Värmesystem för väst

Teknisk beskrivning:

Värmemantelapplikationer :

1. Gasledningslinjer

Farliga processgaser :
Bortriklorid (BCl₃), Klorintrifluorid (ClF₃), Tetraetylortosilikat (TEOS)
Diklorsilan (DCS/SiH₂Cl₂), Tungstenhexafluorid (WF₆)
Processvalidering gasledningsuppvärmning för daggpunktskontroll och kondensförhindring

2. CVD-processer

Lågtrycks-kemisk ångfasavlagring (LPCVD)
Plasmaunderhållen CVD (PECVD)
Funktion: Stabilisering av förstadångstemperatur (±1℃)

3. Metallätning

Plasmaknivsystem :
Aluminiumätning (Cl₂/BCl₃-kemikalier)
Volframätning (SF₆/WF₆-blandningar)
Funktion: Upprätthåll konsekvent gasreaktivitet

Fördelar med värmemantel:

Fördelskategori	Tekniska egenskaper
Precisionskontroll	±0,5℃ stabilitet via PID-regulatorer (certifierad enligt ISO 15805)
Säkerhetsgaranti	Dubbla säkerhetslås: • KSD30 termostat • Termisk säkringsströmbrytare (IEC 60691-kompatibel)
Eko-Isolering	Isoleringslager som är PFAS-fritt: • Värmeförlust <5% (ISO 8301) • Hölj av rostfritt stål med slank design
Smart övervakning	Verklig tid övervakning av ström: • Strömvärden per zon → HMI/SCADA • MODBUS-TCP dataloggning

PID-temperaturregulatorer

Heating Jacket-systemet använder PID-temperaturregulatorer för exakt termisk reglering, där varje regulator arbetar på en dedikerad RS485-bussegment med unik nätverksadressering. Dessa PID-enheter fungerar både som fristående kontrollmoduler och som integrerade noder i en distribuerad nätverksarkitektur. Genom att använda Modbus RTU-protokollet via RS485-gränssnitt kommunicerar alla regulatorer i båda riktningar med den centrala HMI-styrskåpen för att möjliggöra synkroniserad temperaturhantering i flera zoner och verklig tid datainsamling utan att behöva en central PLC.

Hmi kontrollpanel

Installationen av isolerade värmemantlar och PID-temperaturregulatorer på vakuum- eller gasledningar är relativt decentraliserad, vilket gör det omöjligt att effektivt övervaka alla värmemantlars realtids-temperaturer och driftstatus samtidigt. För att möjliggöra realtidsövervakning av alla värmemantlars tillstånd har vi implementerat en HMI-kontrollpanel som samlar alla värmemantlar i en enhetlig plattform, vilket uppnår centraliserad kontroll och kommunikationshantering.

Centraliserat Övervakningssystem

Alla gränssnitt – inklusive övervakningsskärmar, realtidslarmvisningar, historiska larmloggar, händelsehistorik, trendanalysdiagram och rapportformulär – kan konfigureras i huvudsystemet (med SCADA-plattformar som InTouch eller iFix) för komplett övervakning av värmemantelssystemet.