UPW हीटर
तापमान स्थिरता : ±0.1℃
तापमान सीमा : -20˚C~+80˚C
ऊष्मा शक्ति :48KW-192KW
अल्ट्राप्योर पानी (UPW) हीटिंग मॉड्यूल , महत्वपूर्ण अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में सटीक तापीय नियंत्रण के लिए अभिकल्पित, यह उन्नत हीटिंग प्रणाली गैर-संपर्क हीटिंग के लिए उच्च-शुद्धता फ्यूज़ेड क्वार्ट्ज़ से घिरे हैलोजन लैंप का उपयोग करती है, जिससे धातु संदूषण शून्य रहे।
- सारांश
- अनुशंसित उत्पाद
आवेदन का क्षेत्र
सैमिकोडक्टर निर्माण : सिलिकॉन वेफर या यौगिक सामग्री की सफाई
लिथियम बैटरी और सौर PV उद्योग : उत्पादन लाइन सफाई प्रणाली
डिस्प्ले पैनल उद्योग : एलसीडी ग्लास सब्सट्रेट्स की सफाई
पर्यावरण-अनुकूल विकल्प : फ्रीऑन-आधारित सफाई को अल्ट्राप्योर पानी समाधान के साथ बदलता है
मुख्य विशेषताएँ
प्रीमियम सामग्री निर्माण
उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज हीटिंग तत्व
फ्लोरोरेज़िन पाइपिंग प्रणाली
गैर-संपर्क हैलोजन लैंप तापन तकनीक
अंतरिक्ष अनुकूलित डिजाइन
अल्ट्रा-स्लिम प्रोफ़ाइल न्यूनतम जगह लेती है
बुद्धिमान तापमान नियंत्रण
उच्च-शक्ति वाले हैलोजन लैंप त्वरित तापन सुनिश्चित करते हैं
वास्तविक समय में प्रवाह में आने वाले परिवर्तनों के आधार पर स्वचालित तापमान समायोजन
प्रदर्शन एवं सुरक्षा
≥95.8% तापन दक्षता
चेतावनी के साथ व्यापक सुरक्षा उपाय:
प्रवाह में अनियमितता
तापमान में वृद्धि
शुष्क दहन सुरक्षा
लीक का पता लगाना
सेंसर विफलता
हीटर सर्किट खराबी
| मॉडल | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| हीटिंग विधि | इन्फ्रारेड विकिरण तापन विधि अपनाना | |||||
| प्रदर्शन | शक्ति | 48kw | 72ख्व | 96kw | 144KW | 192किलोवाट |
| मानक प्रवाह दर(△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| न्यूनतम हीटिंग प्रवाह दर | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| तापमान सीमा सेट करें | 20-100℃ | |||||
| तापमान नियंत्रण की सटीकता | ±1℃ (शर्तों के आधार पर) | |||||
| प्रवाह प्रदर्शन सीमा | 0-60LPM | |||||
| रचना | हीटर | हैलोजन लैंप ट्यूब, तरल के संपर्क के बिना अप्रत्यक्ष गर्म करने की विधि | ||||
| हीटर सामग्री | उच्च शुद्धता स्पष्ट क्वार्ट्ज | |||||
| तरल भागों और पाइपलाइन सामग्री के संपर्क में | उच्च शुद्धता स्पष्ट क्वार्ट्ज और उच्च शुद्धता PFA ट्यूब | |||||
| सुरक्षा प्रतिक्रिया कार्य | असामान्य प्रवाह, उच्च तापमान, शुष्क जलना, रिसाव, सेंसर डिस्कनेक्शन, हैलोजन फिलामेंट पिघलना, आदि | |||||
| बाहरी संचार समारोह | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| बाहरी इनपुट/आउटपुट समारोह | 8 इनपुट, 14 आउटपुट सिग्नल | |||||
| अन्य | बाहरी आयाम (mm) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| पावर सप्लाई | AC 380V 50/60Hz तीन-चरण पांच तार | |||||