EN
Trippelkanalskyld aggregat
Temperaturstabilitet : ±0,1 °C
Temperaturintervall : -40 °C～+80 °C
Kylkapacitet : -40 ℃@6 kW /20 ℃@25 kW
Industriell kompressoraggregat med kompressorer från premiummärken för exceptionell stabilitet. Levererar ±0,1 ℃ utloppstemperaturstabilitet för kritiska applikationer såsom:
Kylning av fotolitografi/ätzningsutrustning
Termisk hantering av PVD/CVD-verktyg
Kemisk och farmaceutisk reaktortemperaturreglering
GMP-kompatibel farmaceutisk processkylning
- Översikt
- Rekommenderade Produkter
Teknisk beskrivning:
Lingheng trippelkretsar kylare levererar exakt kylning för flera laster (±0,1 ℃) i en enda enhet. Med konfigurerbara utgångar för stabila miljöer, erbjuder de:
✅ SMART KONTROLL : Planerad drift, automatisk kompensation, självdiagnos
✅ Trippelsäkerhet : Överhettning/överbelastning/lågt vattenlarm
✅ Industriell anslutning : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Designad för halvledarklusterverktyg och PV-produktionslinjer med 30% energibesparing.
Nyckelfördelar:
TripleSync™-integration
» 3 oberoende kretsar i en enda chassi
→ 55 % minskad renrummsyta
Klusternivåprecision
» ±0,1 ℃ stabilitet med <±0,03 ℃ mellan kretsgradienter
→ Möjliggör synkronisering av flera kamrar
Dynamisk lastbalansering
» Smart kylallokering (30 kW total kapacitet)
→ 28 % energibesparing vid varierande belastningar
Flertal redskapskompatibilitet
» Plug-and-play med ASML/AMAT/TEL klusterverktyg
→ Stöder 300 mm fabriker och PV TOPCon-linjer
Ultrarent Titanekosystem
» Anpassningsbara flödesvägar med modulär tätning
→ <0,1 ppb vätskerester (kompatibel med klass 10)
Kompontenter & Drift:
Komponent |
Teknologi |
Kompressor |
Hermetisk vätskekompressor med skydd mot vätskeslag (±0. 1℃-kontroll) |
Kondensator |
Rostfritt stål, <5% termisk förlust |
Förångare |
Plattkonstruktion, 35 % högre effektivitet, ≤55 dB brus |
Värmevärme |
Nedsänkt direktupvärmning, ±0,3 ℃ enhetlighet |
Expansionsventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ överhettad kontroll |
Pump |
Magnetisk drivpump (version med fluorinerad vätska), <2% flödesfluktuation |
Kylprincip:
Adaptiv PID-kylcykel :
1️⃣ Kompression → Köldmediegasifiering
2️⃣ Kondensering → Värmeavgivning och vätskebildning
3️⃣ EEV-strypning → Generering av lågtryck
4️⃣ Avdunstning → Exakt värmeupptagning från utrustning
5️⃣ Inverter-flödeskontroll → Upprätthåller ±0. 1℃ stabilitet
| VT410 Produktparametrar | |
| Produktnamn | Chiller |
| Produktmodell | VT410-W-33 |
| Kylmetod | Vattenkyla |
| Kontrollläge | PID-kontroll |
| Temperaturregleringsområde | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Precision | ±0.1℃ |
| Kylkapacitet | CH1:6 kW@-40℃ |
| CH2:30 kW@+30℃ | |
| CH3:28 kW@+20 ℃ | |
| Ström | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Tank | CH1 / CH2 delad expansionslåda 30 L + varmvattenberedare 25 L |
| Cirkulerande vätskeflöde | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | |
| PCW-trafik | CH1: 50 L/min@15~25 ℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa | |
| Temperaturintervall | 5~35 ℃ |
| Typ av cirkulerande vätska | FC3283 |
| Cirkulerande vätskegränsyta | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW-gränsyta | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Externa dimensioner (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Ingångs strömförsörjning | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Helhets effekt | 41,1 kW |
| Nettovikt | 600 kg |
| Konstruktionsstandarder | Semi |
