सीओ2 चिलर

तकनीकी विवरण:

लिंघेंग CO₂ अल्ट्रा-क्लीन चिलर
उपयोग करना प्राकृतिक रेफ्रिजरेंट (GWP=1, ODP=0) पहुँचाने के लिए ±0.1℃ परिशुद्धता तापमान नियंत्रण उन्नत अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए सक्षम -40℃ से +100℃ तक विस्तृत सीमा का संचालन ट्रांसक्रिटिकल चक्र तकनीक के माध्यम से, मिशन-महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों के साथ संगत:

फोटोलिथोग्राफी

इट्चिंग

एटॉमिक लेयर डिपॉजिशन (ALD)
पूर्ण-सील प्रवाह मार्ग कक्षा 100 साफ-सफाई कक्ष मानकों को पूरा करता है, जबकि एफ-गैस मुक्त डिज़ाइन कार्बन कर जोखिम को कम करता है - प्रक्रिया उत्कृष्टता और ईएसजी अनुपालन दोनों हासिल करना।

प्रमुख लाभ:

पर्यावरण स्थिरता:

GWP=1 - वैश्विक जलवायु लक्ष्यों के साथ पूरी तरह से संरेखित, कार्बन कर जोखिम को कम करना

प्राकृतिक शीतलक - फ्लोरिनेटेड गैस पुनर्प्राप्ति/निपटान आवश्यकताओं को समाप्त करता है

शून्य ओज़ोन क्षरण क्षमता - अंतरराष्ट्रीय नियमों के अनुपालन में (उदाहरण के लिए, किगाली संशोधन)

तकनीकी श्रेष्ठता:

±0.1℃ परिशुद्धता नियंत्रण - उन्नत नोड्स सक्षम करता है (TSMC 5nm फ्लोराइनेटेड रेफ्रिजेरेंट चरण-आउट अनुरूप)

दूषण मुक्त संचालन - CO₂ अवशेष <1ppb, क्लास 1000 क्लीनरूम के लिए प्रमाणित

cOP में 30% अधिक - ट्रांसक्रिटिकल चक्र इन्वर्टर तकनीक (LIAT 1.0 आधाररेखा के सापेक्ष सत्यापित)

सुरक्षा प्रदर्शन:

- गैर-विषैला और अज्वलनशील - फ्लोराइनेटेड रेफ्रिजेरेंट रिसाव जोखिम को समाप्त करता है

फैब जोखिम कम करना - 68% कम पर्यावरणीय खतरा सूचकांक (SEMI S10 के अनुसार)

कोर घटक और संचालन:

प्रशीतन सिद्धांत:

1. संपीड़न → रेफ्रिजरेंट दबाव वृद्धि
2. संघनन → ऊष्मा विसरण और द्रवीकरण
3. EEV थ्रॉटलिंग → निम्न-दबाव वाला छिड़काव
4. वाष्पन → उपकरण से सटीक ऊष्मा अवशोषण
5. इन्वर्टर प्रवाह नियंत्रण → ±0 बनाए रखता है। 1℃ स्थिरता