्रकों की स्थापना काफी हद तक विकेंद्रित है, जिससे सभी हीटिंग जैकेट के वास्तविक समय के तापमान और संचालन स्थिति की प्रभावी रूप से निगरानी करना असंभव हो जाता है। सभी हीटिंग जैकेट की स्थिति की वास्तविक समय निगरानी सक्षम करने के लिए, हमने सभी हीटिंग जैकेट को एक समेकित मंच पर समाहित करके केंद्रित नियंत्रण और संचार प्रबंधन प्राप्त किया है, जिसके लिए एक HMI नियंत्रण पैनल लागू किया गया है।

केंद्रित निगरानी प्रणाली

सभी इंटरफ़ेस - जिसमें मॉनिटरिंग स्क्रीन, वास्तविक समय की चेतावनी प्रदर्शन, ऐतिहासिक चेतावनी लॉग, घटना इतिहास रिकॉर्ड, रुझान विश्लेषण चार्ट और रिपोर्ट फॉर्म शामिल हैं - को हीटिंग जैकेट प्रणाली की व्यापक निगरानी के लिए मुख्य प्रणाली पर कॉन्फ़िगर किया जा सकता है (InTouch या iFix जैसे SCADA प्लेटफॉर्म का उपयोग करके)।