EN
Chłodnica dwukanałowa
Stabilność temperatury : ±0,1℃
Zakres temperatur :-20˚C～+80˚C
Pojemność chłodzenia :-20℃@2 KW/20℃@10 KW
Dwukierunkowy system precyzyjnego chłodzenia dostarczający wydajności dwóch niezależnych chillerów w jednej jednostce. Osiąga ±0,1℃ stabilności na obwód do zastosowań w krytycznych procesach półprzewodnikowych:
Kontrola temperatury narzędzi PVD/CVD
Zarządzanie temperaturą w procesie trawienia
Udowodniona kompatybilność przemysłowa z urządzeniami AMAT, LAM, AMEC, TEL i innymi głównymi urządzeniami Fab.
- Przegląd
- Polecane produkty
Opis techniczny:
Chłodnice dwuobwodowe Lingheng dostarczają podwójnej niezależnej kontroli temperatury w jednej jednostce.
Prezentujący ±0,1℃ stabilności na obwód , systemy te zostały zaprojektowane do:
Synchronicznego chłodzenia komór PVD/CVD
Zarządzania temperaturą w wielu strefach w narzędziach trawionych
Dzięki 40% mniejszej powierzchni i udowodnionej kompatybilności (AMAT/LAM/TEL), definiują precyzyjne chłodzenie o ograniczonej przestrzeni.
Główne zalety:
Efektywność Two-in-One
» Zastępuje podwójne chłodzenie obwodami niezależnymi
→ 40% oszczędności miejsca w czystowni + 30% redukcja nakładów inwestycyjnych (CAPEX)
Precyzyjne Podwójne Sterowanie
» Stabilność ±0,1℃ na obwód (ΔT<0. 2℃)
→ Gwarantuje <3% zmienność grubości warstwy w CVD/PVD
Integracja Gotowa do Fabryki
» Wstępnie załadowane protokoły AMAT/LAM/TEL
→ 90% kompatybilność z narzędziami 300mm, 65% krótszy czas przestoju
Energooszczędny TwinDrive™
» O 35% niższe zużycie energii w porównaniu do konwencjonalnych zestawów
→ Certyfikat SEMI S23, oszczędności roczne >18 000 USD
Brak zanieczyszczenia krzyżowego
» Dostosowywalne ścieżki przepływu + Zgrzewane laserem złącza
→ Kompatybilny z UPW/fluorinert/EGW 
Podstawowe komponenty i działanie:
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Heriatyczny kompresor inwerterowy z ochroną przed uderzeniem cieczą (±0. 1℃ sterowanie) |
Kondensator |
Stal nierdzewna, straty ciepła <5% |
Wyparnik |
Konstrukcja płytowa, 35% wyższa skuteczność, poziom hałasu ≤55dB |
Grzałka |
Bezpośrednie ogrzewanie zanurzeniowe, jednorodność ±0,3℃ |
Zawór rozszerzający |
Zawór elektroniczny z kontrolą przegrzania ±1℃ |
Pompa |
Pompa z napędem magnetycznym (wersja do cieczy fluorowanych), wahań przepływu <2% |
Zasada chłodzenia:
Adaptacyjny cykl chłodniczy PID :
1️⃣ Sprężanie → Podwyższanie ciśnienia czynnika chłodniczego
2️⃣ Kondensacja → Rozpraszanie ciepła i skraplanie
3️⃣ Dławienie EEV → Generowanie niskiego ciśnienia
4️⃣ Parowanie → Precyzyjne wchłanianie ciepła z urządzeń
5️⃣ Regulacja przepływu falownika → Utrzymanie stabilności ±0. 1℃
| Parametry produktu VD100 | |
| Model produktu | VD100-W-32 |
| Metoda chłodzenia | Chłodzenie wodne |
| Tryb sterowania | Sterowanie PID |
| Zakres regulacji temperatury | -20℃~+80℃ |
| Precyzja | ±0.1℃ |
| Wydajność chłodzenia |
CH1/ CH2: -20℃@2 KW - 10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Moc |
CH1:3KW CH2:3KW |
| Zbiornik |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Wydatek przepływu cieczy |
CH1:20 L/min（0.75 MPa） CH2:20 L/min (0,75 MPa) |
| Ruch uliczny PCW | CH1: 15 L/min@15~25 ℃ CH2: 15 L/min@15~25 ℃ |
| Zakres temperatur | 5~35℃ |
| Rodzaje cieczy obiegowej | Mieszanka glikolu etylenowego, woda destylowana, ciecz fluorowana |
| Chłodziwo | R410a |
| Interfejs cieczy obiegowej | Rc3/4“ x 2 |
| Interfejs PCW | Rc1/2” x 2 |
| Wymiary zewnętrzne (mm) | 600W*920D*1300H |
| Zasilacz wejściowy | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Moc maszyny | 16kw |
| waga netto | 350 kg |
| Normy projektowe | Semi |
