Dubbelkanalskyld aggregat

Teknisk beskrivning:

Lingheng Dual-Circuit Chillers levererar dubbel oberoende temperaturreglering i en enda enhet.
Med ±0,1℃ stabilitet per krets , dessa system är utvecklade för:

Synkroniserad kylning av PVD/CVD-kamrar

Termisk hantering i flera zoner i etsverktyg
Med 40 % mindre golvarea och branschbeprövad kompatibilitet (AMAT/LAM/TEL) definierar de om precisionkylning med platsutnyttjande.

Nyckelfördelar:

Två-i-ett effektivitet
» Ersätter dubbla kyldon med oberoende kretsar
→ 40% renrumsspace sparat + 30% lägre investeringskostnader

Exakt dubbelreglering
» ±0,1℃ stabilitet per krets (ΔT<0. 2℃)
→ Säkerställer <3% variation i filmtjocklek i CVD/PVD

Fabriksklar integration
» Förinställda AMAT/LAM/TEL-protokoll
→ 90% kompatibilitet med 300mm verktyg, 65% mindre driftstopp

Energy TwinDrive™
» 35% lägre energiförbrukning jämfört med konventionella par
→ SEMI S23-certifierad, >$18 000 i årliga besparingar

Ingen korskontamination
» Anpassningsbara flödesvägar  + svetsade leder med laser
→ Kompatibel med UPW/fluorinert/EGW

Kompontenter & Drift:

Komponent	Teknologi
Kompressor	Hermetisk vätskekompressor med skydd mot vätskeslag (±0. 1℃-kontroll)
Kondensator	Rostfritt stål, <5% termisk förlust
Förångare	Plattkonstruktion, 35 % högre effektivitet, ≤55 dB brus
Värmevärme	Nedsänkt direktupvärmning, ±0,3 ℃ enhetlighet
Expansionsventil	Elektronisk ventil med ±1 ℃ överhettad kontroll
Pump	Magnetisk drivpump (version med fluorinerad vätska), <2% flödesfluktuation

Kylprincip:

Adaptiv PID-kylcykel :
1️⃣ Kompression → Köldmediegasifiering
2️⃣ Kondensering → Värmeavgivning och vätskebildning
3️⃣ EEV-strypning → Generering av lågtryck
4️⃣ Avdunstning → Exakt värmeupptagning från utrustning
5️⃣ Inverter-flödeskontroll → Upprätthåller ±0. 1℃ stabilitet