EN
Chłodnice CO2
Stabilność temperatury : ±0,1℃
Zakres temperatur :-20˚C～+80˚C
Pojemność chłodzenia :-20℃@2 KW/20℃@10 KW
Dostarczanie precyzyjnej kontroli temperatury poprzez kompaktowe chłodnice sprężarkowe do :
Wytwarzania i testowania waferów półprzewodnikowych
Walidacji akumulatorów i napędów w pojazdach z nowych źródeł energii
Chłodzenia precyzyjnych urządzeń
Specyficzne dla testów zastosowania chłodzenia powietrzem
- Przegląd
- Polecane produkty
Opis techniczny:
Chłodnica Lingheng CO₂ Ultra-Clean
Wykorzystywanie naturalny czynnik chłodniczy (GWP=1, ODP=0) aby dostarczać ±0,1℃ precyzyjna kontrola temperatury do zaawansowanych procesów półprzewodnikowych. Zapewnia -40℃ do +100℃ szeroki zakres pracy za pośrednictwem technologii cyklu transkrytycznego, kompatybilna z aplikacjami krytycznymi dla misji:
Fotolitografia
Grawerowanie
Osadzanie jednowarstwowe (ALD)
Całkowicie uszczelniona ścieżka przepływu spełnia normy czystości pomieszczeń czystych klasy 100, a jednocześnie Konstrukcja bez gazów fluorowanych minimalizuje ryzyko podatku węglowego – osiągając zarówno doskonałość procesową, jak i zgodność z ESG.
Główne zalety:
Zrównoważony rozwój środowiska:
GWP=1 - W pełni zgodny z globalnymi celami klimatycznymi, ograniczający narażenie na podatek węglowy
Naturalny czynnik chłodzący - Eliminuje konieczność odzysku/usuwania gazów fluorowanych
Zero ODP - Zgodny z przepisami międzynarodowymi (np. Poprawka z Kigali)
±0,1℃ precyzyjna kontrola - Umożliwia zaawansowane węzły (TSMC 5nm zgodne z zakazem stosowania czynników chłodzących fluorowanych)
Bezkontaktowa eksploatacja - Resztki CO₂ <1 ppb, certyfikat dla pomieszczeń czystych klasy 1000
o 30% wyższy współczynnik COP - Technologia inwertera w cyklu transkrytycznym (zweryfikowana w porównaniu z bazą LIAT 1.0)
Wydajność bezpieczeństwa:
Bezpieczny dla zdrowia i niepalny - Eliminuje ryzyko wycieku chłodnika fluorowanego
Zmniejszenie ryzyka fabrycznego - O 68% niższy wskaźnik zagrożenia środowiskowego (zgodnie z normą SEMI S10)
Podstawowe komponenty i działanie:
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Heretyczny kompresor inwerterowy z ochroną przed uderzeniem cieczowym (±0,5℃ kontrola) |
Kondensator |
Stal nierdzewna, straty ciepła <5% |
Wyparnik |
Płytka tytanowa, o 35% wyższa wydajność, poziom hałasu ≤55dB |
Grzałka |
Bezpośrednie ogrzewanie zanurzeniowe, jednorodność ±0,3℃ |
Zawór rozszerzający |
Zawór elektroniczny z kontrolą przegrzania ±1℃ |
Pompa |
Pompa z napędem magnetycznym (wersja do cieczy fluorowanych), wahań przepływu <2% |
Zasada chłodzenia:
1. Sprężanie → Podwyższanie ciśnienia czynnika chłodzącego
2. Kondensacja → Rozpraszanie ciepła i skraplanie
3. Dławienie przez zawór elektroniczny → Generowanie mgły niskiego ciśnienia
4. Parowanie → Precyzyjne pobieranie ciepła od urządzenia
5. Regulacja przepływu przez falownik → Utrzymanie stabilności ±0, 1℃
| Parametry produktu GVS010 | Parametry produktu GVS405 | ||
| Model produktu | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Metoda chłodzenia |
Chłodzenie wodne |
||
| Tryb sterowania |
Sterowanie PID |
||
| Zakres regulacji temperatury | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | −20 °C do +90 °C |
| Precyzja |
±0.1℃ |
||
| Wydajność chłodzenia |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW przy −10 °C 10 kW przy +20 °C |
| Moc | 3KW | 3KW | |
| Zbiornik | 20L | 20L | |
| Wydatek przepływu cieczy | 20 l/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 l/min (0,7 MPa) |
| Ruch uliczny PCW | 15 L/min @ 15~25 °C | 15 l/min przy 15–25 °C i ciśnieniu 0,3–0,4 MPa | |
| Zakres temperatur | 5~35℃ | ||
| Rodzaje cieczy obiegowej | Mieszanina glikolu etylenowego, woda destylowana, roztwór fluorowany | ||
| Chłodziwo | R744 (CO2) | ||
| Interfejs cieczy obiegowej |
Rc3/4” |
||
| Interfejs PCW | Rc1/2” | Rc1–1/4″ | Rc1/2” |
| Wymiary zewnętrzne (mm) | 380W*900D*1250H | 500W × 1160D × 1650W |
600 mm × 900 mm × 1300 mm (szer. × gł. × wys.) |
| Zasilacz wejściowy | 3Ph,208-220V,50Hz | 3-fazowe, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Moc maszyny | 8kw | 15,4 kW | |
| waga netto | 200KG | ||
| Normy projektowe | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
