EN
Chłodnice CO2
Stabilność temperatury : ±0,1℃
Zakres temperatur :-20˚C～+80˚C
Pojemność chłodzenia :-20℃@2 KW/20℃@10 KW
Dostarczanie precyzyjnej kontroli temperatury poprzez kompaktowe chłodnice sprężarkowe do :
Wytwarzania i testowania waferów półprzewodnikowych
Walidacji akumulatorów i napędów w pojazdach z nowych źródeł energii
Chłodzenia precyzyjnych urządzeń
Specyficzne dla testów zastosowania chłodzenia powietrzem
- Przegląd
- Polecane produkty
Opis techniczny:
Chłodnica Lingheng CO₂ Ultra-Clean
Wykorzystywanie naturalny czynnik chłodniczy (GWP=1, ODP=0) aby dostarczać ±0,1℃ precyzyjna kontrola temperatury do zaawansowanych procesów półprzewodnikowych. Zapewnia -40℃ do +100℃ szeroki zakres pracy za pośrednictwem technologii cyklu transkrytycznego, kompatybilna z aplikacjami krytycznymi dla misji:
Fotolitografia
Grawerowanie
Osadzanie jednowarstwowe (ALD)
Całkowicie uszczelniona ścieżka przepływu spełnia normy czystości pomieszczeń czystych klasy 100, a jednocześnie Konstrukcja bez gazów fluorowanych minimalizuje ryzyko podatku węglowego – osiągając zarówno doskonałość procesową, jak i zgodność z ESG.
Główne zalety:
Zrównoważony rozwój środowiska:
GWP=1 - W pełni zgodny z globalnymi celami klimatycznymi, ograniczający narażenie na podatek węglowy
Naturalny czynnik chłodzący - Eliminuje konieczność odzysku/usuwania gazów fluorowanych
Zero ODP - Zgodny z przepisami międzynarodowymi (np. Poprawka z Kigali)
±0,1℃ precyzyjna kontrola - Umożliwia zaawansowane węzły (TSMC 5nm zgodne z zakazem stosowania czynników chłodzących fluorowanych)
Bezkontaktowa eksploatacja - Resztki CO₂ <1 ppb, certyfikat dla pomieszczeń czystych klasy 1000
o 30% wyższy współczynnik COP - Technologia inwertera w cyklu transkrytycznym (zweryfikowana w porównaniu z bazą LIAT 1.0)
Wydajność bezpieczeństwa:
Bezpieczny dla zdrowia i niepalny - Eliminuje ryzyko wycieku chłodnika fluorowanego
Zmniejszenie ryzyka fabrycznego - O 68% niższy wskaźnik zagrożenia środowiskowego (zgodnie z normą SEMI S10)
Podstawowe komponenty i działanie:
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Heretyczny kompresor inwerterowy z ochroną przed uderzeniem cieczowym (±0,5℃ kontrola) |
Kondensator |
Stal nierdzewna, straty ciepła <5% |
Wyparnik |
Płytka tytanowa, o 35% wyższa wydajność, poziom hałasu ≤55dB |
Grzałka |
Bezpośrednie ogrzewanie zanurzeniowe, jednorodność ±0,3℃ |
Zawór rozszerzający |
Zawór elektroniczny z kontrolą przegrzania ±1℃ |
Pompa |
Pompa z napędem magnetycznym (wersja do cieczy fluorowanych), wahań przepływu <2% |
Zasada chłodzenia:
1. Sprężanie → Podwyższanie ciśnienia czynnika chłodzącego
2. Kondensacja → Rozpraszanie ciepła i skraplanie
3. Dławienie przez zawór elektroniczny → Generowanie mgły niskiego ciśnienia
4. Parowanie → Precyzyjne pobieranie ciepła od urządzenia
5. Regulacja przepływu przez falownik → Utrzymanie stabilności ±0, 1℃
| Parametry produktu GVS010 | |
| Model produktu | GVS010-W-32F |
| Metoda chłodzenia | Chłodzenie wodne |
| Tryb sterowania | Sterowanie PID |
| Zakres regulacji temperatury | -20℃~+80℃ |
| Precyzja | ±0.1℃ |
| Wydajność chłodzenia |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Moc | 3KW |
| Zbiornik | 20L |
| Wydatek przepływu cieczy | 20 l/min (0,75 MPa) |
| Ruch uliczny PCW | 15 L/min @ 15~25 °C |
| Zakres temperatur | 5~35℃ |
| Rodzaje cieczy obiegowej | Mieszanina glikolu etylenowego, woda destylowana, roztwór fluorowany |
| Chłodziwo | R744 (CO2) |
| Interfejs cieczy obiegowej | Rc3/4” |
| Interfejs PCW | Rc1/2” |
| Wymiary zewnętrzne (mm) | 380W*900D*1250H |
| Zasilacz wejściowy | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Moc maszyny | 8kw |
| waga netto | 200KG |
| Normy projektowe | Semi |
