EN
Chłodnice jednokanałowe
Stabilność temperatury : ±0,1℃
Zakres temperatur : -40 ˚C～+80 ˚C
Pojemność chłodzenia : -40 ℃@6 kW/20 ℃@25 kW
Prezentujący inwerterowy system kontroli temperatury , ten system zwiększa efektywność energetyczną i zmniejsza zużycie energii. Zapewnia ±0,1℃ stabilności do zastosowań wymagających precyzji, w tym:
Narzędzia do trawienia półprzewodników i CMP (Chemiczne Szlifowanie Mechaniczne)
Instrumenty laboratoryjne i sprzęt pomiarowy o wysokiej precyzji
Urządzenia medyczne estetyczne i lasery na ciele stałym
Systemy kontroli temperatury form
- Przegląd
- Polecane produkty
Opis techniczny:
Chłodnice Lingheng z jednym kanałem zapewniają precyzyjne zarządzanie temperaturą w kompaktowej, zintegrowanej konstrukcji.
Zaprojektowany dla precyzyjne chłodzenie niezależnych urządzeń , nasze jednostki posiadają kontrolę PID ±0,1℃ oraz
technologię sprężarki inwerterowej do zastosowań krytycznych, w tym:
Narzędzia do metrologii półprzewodników
Systemy do obróbki laserowej
Analizatory medyczne
Konfiguracje stołów testowych
Oddzielny obwód cieczy zapobiega zanieczyszczeniu krzyżnemu, a konstrukcja bez obiegu PCW obniża koszty instalacji o 30%.
Główne zalety:
Kriogeniczna wyższość : Działa w temperaturze -40℃ z czasem przejścia temperatury <3 minuty
Obieg bez strat : Rury spawane laserowo z roczną stratą cieczy <0,1%
Sprawność falownika : Oszczędność energii o 35% w porównaniu z modelami o stałej prędkości (certyfikat SEMI S23)
Dynamiczne działanie rampy : Osiąga szybkość zmiany temperatury ±5℃/min
Integracja Wieloprotokołowa : Gotowość SECS/GEM i OPC-UA do integracji z narzędziami ASML/TEL/LAM 
Podstawowe Komponenty i Działanie
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Heriatyczny kompresor inwerterowy z ochroną przed uderzeniem cieczą (±0. 1℃ sterowanie) |
Kondensator |
Stal nierdzewna, straty ciepła <5% |
Wyparnik |
Konstrukcja płytowa, 35% wyższa skuteczność, poziom hałasu ≤55dB |
Grzałka |
Bezpośrednie ogrzewanie zanurzeniowe, jednorodność ±0,3℃ |
Zawór rozszerzający |
Zawór elektroniczny z kontrolą przegrzania ±1℃ |
Pompa |
Pompa z napędem magnetycznym (wersja do cieczy fluorowanych), wahań przepływu <2% |
Zasada chłodzenia
Adaptacyjny cykl chłodniczy PID :
1️⃣ Sprężanie → Podwyższanie ciśnienia czynnika chłodniczego
2️⃣ Kondensacja → Rozpraszanie ciepła i skraplanie
3️⃣ Dławienie EEV → Generowanie niskiego ciśnienia
4️⃣ Parowanie → Precyzyjne wchłanianie ciepła z urządzeń
5️⃣ Regulacja przepływu falownika → Utrzymanie stabilności ±0. 1℃
| Parametry produktu VS100/407/020 | |||
| Model produktu | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Metoda chłodzenia | Chłodzenie wodne | ||
| Tryb sterowania | Sterowanie PID | ||
| Zakres regulacji temperatury | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Precyzja | ±0.1℃ | ||
| Wydajność chłodzenia |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-20℃@5 kW -10℃@10 kW 0℃@15 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
-40℃@6 KW -20℃@12 kW 0℃@25 kW 20℃@25 kW 40℃ @25 kW |
| Moc | 3KW | ||
| Zbiornik | 20L | 25L | |
| Wydatek przepływu cieczy | 20 l/min (0,75 MPa) | 20L/min (0,7 MPa) | |
| Ruch uliczny PCW | 15 L/min @ 15~25 °C | 30L/min @15~25℃ | 50 L/min @15~25℃ |
| Zakres temperatur | 5~35℃ | ||
| Rodzaje cieczy obiegowej | Mieszanka glikolu etylenowego, woda destylowana, ciecz fluorowana | Czysta woda, Mieszanka glikolu etylenowego, Woda destylowana, Roztwór fluorowany | Mieszanka glikolu etylenowego, ciecz fluorowana |
| Chłodziwo | R410a | / | / |
| Interfejs cieczy obiegowej | Rc3/4“ | ||
| Interfejs PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Wymiary zewnętrzne (mm) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250W | 500S*1150G*1500W |
| Zasilacz wejściowy | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Moc maszyny | 8kw | 9,7 kW | 14 kW |
| waga netto | 200KG | 210 kg | 360kg |
| Normy projektowe | Semi | ||
