EN
CO2-kylare
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturintervall : -20˚C～+80˚C
Kylkapacitet : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Levererar exakt termisk kontroll genom kompakta kompressoraggregat för :
Tillverkning och testning av halvledarskivor
Validering av batteri/drivlina för ny energi
Kylning av precisionsutrustning
Luftkylning för specifika tester
- Översikt
- Rekommenderade Produkter
Teknisk beskrivning:
Lingheng CO₂ Ultra Clean Chiller
Användning naturligt kylmedel (GWP=1, ODP=0) att leverera ±0,1 °C exakt temperaturreglering för avancerade halvledarprocesser. Möjliggör -40℃ till +100℃ drift i brett temperaturintervall via transcritical cykelteknik, kompatibel med kritiska applikationer:
Fotolitografi
Graverings
Atomlagerdeposition (ALD)
Fullständigt tätslutande flödesbana uppfyller kraven för rengöringsrum i klass 100, samtidigt som Design utan F-gaser minskar exponering för koldeskatt – uppnå båda processmässig excellens och ESG-kompatibilitet.
Kärnfördelar:
Miljömässig hållbarhet:
GWP=1 - Fullt i linje med globala klimatmål, minskar exponering för koldioxidskatt
Naturligt kylmedel - Eliminerar krav på återvinning/avfallshantering av fluorinnehållande gaser
Noll ODP - I överensstämmelse med internationella regler (t.ex. Kigali-ändringen)
±0,1 ℃ precisionskontroll - Möjliggör avancerade noder (TSMC 5 nm fluorinnehållande kylmedelsfri, i enlighet med utfasningskrav)
Drift utan föroreningar - CO₂-rest <1 ppb, certifierad för rena rum av klass 1000
30 % högre COP - Transkritisk cykel invertererteknik (verifierad mot LIAT 1.0-baslinje)
Säkerhetsprestanda:
Icke giftig och brandfarlig - Eliminerar risker för läckage av fluoriserade kylmedel
Fabriskreduktion - 68% lägre miljöfarlighetsindex (enligt SEMI S10)
Kompontenter & Drift:
Komponent |
Teknologi |
Kompressor |
Hermetisk vätskekyld kompressor med skydd mot vätskeslag (±0,5 ℃ styrning) |
Kondensator |
Rostfritt stål, <5% termisk förlust |
Förångare |
Titanplattyp, 35% högre effektivitet, ≤55 dB brus |
Värmevärme |
Nedsänkt direktupvärmning, ±0,3 ℃ enhetlighet |
Expansionsventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ överhettad kontroll |
Pump |
Magnetisk drivpump (version med fluorinerad vätska), <2% flödesfluktuation |
Kylprincip:
1. Kompression → Kylmedelskomprimering
2. Kondensation → Värmeavgivning & förvätskning
3. EEV-strypning → Generering av lågtryckssprut
4. Avdunstning → Exakt värmeeffekt från utrustning
5. Inverterflödeskontroll → Upprätthåller ±0. 1℃ stabilitet
| GVS010 Produktparametrar | GVS405 Produktparametrar | ||
| Produktmodell | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kylmetod |
Kylning med vattensystem |
||
| Kontrollläge |
PID-kontroll |
||
| Temperaturregleringsområde | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | −20 °C till +90 °C |
| Precision |
±0.1℃ |
||
| Kylkapacitet |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW vid −10 °C 10 kW vid +20 °C |
| Ström | 3KW | 3KW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Cirkulerande vätskeflöde | 20L/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 l/min (0,7 MPa) |
| PCW-trafik | 15L/min@15~25℃ | 15 l/min vid 15–25 °C och 0,3–0,4 MPa | |
| Temperaturintervall | 5~35℃ | ||
| Typer av cirkulerande vätska | Blandning av etylenglykol, rent vatten, fluorinerad lösning | ||
| Kylmedel | R744 (CO2) | ||
| Cirkulerande vätskegränsyta |
Rc3/4” |
||
| PCW-gränsyta | RC1/2” | Rc1-1/4" | RC1/2” |
| Yttre dimensioner (mm) | 380B*900D*1250H | 500 mm × 1160 mm × 1650 mm |
600 B × 900 D × 1300 H (mm) |
| Ingångs strömförsörjning | 3Ph, 208-220V, 50Hz | 3 fas, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Maskinkraft | 8KW | 15,4 kW | |
| nettovikt | 200KG | ||
| Konstruktionsstandarder | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
