Chłodnica trójkanałowa

Stabilność temperatury : ±0,1℃

Zakres temperatur : -40˚C～+80˚C

Pojemność chłodzenia : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Chłodnica przemysłowa z kompresorem wyposażona w kompresory markowe zapewniające niezrównaną stabilność. Dostarcza stabilność temperatury na wyjściu ±0,1 ℃ do zastosowań krytycznych, w tym:

Chłodzenie urządzeń do fotolitografii/trawienia

Zarządzanie temperaturą w narzędziach PVD/CVD

Regulacja temperatury reaktorów chemicznych i farmaceutycznych

Zgodne z GMP chłodzenie procesowe w przemyśle farmaceutycznym

Przegląd
Polecane produkty

Opis techniczny:

Chłodnice trójobwodowe Lingheng dostarczają precyzyjnego chłodzenia wielu obciążeń (±0,1℃) w jednej jednostce. Charakteryzują się konfigurowalnymi wyjściami dla stabilnego środowiska, oferując:
✅ INTELIGENTNE STEROWANIE : Programowana praca, automatyczna kompensacja, samodiagnostyka
✅ Potrójna ochrona : Alarms przegrzania/przeciążenia/braku wody
✅ Łączność przemysłowa : Wejścia/wyjścia, RS232/RS485, Ethernet/IP
Zaprojektowane do narzędzi modułowych półprzewodnikowych i linii produkcji PV z oszczędnościem energii do 30%.

原理图5-英.png

Główne zalety:

Integracja TripleSync™
» 3 niezależne obwody w jednej obudowie
→ 55% redukcja zapotrzebowania na miejsce w czystowni

Dokładność na poziomie klastra
» Stabilność ±0,1℃ z gradientem międzyobwodowym <±0,03℃
→ Umożliwia synchronizację procesów wielokomorowych

Dynamiczne bilansujące obciążenie
» Inteligentne rozdzielanie chłodzenia (łączna pojemność 30 kW)
→ 28% oszczędności energii przy zmiennym obciążeniu

Zgodność z wieloma narzędziami
» Łatwe podłączenie z narzędziami klastra ASML/AMAT/TEL
→ Obsługuje linie fabryczne 300mm i PV TOPCon

Ultraczysty Ekosystem Tytanowy
» Dostosowywalne ścieżki przepływu z uszczelnieniem modułowym
→ <0,1 ppb resztek cieczy (zgodny z klasą 10)

结构图.png

Podstawowe komponenty i działanie:

Komponent	TECHNOLOGIA
Kompresor	Heriatyczny kompresor inwerterowy z ochroną przed uderzeniem cieczą (±0. 1℃ sterowanie)
Kondensator	Stal nierdzewna, straty ciepła <5%
Wyparnik	Konstrukcja płytowa, 35% wyższa skuteczność, poziom hałasu ≤55dB
Grzałka	Bezpośrednie ogrzewanie zanurzeniowe, jednorodność ±0,3℃
Zawór rozszerzający	Zawór elektroniczny z kontrolą przegrzania ±1℃
Pompa	Pompa z napędem magnetycznym (wersja do cieczy fluorowanych), wahań przepływu <2%

Zasada chłodzenia:

Adaptacyjny cykl chłodniczy PID :
1️⃣ Sprężanie → Podwyższanie ciśnienia czynnika chłodniczego
2️⃣ Kondensacja → Rozpraszanie ciepła i skraplanie
3️⃣ Dławienie EEV → Generowanie niskiego ciśnienia
4️⃣ Parowanie → Precyzyjne wchłanianie ciepła z urządzeń
5️⃣ Regulacja przepływu falownika → Utrzymanie stabilności ±0. 1℃

Parametry produktu VT410
Nazwa Produktu	Chłodziarka
Model produktu	VT410-W-33
Metoda chłodzenia	Chłodzenie wodne
Tryb sterowania	Sterowanie PID
Zakres regulacji temperatury	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Precyzja	±0.1℃
Pojemność chłodzenia	CH1:6 kW@-40°C

	CH2:30 kW@+30°C

	CH3:28 kW@+20℃
Moc	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Zbiornik	Zbiornik rozszerzeniowy CH1 / CH2 30 L + zbiornik wody gorącej 25 L
Przepływ cieczy obiegowej	CH1:17 l/min @ 0,9 MPa

	CH2:17 l/min @ 0,9 MPa

	CH3:25 l/min @ 0,76 MPa
Ruch uliczny PCW	CH1: 50 l/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH2: 20 l/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH3: 50 l/min@15~25℃@0,3 MPa
Zakres temperatur	5~35 ℃
Typ cieczy obiegowej	FC3283
Interfejs cieczy obiegowej	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Interfejs PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"
Wymiary zewnętrzne (mm)	600W1370D2000H
Zasilacz wejściowy	3Ph,380-400V,50Hz
Moc całego urządzenia	41,1 kW
Waga netto	600 kg
Normy projektowe	Semi