EN
Ohrievač UPW
Stabilita teploty : ±0,1 °C
Teplotný rozsah : -20˚C až +80˚C
Výkon vykurovania ：48 kW-192 kW
Modul na ohrev ultrastejnej vody (UPW) , Špeciálne navrhnutý pre presnú tepelnú kontrolu v kritických procesoch výroby polovodičov, tento pokročilý systém ohrevu využíva halogénové lampy vysokopresného kremenného obalu na bezkontaktný ohrev, čím zabezpečuje nulovú kovovú kontamináciu.
- Prehľad
- Odporúčané produkty
OBOR UPRAVŇOVANIA
Výroba polovodičov : Čistenie kremíkových waferov alebo zlúčeninových materiálov
Lítiové batérie a solárne fotovoltické priemysel : Systémy čistenia výrobných liniek
Priemysel displejových panelov : Čistenie sklenených substrátov LCD
Ekologicky primeraná alternatíva : Nahradzovanie čistenia založeného na freóne riešeniami s ultračistou vodou
Kľúčové vlastnosti
Výstavba prémiových materiálov
Ohrevné články z vysokopriestrenej kremeňovej
Potrubné systémy z fluorového plastu
Ne-kontaktná technológia ohrevu halogénovými lampami
Navrhnutie optimalizované pre priestor
Ultra-tenký profil minimalizuje priestorové nároky
Inteligentné ovládanie teploty
Výkonné halogénové lampy umožňujú rýchly ohrev
Automatické nastavenie teploty na základe rebríčkových zmien toku
Výkon & Bezpečnosť
účinnosť ohrevu ≥95,8%
Komplexné ochranné opatrenia s alarmami pre:
Neprirodzenosti v toku
Stav nadmerného zahriatia
Ochrana proti suchému prevádzke
Detekcia únikov
Chyba snímača
Poruchy vykurovacieho okruhu
| Model | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Spôsob ohrevu | Použitie vykurovacej metódy infračerveného žiarenia | |||||
| Výkonnosť | Sila | 48kw | 72kw | 96 kW | 144 kW | 192kW |
| Štandardná prietoková miera (△T55 °C) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimálna prietoková miera pre vykurovanie | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Rozsah nastavenej teploty | 20-100℃ | |||||
| Presnosť kontroly teploty | ±1℃ (V závislosti na podmienkach) | |||||
| Rozsah displeja prietoku | 0-60LPM | |||||
| Zloženie | Ohrievač | Halogénová lampová trubica, nepriamy spôsob ohrevu bez kontaktu s kvapalinou | ||||
| Materiál ohrievača | Vysokopriepustný transparentný kremeň | |||||
| Časti v kontakte s kvapalinou a materiály potrubia | Vysokopriepustný transparentný kremeň a trubica z vysokopriepustného PFA | |||||
| Funkcia bezpečnostnej odpovede | Abnormálny tok, vysoká teplota, suchý chod, únik, odpojenie snímača, roztavenie halogénového vlákna atď. | |||||
| Funkcia externého pripojenia | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Funkcia externého vstupu/výstupu | 8 vstupných, 14 výstupných signálov | |||||
| Iné | Externé rozmery (mm) | 450Š*900H*1625V | 450Š*1000H*1725V | 700Š*1000H*1725V | 700Š*1000H*1850V | 800W*1000H*2000V |
| Napájanie | AC 380V 50/60Hz trojfázové päťvodičové | |||||
